Откачные посты CBVAC JFJ-701: исполнения и подбор

Откачные посты CBVAC JFJ-701: исполнения и подбор

Подбор откачного поста CBVAC JFJ-701: заказные номера, доступные исполнения и исходные данные для согласования форвакуумной ступени, охлаждения и управления.

Исполнения по каталогу производителя

В этой группе отдельно приведены JFJ-701 и JFJ-701A. Наличие буквы A не следует трактовать как взаимозаменяемость: комплектацию выбирают по заказному номеру.

• CBVAC JFJ-701LF — A25A5-00001
• CBVAC JFJ-701CF — A21A1-00091
• CBVAC JFJ-701ALF — A25A5-00006
• CBVAC JFJ-701ACF — A24A5-00006

Форвакуумная ступень и газовая среда

Опросный лист CBVAC предусматривает выбор маслозаполненного пластинчато-роторного, сухого спирального или другого форвакуумного насоса. Это варианты комплектации, а не перечень одновременно установленных насосов. При подборе задают состав газа, объём камеры, рабочее и конечное давление, газовый поток и требования к чистоте. Быстрота действия у камеры зависит от насосной характеристики и проводимости линии.

Охлаждение и продувка

Способ охлаждения согласовывают по нагрузке. Производитель указывает необходимость водяного охлаждения при продувке, высокой газовой нагрузке, частых пусках и остановах, высокой температуре окружающей среды или прогреве установки. Качество охлаждающей воды и необходимость защитного газа задают при выборе исполнения.

Измерение и управление

В составе стенда выбирают вакуумметр, переходную камеру и присоединения к установке. Тип смазки молекулярной ступени согласовывают отдельно. В опросном листе RJ45 (Modbus-TCP) указан как базовый вариант внешней связи; интерфейс поставляемого исполнения должен соответствовать заказу.

Условия технологического процесса

Для полупроводникового оборудования особенно важны газовый состав, частицы и осаждаемые продукты, охлаждение и выпускная линия. Дополнительно учитывают вибрацию в месте крепления, окружающее магнитное поле, температуру, стабильность питания, режим непрерывной работы или циклические пуски. Наличие этих пунктов в опросном листе не означает универсальную совместимость с коррозионными газами.

Численные значения быстроты откачки, предельного давления, мощности и массы определяются спецификацией выбранной комплектации, а не только названием серии.

Источники: конфигурационный каталог CBVAC от 18.08.2026, лист JZB&SSH&JFJ; опросный лист Pre sales Confirmation for JFJ UNITS-EN.

Все исполнения JFJ · Каталог насосных систем · Сервис насосов · Подбор и заказ