Откачной пост CBVAC JFJ-701 (700 л/с, до 5×10⁻⁷ Па) — высокопроводящая вакуумная станция для камер среднего и большого объёма
Откачной пост CBVAC JFJ-701 предназначен для оперативного формирования высокого вакуума в технологических и исследовательских установках с существенной газовой нагрузкой и повышенными требованиями к проводимости вакуумных магистралей. Комплекс построен на турбомолекулярном насосе JFB-160/701 с быстротой действия по азоту не менее 650 л/с и интегрированным контроллером JFJ-III. Конструкция поддерживает интерфейс DN160 (ISO-K или CF), реализует автоматическую последовательность пуска и останова, работу по сигналам вакуумметров и согласованное управление форвакуумной ступенью. В CF-исполнении при корректной подготовке трассы, дегазации и правильном обслуживании уплотнений достигается базовый уровень вакуума до 5×10⁻⁷ Па.
Состав и функциональная схема
Типовая схема откачного поста CBVAC JFJ-701 включает турбомолекулярный насос JFB-160/701, форвакуумный насос «сухого» или маслозаполненного типа, высоковакуумный отсечной клапан, обратный клапан форлинии, контур вентилирования с регулировкой расхода, узел продувки инертным газом и вакуумметрический модуль с диапазоном 10⁵–10⁻⁵ Па. Встроенный контроллер JFJ-III обеспечивает разгон турбонасоса по системе межблокировок, контролирует достижение допустимого давления на форвакуумной линии, управляет запорной арматурой и выполняет контролируемый останов с продувкой для защиты подшипниковых опор и лопаточного пакета.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель турбомолекулярного насоса | JFB-160/701 |
| Быстрота действия по N₂ | ≥ 650 л/с |
| Степень сжатия по N₂ | > 1×10¹¹ |
| Впускной фланец к объекту | DN160 ISO-K (LF) или CF |
| Предельное остаточное давление | < 5×10⁻⁶ Па (LF); < 5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Охлаждение турбонасоса | Принудительное воздушное +5…+35 °C (стандарт); водяное +5…+40 °C (опция) |
| Допустимая напряжённость магнитного поля | ≤ 3 мТл (до 10 мТл по согласованию) |
| Диапазон измерения давления | 10⁵–10⁻⁵ Па, тип вакуумметра по выбору заказчика*¹ |
| Контроллер | JFJ-III, встроенный (межблокировки, телеметрия) |
| Форвакуум, «сухой» | Edwards nXDs20i — 5,5 л/с (≈70 кг); Geowell GWSP 600 — 8,7 л/с (≈75 кг) |
| Форвакуум, масляный | CBVAC AVR-30 — 8,5 л/с; (варианты Value VRD-24/VRD-30 — 78/86 кг) |
| Выходной фланец форлинии | KF25/KF40 |
| Коммуникации | RS-485 (Modbus); опции — оптоволокно, гигабитный Ethernet |
| Электропитание | ~220 В, 50/60 Гц, допуск ±10 % |
| Максимальная потребляемая мощность | Около 1500 Вт |
| Уровень шума | ≤ 65 дБ |
| Примечания | *¹ При использовании стороннего вакуумметра часть расширенных функций автоматического управления может быть недоступна; базовый функционал сохраняется. *² Водяное охлаждение в первую очередь предназначено для турбомолекулярного насоса; систему водоснабжения на стороне заказчика необходимо реализовать в соответствии с техническими требованиями. |
Отличия JFJ-701 относительно JFJ-401/301
Откачной пост CBVAC JFJ-701 рассчитан на существенно более высокую быстроту откачки и стабильную работу при значительных парогазовых нагрузках. По сравнению с моделями JFJ-401 (≈460 л/с) и JFJ-301 (≈300 л/с) пост JFJ-701 требует полноразмерной магистрали DN160 от вакуумной камеры до входного фланца турбонасоса, использования запорной арматуры с проходными сечениями не ниже DN160 и минимизации числа поворотов и переходов. Это позволяет реализовать паспортную проводимость системы и заметно сократить время выхода на рабочий вакуум.
Для длительной эксплуатации на повышенной нагрузке и в условиях плотной компоновки оборудования рекомендуется штатная опция водяного охлаждения турбонасоса. CF-исполнение выбирают для задач, критичных к достижимому базовому вакууму, дегазации и стабильности параметров; интерфейс ISO-K целесообразен там, где необходима быстрая переналадка, частые переоборудования трассы и удобный быстросъёмный фланцевый узел.
Эксплуатационные аспекты
Алгоритм пуска полностью реализуется контроллером JFJ-III: сначала запускается форвакуумный насос, контролируется достижение заданного порога давления на форлинии, затем выполняется разгон турбомолекулярного насоса JFB-160/701 и открытие высоковакуумного клапана, после чего пост выходит на рабочий режим.
Останов осуществляется с продувкой инертным газом и регулируемым вентилированием объёма. Для процессов с интенсивным пыле- и парообразованием рекомендуется установка входной ловушки, применение обогреваемых участков и фильтров, а при высокой газовой нагрузке — обязательное использование водяного охлаждения турбонасоса.
В исполнении ISO-K необходимо регламентно контролировать состояние эластомерных колец, отсутствие повреждений и корректный момент затяжки скоб. Для CF-соединений критичны чистота привалочных поверхностей, отсутствие задиров и равномерная диагональная затяжка крепежа с заданным моментом.
Области применения
Шлюзовые камеры и межоперационные транспортные узлы, технологические камеры PVD/CVD/PECVD, установки напыления и плазмохимического травления в средах Ar/N₂/H₂, аналитические стенды, стенды дегазации и течеискания, а также термовакуумные камеры среднего и крупного объёма — во всех этих задачах откачной пост CBVAC JFJ-701 обеспечивает высокую проводимость и стабильный высокий вакуум.
CBVAC в России и сервисный центр лаборатории «Ликлаб»
CBVAC в России представлен через специализированный сервисный центр на базе лаборатории контроля герметичности «Ликлаб». Лаборатория «Ликлаб» является официальным партнёром и сервисным центром CBVAC, обеспечивая поставку, техническую поддержку и полное сервисное сопровождение откачных постов CBVAC JFJ-701 для российских промышленных и научных заказчиков.
Специалисты «Ликлаб» выполняют шеф-монтаж откачных постов CBVAC, интеграцию в существующие вакуумные трассы, настройку межблокировок и вакуумметрии, подбор форвакуумной ступени под требуемую газовую нагрузку и режимы работы. Осуществляется обучение персонала, разработка и внедрение программ технического обслуживания, а также метрологическое сопровождение в соответствии с ГОСТ 8.586 и методическая поддержка испытаний по ГОСТ Р 50.05.01-2018.
Сервисный центр CBVAC в России на базе «Ликлаб» предоставляет оригинальные сервис-киты уплотнений, фильтрующих элементов и комплектующих, выполняет диагностику турбомолекулярных и форвакуумных насосов, регламентное обслуживание и восстановительный ремонт. По запросу доступны опции удалённого мониторинга параметров откачного поста, интеграция с АСУ ТП и системами верхнего уровня, что повышает надёжность и предсказуемость работы вакуумного оборудования CBVAC на российских объектах.