Подбор откачного поста CBVAC JFJ-63: заказные номера, доступные исполнения и исходные данные для согласования форвакуумной ступени, охлаждения и управления.
Описание
Откачные посты CBVAC JFJ-63: исполнения и подбор
Подбор откачного поста CBVAC JFJ-63: заказные номера, доступные исполнения и исходные данные для согласования форвакуумной ступени, охлаждения и управления.
Исполнения по каталогу производителя
| Исполнение | Заказной номер |
|---|---|
| JFJ-63LF | A25A5-00011 |
| JFJ-63CF | A25A5-00012 |
Исполнения LF и CF имеют разные обозначения заказа. Тип и размер присоединения, состав станции и комплект управления согласовывают по спецификации выбранного исполнения.
Форвакуумная ступень и газовая среда
Опросный лист CBVAC предусматривает выбор маслозаполненного пластинчато-роторного, сухого спирального или другого форвакуумного насоса. Это варианты комплектации, а не перечень одновременно установленных насосов. При подборе задают состав газа, объём камеры, рабочее и конечное давление, газовый поток и требования к чистоте. Быстрота действия у камеры зависит от насосной характеристики и проводимости линии.
Охлаждение и продувка
Способ охлаждения согласовывают по нагрузке. Производитель указывает необходимость водяного охлаждения при продувке, высокой газовой нагрузке, частых пусках и остановах, высокой температуре окружающей среды или прогреве установки. Качество охлаждающей воды и необходимость защитного газа задают при выборе исполнения.
Измерение и управление
В составе стенда выбирают вакуумметр, переходную камеру и присоединения к установке. Тип смазки молекулярной ступени согласовывают отдельно. В опросном листе RJ45 (Modbus-TCP) указан как базовый вариант внешней связи; интерфейс поставляемого исполнения должен соответствовать заказу.
Условия технологического процесса
Для полупроводникового оборудования особенно важны газовый состав, частицы и осаждаемые продукты, охлаждение и выпускная линия. Дополнительно учитывают вибрацию в месте крепления, окружающее магнитное поле, температуру, стабильность питания, режим непрерывной работы или циклические пуски. Наличие этих пунктов в опросном листе не означает универсальную совместимость с коррозионными газами.
Численные значения быстроты откачки, предельного давления, мощности и массы определяются спецификацией выбранной комплектации, а не только названием серии.
Источники: конфигурационный каталог CBVAC от 18.08.2026, лист JZB&SSH&JFJ; опросный лист Pre sales Confirmation for JFJ UNITS-EN.
Все исполнения JFJ · Каталог насосных систем · Сервис насосов · Подбор и заказ
Документы
Описание исполнений и условий подбора с контактами для заказа.
Скачать описание серии PDF
