Откачной пост CBVAC JFJ (85 л/с, до 5×10⁻⁷ Па) — компактная высоковакуумная станция для лабораторий и производственных линий
Откачной пост CBVAC JFJ, построенный на базе турбомолекулярного насоса JFB-63/81, предназначен для формирования высокого вакуума при запуске от атмосферного давления с последующим достижением остаточного давления до 5×10⁻⁷ Па (в варианте с фланцем CF). Установка ориентирована на обслуживание шлюзовых камер, аналитических комплексов, исследовательских вакуумных установок и стендов контроля герметичности, где критичны короткое время выхода на рабочий режим, чистый безмасляный высоковакуумный тракт и встроенная система автоматизированного управления.
В России сервисное сопровождение, диагностика и ремонт откачных постов CBVAC JFJ выполняются сервисным центром CBVAC на базе лаборатории контроля герметичности «Ликлаб». Это позволяет обеспечить полный цикл поддержки — от подбора конфигурации до послепродажного обслуживания и метрологического сопровождения.
Конфигурация и принцип работы
В основе поста используется турбомолекулярный насос JFB-63/81 с быстротой действия по азоту не менее 85 л/с. В качестве форвакуумной ступени применяются два варианта насосов:
- мембранный насос DIVAC 0.8T (0,2 л/с), формирующий полностью «сухую» вакуумную трассу без масляных паров;
- компактный пластинчато-роторный насос Ulvac GHD-031B (0,5 л/с), обеспечивающий более быстрый проход диапазона промежуточных давлений.
Управление реализовано на встроенном контроллере турбомолекулярного насоса, который координирует запуск форвакуумного агрегата, контролирует давление по сигналу от вакуумметра и автоматически управляет открытием/закрытием высоковакуумного канала. В стандартный функционал входят режимы продувки инертным газом и контролируемого вентилирования, что обеспечивает безопасный останов и защиту узлов турбонасоса.
Отличительные особенности и варианты исполнения
Ключевое конструктивное отличие — тип входного фланца: LF63 (ISO-K 63) или CF63. Исполнение с ISO-K ориентировано на высокую сервисопригодность и гибкость при переналадке, обеспечивая достижение предельного давления менее 5×10⁻⁶ Па при корректной эксплуатации и обслуживании уплотнений. Вариант с CF рассчитан на процессы с повышенными требованиями к чистоте вакуумной системы и минимальной дегазации соединений; ножевое уплотнение с медной прокладкой позволяет выходить на остаточное давление менее 5×10⁻⁷ Па.
Различаются и форвакуумные модули. Мембранный DIVAC 0.8T формирует полностью безмасляную трассу, снижая риск обратной миграции загрязнений в сторону объекта. Пластинчато-роторный GHD-031B предпочтителен при повышенной газовой нагрузке и необходимости ускоренного прохождения диапазона 10³…10¹ Па. Для интеграции в системы автоматизированного управления (АСУ, АСУ ТП) предусмотрен интерфейс RS-485 (Modbus), опционально может устанавливаться гигабитный Ethernet для удалённого мониторинга и диагностики.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель турбомолекулярного насоса | JFB-63/81 |
| Быстрота действия, азот | ≥ 85 л/с |
| Впускной фланец к объекту | LF63 (ISO-K 63) или CF63 |
| Выходной фланец турбонасоса | KF16 |
| Предельное остаточное давление | < 5×10⁻⁶ Па (LF); < 5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Измерение давления | 10⁵–10⁻⁵ Па, тип вакуумметра подбирается по требованию заказчика |
| Форвакуумный насос, «сухое» исполнение | DIVAC 0.8T, 0,2 л/с; ориентировочная масса поста — 32 кг |
| Форвакуумный насос, «маслонаполненное» исполнение | Ulvac GHD-031B, 0,5 л/с; ориентировочная масса поста — 38 кг |
| Охлаждение турбонасоса | Принудительное воздушное, диапазон окружающей температуры +5…+35 °C |
| Допустимая напряжённость магнитного поля | ≤ 3 мТл (до 10 мТл по отдельному согласованию) |
| Контроллер | Встроенный; управление пуском/остановом, межблокировки, телеметрия |
| Коммуникации | RS-485 (Modbus); опционально — Gigabit Ethernet |
| Электропитание | ~220 В, 50/60 Гц, допуск по напряжению ±10 % |
| Максимальная потребляемая мощность | Около 250 Вт |
| Уровень шума | ≤ 60 дБ |
Интеграция и эксплуатация
Откачной пост монтируется максимально близко к объекту откачки, что позволяет минимизировать длину высоковакуумной линии и связанные с этим потери производительности. Для исполнения с ISO-K рекомендуется использование эластомерных уплотнительных колец из FKM с регламентной проверкой их состояния и своевременной заменой. В варианте CF особое внимание уделяется моменту затяжки фланцев и чистоте сопрягаемых поверхностей, что напрямую влияет на достижимый уровень остаточного давления.
При работе с паро- или пылегенерирующими средами на входе турбомолекулярного насоса рекомендуется установка ловушек, фильтров и отстойников, снижающих нагрузку на лопаточный пакет и увеличивающих межсервисный интервал. Алгоритм запуска откачного поста автоматизирован: сначала включается форвакуумный насос, затем по достижении допустимого давления запускается турбомолекулярный насос и после выхода на номинальные обороты открывается высоковакуумный канал. Останов производится с использованием продувки инертным газом и контролируемого вентилирования для защиты подшипников и внутренних элементов турбонасоса.
Области применения
Откачной пост CBVAC JFJ применяется для обслуживания шлюзовых камер и загрузочных модулей технологических линий, лабораторных вакуумных камер малых и средних объёмов, аналитических приборов, течеискательных стендов и метрологических установок. Конфигурация с фланцами CF предпочтительна для задач, где критичен низкий базовый уровень вакуума и минимальная дегазация соединений. Исполнение с ISO-K удобно на участках с частыми переналадками, где важны скорость обслуживания, модульность и простота конфигурации вакуумной трассы.
Поставка и сервис на базе лаборатории «Ликлаб»
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» выступает официальным сервисным центром CBVAC в России и осуществляет поставку, внедрение и сервисное обслуживание откачных постов CBVAC JFJ на территории РФ. Специалисты «Ликлаб» выполняют шеф-монтаж, проектную привязку станции к конкретному объекту, настройку межблокировок и систем аварийной защиты, подбор и установку вакуумметрии.
Предусмотрено метрологическое сопровождение в соответствии с требованиями ГОСТ 8.586 и методическая поддержка проведения испытаний на герметичность по ГОСТ Р 50.05.01-2018. Доступны оригинальные сервисные комплекты уплотнений, фильтров и расходных материалов, а также обучение персонала правильной эксплуатации откачного поста CBVAC JFJ в составе лабораторных и промышленных технологических линий. Такое решение позволяет обеспечить стабильную работу вакуумной системы, продлить ресурс оборудования и снизить риски внеплановых простоев.