Насосы для вакуумных систем и технологических процессов
Насос выбирают по рабочему давлению, газовому составу, расходу газа, требуемой чистоте и условиям установки. Предельное давление отдельного насоса не определяет давление в камере: результат зависит также от газовыделения, герметичности и проводимости соединительной линии.
Турбомолекулярные насосы MTP на магнитном подвесе
Каталог MTP описывает применения в нанесении тонких плёнок, ионной имплантации, PECVD, производстве дисплеев и исследовании материалов. Обозначение исполнения различает контроллер, входной фланец, специальную обработку, продувку, нагрев и интерфейс связи. Эти функции нельзя переносить на все насосы серии без проверки полного заказного обозначения.
Подобрать модель MTP и открыть техническую спецификацию
Сухие винтовые насосы SSH
SSH20 использует двухвинтовую конструкцию и предназначен, в частности, для лабораторных и научно-измерительных установок. Чистота рабочего газового тракта не означает отсутствия смазки во всех узлах насоса. Условия обслуживания, охлаждения, продувки и допустимые газы проверяют по руководству выбранного исполнения.
В конфигурационном каталоге SSH610 и SSH1220 представлены системы с двухроторной ступенью Roots и винтовой ступенью. Для них отдельно указаны варианты питания, охлаждение, продувка, присоединения и управление. Пригодность для полупроводникового процесса определяется составом газов и согласованной комплектацией, а не только названием серии.
Исполнения насосов SSH и документы
Высоковакуумные откачные посты JFJ
Откачной пост объединяет согласованные высоковакуумную и форвакуумную ступени, измерение и управление. Опросный лист JFJ предусматривает альтернативные варианты форвакуумного насоса, охлаждения и вакуумметра. Конкретный состав поставки и численные характеристики определяются спецификацией заказного номера.
Исходные данные для подбора
- Объём камеры, рабочее и конечное давление, требуемое время откачки.
- Газовый состав и расход, наличие частиц, паров и осаждаемых продуктов.
- Присоединения и проводимость линии, выпуск газа, охлаждение и электропитание.
- Непрерывный или циклический режим, измерение давления и управление установкой.
Для полупроводникового оборудования дополнительно согласовывают защитный газ, температурный режим, совместимость материалов с процессом и обслуживание выпускной линии. Специальное исполнение и покрытие не являются универсальной гарантией химической стойкости.
Источники: MTP Magnetic Levitation Molecular Pump-CBVAC; SSH20 DRY PUMP-EN; конфигурационный каталог CBVAC от 18.08.2026; Pre sales Confirmation for JFJ UNITS-EN.
Технический каталог оборудования · Подбор и заказ насосной системы