Откачной пост CBVAC JFJ-401 (400 л/с, до 5×10⁻⁷ Па) — высокопроводящая вакуумная станция для камер среднего объёма
Откачной пост CBVAC JFJ-401 предназначен для формирования высокого вакуума в технологических и исследовательских установках, где предъявляются повышенные требования к проводимости вакуумных линий и устойчивости к газовой нагрузке. Комплектуется турбомолекулярным насосом JFB-160/401 с быстротой действия по азоту свыше 460 л/с, встроенным контроллером JEJ-III и модульной платформой запорной и предохранительной арматуры. Конструкция поддерживает интерфейсы DN100 и DN160 с выбором фланцевых стандартов ISO-K (LF) или CF и рассчитана на достижение остаточного давления до 5×10⁻⁷ Па в CF-исполнении при корректной подготовке магистралей и уплотнений. Логика управления реализует автоматизированную последовательность пуска и останова, контроль по сигналам вакуумметров и межблокировки форвакуумной ступени, что обеспечивает стабильную воспроизводимость цикла и защиту оборудования от аварийных режимов.
Архитектура и функциональная схема
Состав откачного поста включает турбомолекулярный насос JFB-160/401, форвакуумный насос сухого либо маслонаполненного типа, высоковакуумный отсечной клапан на входе, обратный клапан форвакуумной линии, вент‑контур с регулируемым дросселированием, систему продувки инертным газом, модуль вакуумметрии 10⁵–10⁻⁵ Па и шкаф управления на базе контроллера JEJ-III. Контроллер обеспечивает разгон турбонасоса по межблокировкам, отслеживает достижение допустимого давления на форлинии, управляет арматурой и выполняет аварийный останов с контролируемым вентилированием системы. Для продолжительной работы при повышенной газовой нагрузке предусмотрено водяное охлаждение турбомолекулярного насоса (опция), по умолчанию используется принудительное воздушное охлаждение.
Ключевые отличия JFJ-401 относительно JFJ-301
По сравнению с откачным постом JFJ-301, модель CBVAC JFJ-401 ориентирована на более высокую быстроту действия и увеличенную проводимость вакуумной магистрали: рекомендуется применение входного интерфейса DN160 и минимизация гидравлических сопротивлений в высоковакуумной трассе (короткий участок между камерой и ТМН, плавные радиусные повороты, арматура с проходными сечениями не менее DN160). При сохранении аналогичной номенклатуры форвакуумной ступени и контроллера JEJ-III, JFJ-401 позволяет сократить время выхода на рабочее давление для камер среднего объёма и обеспечивает более устойчивую работу в условиях повышенного поступления газов и паров. Опция водяного охлаждения для JFB-160/401 рекомендуется при интенсивных циклах, частых перезапусках и длительной эксплуатации на повышенной газовой нагрузке, тогда как для JFJ-301 водяное охлаждение обычно требуется только в предельных нагрузочных режимах.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель турбомолекулярного насоса | JFB-160/401 |
| Быстрота действия по N₂ | > 460 л/с |
| Впускной фланец к объекту | DN100 ISO-K (LF) или CF; DN160 ISO-K или CF |
| Предельное остаточное давление | < 5×10⁻⁶ Па (LF); < 5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Охлаждение турбонасоса | Принудительное воздушное +5…+35 °C (стандарт); водяное +5…+40 °C (опция) |
| Допустимая напряжённость магнитного поля | ≤ 3 мТл (до 10 мТл по согласованию) |
| Диапазон измерения давления | 10⁵–10⁻⁵ Па, тип вакуумметра по выбору заказчика* |
| Контроллер | JEJ-III, встроенный, межблокировки, телеметрия |
| Форвакуум «сухой» | Edwards nXDs10i — 3,1 л/с (47 кг); Geowell GWSP150 — 2,0 л/с (36 кг) |
| Форвакуум масляный | CBVAC AVR-16 — 4,4 л/с (45 кг); Value VRD-16 — 4,4 л/с (47 кг) |
| Выходной фланец форлинии | KF25 (стандарт); KF16 для GWSP150 |
| Коммуникации | RS-485 (Modbus); опции — оптоволокно, гигабитный Ethernet |
| Электропитание | ~220 В, 50/60 Гц, допуск ±10 % |
| Максимальная потребляемая мощность | Около 1000 Вт |
| Уровень шума | ≤ 60 дБ |
| Примечания | * При использовании стороннего вакуумметра часть функций автоматического управления может быть недоступна; базовые функции сохраняются. |
Рекомендации по трассе и эксплуатации
Для реализации заявленной быстроты действия и достижения проектного вакуума необходимо обеспечить высокую проводимость соединения: использовать DN160 на участке «камера — турбомолекулярный насос», избегать острых углов, отводов малого диаметра и избыточной арматуры в высоковакуумной линии. В конфигурации ISO-K требуется регламентно проверять состояние эластомерных уплотнений (FKM) и контролировать момент затяжки скоб; в исполнении CF важно выдерживать чистоту привалочных поверхностей и равномерную диагональную затяжку крепежа. Для процессов с интенсивным паро‑ и пылеобразованием целесообразно применять входные ловушки, фильтрующие элементы и обогреваемые участки форлинии для снижения конденсации и загрязнения насосов. При повышенной газовой нагрузке рекомендуется использовать водяное охлаждение турбонасоса для стабилизации теплового режима, уменьшения температурных градиентов и увеличения ресурса опорных узлов.
Области применения
Откачной пост CBVAC JFJ-401 ориентирован на шлюзовые камеры и транспортные модули средних объёмов, технологические камеры PVD/CVD/PECVD, аналитические стенды, установки дегазации и течеискания, термовакуумные и исследовательские камеры. CF-исполнение выбирают для задач с жёсткими требованиями к базовому давлению и минимальной дегазации, ISO-K — при необходимости частых переналадок, быстрой разборки/сборки и использования быстроразъёмного интерфейса.
Поставка и сервис
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» выступает официальным сервисным центром CBVAC в России и обеспечивает поставку, интеграцию и обслуживание откачных постов CBVAC JFJ-401. Специалисты «Ликлаб» выполняют шеф‑монтаж, настройку межблокировок и логики аварийной защиты, подбор вакуумметрии и форвакуумной ступени по расчётной газовой нагрузке, а также обучение эксплуатационного персонала. Осуществляется метрологическое сопровождение по ГОСТ 8.586 и методическая поддержка испытаний на герметичность по ГОСТ Р 50.05.01‑2018. Доступны сервисные комплекты уплотнений и фильтров, регламентные работы по обслуживанию турбомолекулярных и форвакуумных насосов CBVAC, а также опции удалённого мониторинга и диагностики для промышленной и лабораторной инфраструктуры.