Откачной пост CBVAC JFJ-301 (300 л/с, до 5×10⁻⁷ Па) — модульная высоковакуумная станция с интеллектуальным управлением
Откачной пост CBVAC JFJ-301 предназначен для формирования высокого вакуума в технологических и научно-исследовательских установках малого и среднего объёма. Узел основан на турбомолекулярном насосе JFB-100/301 с быстротой действия по азоту более 300 л/с и интегрированным контроллером JEJ-III. Конфигурация поддерживает интерфейсы DN100 и DN160 с выбором фланцевых стандартов ISO-K (LF) или CF и рассчитана на достижение остаточного давления до 5×10⁻⁷ Па в CF-исполнении при корректной подготовке вакуумной трассы и уплотнений. Станция реализует автоматизированный алгоритм пуска и останова, ведёт контроль по сигналам вакуумметров и координирует работу форвакуумной ступени, что повышает воспроизводимость процессов и снижает вероятность аварийных ситуаций.
Архитектура и функциональная схема
В состав откачного поста JFJ-301 входят турбомолекулярный насос JFB-100/301, форвакуумный насос «сухого» или маслозаполненного исполнения, высоковакуумный отсечной клапан, обратный клапан форлинии, контур вентилирования с регулируемым дросселированием, система продувки инертным газом, вакуумметрический модуль с диапазоном 10⁵–10⁻⁵ Па и шкаф управления на базе контроллера JEJ-III. Контроллер обеспечивает разгон турбонасоса по межблокировкам, отслеживает достигнутое давление на форлинии, управляет запорной арматурой и реализует аварийный останов с контролируемым вентилированием камеры. Для долговременной работы при повышенной газовой нагрузке в качестве опции предусмотрено водяное охлаждение турбомолекулярного насоса.
Ключевые отличия исполнения и варианты конфигурации
Основным преимуществом JFJ-301 является универсальная механическая стыковка с объектом: на стороне вакуумной камеры поддерживаются диаметры DN100 и DN160, при этом возможен выбор интерфейса ISO-K (быстросъёмное соединение с эластомерным уплотнением) либо CF (ножевое уплотнение под медную прокладку) при одинаковой кинематике поста. Конфигурация ISO-K оптимальна при частых переналадках, демонтаже и регламентных работах, тогда как CF-исполнение ориентировано на процессы с повышенными требованиями к базовому вакууму и минимальной дегазации соединений.
По форвакуумной ступени доступны «сухие» спиральные насосы Edwards nXDs10i (3,1 л/с) и Geowell GWSP150 (2,0 л/с), которые рекомендуются для чистых процессов и снижения риска обратной миграции продуктов из форлинии. В качестве альтернативы применяются пластинчато-роторные маслонаполненные насосы CBVAC AVR-16 и Value VRD-16 (4,4 л/с), обеспечивающие ускоренный проход области давлений 10³…10¹ Па и устойчивую работу с лёгкими парогазовыми нагрузками.
Контроллер JEJ-III стандартно поддерживает протокол Modbus по интерфейсу RS-485; дополнительно по заказу доступны оптоволоконный канал и гигабитный Ethernet для удалённого мониторинга, интеграции в АСУ ТП и верхнеуровневые системы управления. В России сервисное сопровождение турбомолекулярных и форвакуумных насосов CBVAC, а также модернизацию и диагностику откачных постов JFJ-301 обеспечивает лаборатория контроля герметичности «Ликлаб», выступающая официальным сервисным центром CBVAC.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель турбомолекулярного насоса | JFB-100/301 |
| Быстрота действия по N₂ | > 300 л/с |
| Впускной фланец к объекту | DN100 ISO-K (LF) или CF; DN160 ISO-K или CF |
| Предельное остаточное давление | < 5×10⁻⁶ Па (LF); < 5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Охлаждение турбонасоса | Принудительное воздушное +5…+35 °C (стандарт); водяное +5…+40 °C (опция) |
| Допустимая напряжённость магнитного поля | ≤ 3 мТл (до 10 мТл по согласованию) |
| Диапазон измерения давления | 10⁵–10⁻⁵ Па, тип вакуумметра по выбору заказчика* |
| Контроллер | JEJ-III, встроенный, межблокировки и телеметрия |
| Форвакуум «сухой» | Edwards nXDs10i — 3,1 л/с (47 кг); Geowell GWSP150 — 2,0 л/с (36 кг) |
| Форвакуум масляный | CBVAC AVR-16 — 4,4 л/с (45 кг); Value VRD-16 — 4,4 л/с (47 кг) |
| Выходной фланец форлинии | KF25 (стандарт); KF16 для GWSP150 |
| Коммуникации | RS-485 (Modbus); опции — оптоволокно, гигабитный Ethernet |
| Электропитание | ~220 В, 50/60 Гц, допуск ±10 % |
| Максимальная потребляемая мощность | Около 1000 Вт |
| Уровень шума | ≤ 60 дБ |
| Примечания | * При использовании стороннего вакуумметра часть функций автоматического управления может быть недоступна; базовые функции сохраняются. |
Эксплуатационные аспекты
Алгоритм пуска реализуется контроллером JEJ-III в автоматическом режиме: старт форвакуумного насоса, достижение заданного порога давления на форлинии, разгон турбомолекулярного насоса, открытие высоковакуумного клапана и переход в устойчивый рабочий режим. Останов выполняется с подачей инертного газа и управляемым вентилированием для защиты турбонасоса и вакуумной камеры.
Для соединений ISO-K рекомендуется регламентная замена эластомерных колец (FKM/FKM-F) с контролем крутящего момента при затяжке скоб. В случае применения CF-фланцев критична чистота привалочных поверхностей и равномерная диагональная затяжка крепежа с заданным моментом. При наличии пылевых или парообразующих выбросов со стороны объекта целесообразно использовать входные ловушки, фильтры и локальный обогрев участков трассы для уменьшения конденсации. Для режимов с повышенной газовой нагрузкой водяное охлаждение турбомолекулярного насоса стабилизирует тепловой баланс и увеличивает ресурс подшипников.
Назначение и области применения
Откачной пост CBVAC JFJ-301 используется в шлюзовых камерах, исследовательских вакуумных камерах, стендах течеискания, узлах дегазации и составе аналитического оборудования. Интерфейс DN100, как правило, выбирается для малых и средних объёмов с минимальной длиной трассы; DN160 применяют при повышенных требованиях к проводимости и сокращению времени откачки. CF-исполнение предпочтительно для высокочистых процессов с жёсткими требованиями к дегазации фланцевых соединений, тогда как ISO-K обеспечивает быстрый монтаж/демонтаж и высокую сервисопригодность на поточных и испытательных участках.
Поставка и сервис
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» поставляет, настраивает и интегрирует откачные посты CBVAC JFJ-301 в вакуумные линии заказчиков в России, выполняет шеф-монтаж, настройку межблокировок, подбор вакуумметрии и форвакуумной ступени под фактическую газовую нагрузку. «Ликлаб» является сервисным центром CBVAC в России, обеспечивая полный цикл обслуживания: диагностику, регламентные работы, ремонт турбомолекулярных и форвакуумных насосов, а также модернизацию существующих вакуумных постов.
Обеспечивается метрологическое сопровождение по ГОСТ 8.586, методическая поддержка проведения испытаний на герметичность по ГОСТ Р 50.05.01-2018 и обучение эксплуатационного персонала. В номенклатуру поставки входят сервисные комплекты уплотнений, фильтров и расходных материалов, а также опции удалённого мониторинга и интеграции в корпоративные системы управления.