Откачной пост CBVAC JFJ-2201 (2200 л/с, до 5×10⁻⁷ Па) — промышленный вакуумный пост для крупных систем и высоких газовых потоков
Откачной пост CBVAC JFJ-2201 — это высокопроизводительный промышленный комплекс для создания высокого и сверхвысокого вакуума в установках большого объёма. В его основе лежит турбомолекулярный насос JFB-250/2201 с быстротой действия по азоту более 2050 л/с и достижимым остаточным давлением до 5×10⁻⁷ Па (в CF-исполнении). Пост рассчитан на работу при интенсивной газовой нагрузке и используется в вакуумных технологических линиях, системах напыления, термовакуумных камерах, испытательных стендах и комплексах контроля герметичности.
Назначение и особенности конструкции
JFJ-2201 ориентирован на использование в составе установок, где необходима высокая скорость откачки при стабильных параметрах вакуумной среды. Модульная архитектура платформы позволяет реализовывать различные конфигурации: выбирать тип присоединительных фланцев (ISO-K или CF), способ охлаждения (воздушное или водяное), а также тип и производительность форвакуумного насоса.
Станция оснащена интегрированным контроллером CBVAC собственной разработки, который обеспечивает автоматический запуск системы, управление запорной и защитной арматурой, контроль по давлению и температуре, а также безопасное вентилирование и остановку поста.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель турбомолекулярного насоса | JFB-250/2201 |
| Быстрота действия (по N₂) | ≥ 2050 л/с |
| Впускной фланец | DN250 ISO-K (LF) или CF |
| Предельное остаточное давление | < 5×10⁻⁶ Па (LF); < 5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Рабочая температура | +5...+35 °C (воздушное охлаждение), +5...+40 °C (водяное охлаждение) |
| Способ охлаждения | Принудительное воздушное (по умолчанию); водяное — опционально |
| Индукция магнитного поля в рабочей зоне | ≤ 3 мТл (до 10 мТл при индивидуальной адаптации) |
| Измерение давления | 10⁵–10⁻⁵ Па (тип вакуумметра — по выбору заказчика) |
| Контроллер | Встроенный, CBVAC собственной разработки |
| Форвакуумный насос | CBVAC DVJ30 (9 л/с) |
| Выходной фланец | KF40 |
| Питание | 220 В, 50/60 Гц, допуск ±10 % |
| Потребляемая мощность | до 2700 Вт |
| Уровень шума | ≤ 65 дБ |
| Масса | 145 кг |
| Связь и интерфейсы | Базовая версия без коммуникационных портов (по запросу — RS-485 или Ethernet) |
Ключевые преимущества
Откачной пост JFJ-2201 выделяется высокой пропускной способностью и устойчивой работой при повышенных газовых потоках. Крупный входной фланец DN250 обеспечивает низкое гидравлическое сопротивление тракта и эффективную откачку даже при подключении объёмных вакуумных камер.
Для удобства интеграции в технологические линии предусмотрены транспортировочные ролики и подъёмные проушины, что упрощает перемещение и монтаж.
Конструкция платформы допускает установку дополнительных узлов — крио- и сорбционных ловушек, фильтров, предохранительных клапанов, а также широкого спектра датчиков давления для включения поста в автоматизированные системы управления технологическими процессами.
Отличия JFJ-2201 от JFJ-1401
Главное отличие JFJ-2201 от модели JFJ-1401 — существенно увеличенная быстрота действия (2050 против 1350 л/с), больший диаметр входного фланца (DN250 вместо DN160), а также расширенные возможности по охлаждению и сервисному обслуживанию.
JFJ-2201 оптимален для крупногабаритных вакуумных камер, где требуется быстрое снижение давления в больших объёмах и при повышенной газовой нагрузке.
В отличие от JFJ-1401, станция JFJ-2201 комплектуется более мощным форвакуумным насосом CBVAC DVJ30 и рассчитана на увеличенную электрическую мощность, что обеспечивает стабильную работу турбомолекулярного насоса в режиме длительных непрерывных циклов.
Эксплуатационные особенности
Для надёжной и долговременной эксплуатации JFJ-2201 рекомендуется размещать пост в помещениях с температурой воздуха не выше +30 °C, при этом обеспечив достаточный воздухообмен и стабильность электропитания. При монтаже следует использовать виброизолирующие опоры, корректно прокладывать вакуумные магистрали и соблюдать требования к чистоте внутренних поверхностей тракта.
Для задач, предъявляющих повышенные требования к чистоте вакуума и минимальному газовыделению, предпочтительно CF-исполнение с металлическими уплотнениями. В конфигурации ISO-K требуется периодически контролировать состояние эластомерных уплотнений, гермовводов и при необходимости своевременно их заменять.
Области применения
JFJ-2201 используется в промышленных и научно-исследовательских комплексах: в установках вакуумного и ионно-плазменного напыления, производстве микро- и наноэлектроники, оптоэлектронных устройств, при испытаниях герметичности крупногабаритных сосудов и блоков, в ускорительных модулях, криогенных и термовакуумных стендах.
Высокая быстрота откачки, надёжная механическая конструкция и продуманная система управления делают пост устойчивым к длительной непрерывной работе и многократным циклам включения/выключения.
Поставка и сервис лаборатории «Ликлаб»
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» выступает официальным поставщиком и авторизованным сервисным центром CBVAC в России. Специалисты лаборатории выполняют полный комплекс услуг по вводу в эксплуатацию откачных постов JFJ-2201: подбор конфигурации под задачи заказчика, монтаж и подключение, настройку режимов работы и аттестацию вакуумных систем. Кроме того, «Ликлаб» организует обучение эксплуатационного персонала, проводит диагностику, регламентное техническое обслуживание и ремонт турбомолекулярных и форвакуумных насосов CBVAC.
Как сервисный центр CBVAC в России, лаборатория «Ликлаб» обеспечивает оперативную поставку оригинальных запасных частей, фильтров, уплотнений, элементов автоматики и модулей дистанционного мониторинга, а также выполняет метрологическое сопровождение измерительного оборудования в соответствии с требованиями ГОСТ 8.586 и ГОСТ Р 50.05.01-2018. Наличие собственного сервисного участка и квалифицированных инженеров позволяет минимизировать время простоя оборудования и поддерживать вакуумные посты JFJ-2201 в работоспособном состоянии на всём протяжении их жизненного цикла.
