Вакуумная система подбирается как единый тракт, а не как набор независимых насосов. Требуемое давление, объём камеры, газовая нагрузка, чистота процесса и время откачки определяют сочетание форвакуумной, бустерной и высоковакуумной ступеней. Эта страница объединяет основные серии CBVAC и ведёт к опубликованным карточкам моделей и техническим материалам.
Карта вакуумного тракта
Форвакуумный насос начинает откачку от атмосферного давления и создаёт условия для запуска последующих ступеней. Сухая винтовая ступень применяется там, где важно исключить контакт рабочей камеры с маслом. Бустер Рутса увеличивает производительность в своём рабочем диапазоне, но используется совместно с форвакуумным насосом. Турбомолекулярная ступень обеспечивает высокий вакуум и требует корректно рассчитанного подпора, охлаждения и управления.
Диапазоны ниже относятся к опубликованным сериям. Окончательные параметры, присоединения и допустимые режимы необходимо проверять в карточке конкретной модели и её технической документации.
Сравнение основных серий CBVAC
| Серия | Роль в системе | Опубликованный диапазон серии | Когда рассматривать |
|---|---|---|---|
| MTP, магнитный подвес | Высоковакуумная ступень | 1000-4300 л/с; предельное давление серии до 10−7 Па | Чистые процессы, длительные циклы, требования к низкой вибрации и контролируемому состоянию ротора. |
| JFB, керамические подшипники | Высоковакуумная ступень | 81-4000 л/с; предельное давление серии до 5×10−7 Па | Универсальные высоковакуумные установки с подбором модели по газу, входному фланцу и производительности. |
| SSH и SHH | Безмасляная форвакуумная ступень | 100-3000 м³/ч; остаточное давление серии до 1 Па | Технологические процессы, где требуется сухая откачка и устойчивость к длительной промышленной эксплуатации. |
| JZB | Интегрированная сухая система | 180-500 м³/ч; от атмосферного давления до 1×10−4 Па для опубликованной серии | Компактная высоковакуумная откачка с согласованными ступенями и общей системой управления. |
| Высоковакуумные посты JFJ | Готовый откачной модуль | 85-2200 л/с; предельное давление серии до 5×10−7 Па | Лабораторные и производственные стенды, где удобнее применять собранный модуль вместо отдельных компонентов. |
Алгоритм инженерного подбора
- Определите процесс. Зафиксируйте начальное и рабочее давление, объём камеры, целевое время откачки и продолжительность цикла.
- Опишите газовую нагрузку. Учитывают состав газа, расход, выделение паров, возможные частицы и требования к чистоте.
- Разделите диапазон между ступенями. Форвакуумный насос, бустер и турбомолекулярный насос должны быть согласованы по производительности и допустимому выпускному давлению.
- Проверьте интеграцию. Сопоставьте фланцы, ориентацию, охлаждение, питание, контроллер, интерфейсы автоматики и аварийные блокировки.
- Заложите эксплуатацию. Доступ к обслуживанию, запасные части, защита от загрязнений и контроль температуры определяются до заказа.
Ориентировочное время откачки зависит не только от паспортной быстроты насоса. Проводимость трубопроводов, клапанов и патрубков уменьшает эффективную быстроту у камеры, а десорбция, натекание и технологический газ формируют дополнительную нагрузку.
Интеграция и контроль состояния
Для турбомолекулярной ступени проверяют допустимое выпускное давление, последовательность запуска, охлаждение и реакцию автоматики на рост температуры или нарушение подпора. Для сухого винтового насоса важны температура корпуса, продувка, совместимость с процессным газом и регламент очистки. При вводе системы в эксплуатацию проводят проверку герметичности соединений и сопоставляют фактическую кривую откачки с расчётной.
