Откачной пост CBVAC JFJ-701LF

Комплектация и условия работы JFJ-701LF

Форвакуумная ступень и газовая среда

Опросный лист CBVAC предусматривает выбор маслозаполненного пластинчато-роторного, сухого спирального или другого форвакуумного насоса. Это варианты комплектации, а не перечень одновременно установленных насосов. При подборе задают состав газа, объём камеры, рабочее и конечное давление, газовый поток и требования к чистоте. Быстрота действия у камеры зависит от насосной характеристики и проводимости линии.

Охлаждение и продувка

Способ охлаждения согласовывают по нагрузке. Производитель указывает необходимость водяного охлаждения при продувке, высокой газовой нагрузке, частых пусках и остановах, высокой температуре окружающей среды или прогреве установки. Качество охлаждающей воды и необходимость защитного газа задают при выборе исполнения.

Измерение и управление

В составе стенда выбирают вакуумметр, переходную камеру и присоединения к установке. Тип смазки молекулярной ступени согласовывают отдельно. В опросном листе RJ45 (Modbus-TCP) указан как базовый вариант внешней связи; интерфейс поставляемого исполнения должен соответствовать заказу.

Исходные данные процесса

Для полупроводникового оборудования особенно важны газовый состав, частицы и осаждаемые продукты, охлаждение и выпускная линия. Дополнительно учитывают вибрацию в месте крепления, окружающее магнитное поле, температуру, стабильность питания, режим непрерывной работы или циклические пуски. Наличие этих пунктов в опросном листе не означает универсальную совместимость с коррозионными газами.

Обозначение и заказ: каталог CBVAC от 18.08.2026, лист JZB&SSH&JFJ, строка 32. Условия выбора: опросный лист производителя для откачных постов JFJ.

Другие исполнения JFJ · Каталог насосных систем · Сервис насосов · Подбор комплектации