Подбор откачного стенда для вакуумной установки
Подбор высоковакуумного откачного стенда: состав насосной системы, условия процесса, присоединения и переход к конфигурациям CBVAC JFJ.
Исполнения и заказные номера CBVAC JFJ · Поиск откачных постов JFJ
Данные вакуумной камеры и процесса
Для подбора задают объём и материал камеры, газовый состав, рабочее и конечное давление, требуемое время откачки и газовую нагрузку. Для полупроводникового оборудования отдельно учитывают частицы, осаждаемые продукты, выпускную линию и требования к чистоте. Указание коррозионного газа в опросном листе не означает пригодность любой конфигурации для такого газа.
Состав насосной системы
Согласовывают высоковакуумную и форвакуумную ступени, тип присоединения, переходную камеру, вакуумметр, способ охлаждения, продувку и управление. Подбор насосов связан с проводимостью линии: быстрота действия у камеры не равна паспортному значению отдельного насоса.
Интеграция и режим работы
В опросном листе фиксируют температуру окружающей среды, вибрацию места крепления, магнитное поле, стабильность питания, непрерывную работу или повторные пуски. Конкретные межблокировки и последовательность запуска определяют по документации согласованной комплектации.
Измерения и контроль герметичности
Диапазон и тип вакуумметра выбирают по рабочему процессу. Для задач контроля герметичности отдельно согласовывают схему подключения течеискателя, допустимую газовую нагрузку и условия измерения. Откачной стенд не заменяет течеискатель и не задаёт его чувствительность.
Численные значения быстроты откачки, предельного давления, мощности, массы и габаритов берут из спецификации выбранной комплектации. Название серии не является общей гарантией этих параметров.
Источники: конфигурационный каталог CBVAC от 18.08.2026, лист JZB&SSH&JFJ; опросный лист Pre sales Confirmation for JFJ UNITS-EN.