Турбомолекулярный насос CBVAC MTP-4301 на магнитном подвесе (4300 л/с, 10⁻⁷ Па)
Турбомолекулярный насос CBVAC MTP-4301 — топовая модель серии MTP с активной магнитной подвеской ротора. Оборудование спроектировано для промышленных и научно-исследовательских установок, где критичны высокая быстрота откачки, сверхчистый вакуум и стабильность рабочих параметров. Благодаря использованию магнитной подвески насос функционирует без механических подшипников и смазочных материалов, что гарантирует отсутствие загрязнений и увеличенный ресурс при круглосуточной непрерывной работе.
Назначение и область применения
MTP-4301 применяется в установках осаждения покрытий (PVD, CVD, PECVD), комплексах плазмохимического травления, ионной имплантации, термообработки, в масс-спектрометрических анализаторах, системах контроля герметичности и высокотемпературных вакуумных печах. Конструкция насоса рассчитана на длительные технологические циклы, частые пуски и остановы, а также на эксплуатацию в запылённых и химически агрессивных средах, особенно при использовании продувки азотом и подогреваемого фланца с системой термостабилизации TMS.
Основные характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия (N₂ / H₂) | 4300 л/с / 2700 л/с |
| Предельное остаточное давление | ≤ 1×10⁻⁷ Па |
| Коэффициент сжатия (N₂ / H₂) | > 1×10⁸ / > 1×10³ |
| Впускной фланец | ISO320F, опции VG350 / VG400 |
| Выпускной фланец | KF40 |
| Питание | Однофазное 176–264 В AC, 50/60 Гц |
| Максимальная потребляемая мощность | 2200 Вт |
| Номинальная скорость вращения | 24 240 об/мин |
| Время разгона / замедления | ≤ 12 мин / ≤ 18 мин |
| Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса | > 1300 л/мин |
| Охлаждение | водяное, 3 л/мин, 15–35 °C, 0,3–0,4 МПа |
| Система термостабилизации | TMS поддерживается |
| Температура обезгаживания фланца | < 120 °C |
| Уровень шума | < 55 дБ при 24 240 об/мин |
| Степень защиты корпуса | IP54 |
| Монтажное положение | произвольное |
| Масса | ≈ 111 кг |
| Температура эксплуатации | 0…+40 °C |
| Температура хранения | −25…+55 °C |
| Продувка азотом | 50 ± 10 sccm через порт KF10 |
Конструкция и принцип действия
Ротор MTP-4301 удерживается в рабочем положении системой активной магнитной подвески. Датчики положения и токовые регуляторы формируют замкнутый контур управления, полностью исключающий физический контакт между вращающимися и неподвижными элементами. Это обеспечивает сверхнизкий уровень вибраций (<0,05 мкм), высокую точность удержания оси вращения и отсутствие механического износа. Пакеты лопаток ротора имеют оптимизированную газодинамическую геометрию, благодаря чему достигается эффективная откачка газов с различной молекулярной массой — от тяжёлых инертных газов (например, аргона) до лёгкого водорода.
Электроника и управление
Встроенный электронный модуль выполняет функции запуска, стабилизации скорости, защиты, самодиагностики и удалённого мониторинга. Реализована поддержка интерфейсов RS-232/485, REMOTE I/O, а также промышленных протоколов Modbus, Profibus и EtherCAT, что упрощает интеграцию в автоматизированные линии. Специализированные алгоритмы управляют безопасным замедлением при кратковременных сбоях питания и автоматическим восстановлением номинального режима вращения. Система TMS отслеживает и регулирует температуру фланца и корпуса насоса, предотвращая термодрейф и конденсацию в зонах с высокими температурными градиентами.
Эксплуатационные преимущества
- Полностью безмасляная конструкция, исключающая загрязнение высоковакуумной области.
- Повышенный коэффициент сжатия по водороду — оптимальное решение для UHV-систем и научных установок.
- Низкий уровень вибраций и акустического шума — возможно применение рядом с высокочувствительной измерительной аппаратурой.
- Продолжительная работа без регламентной замены подшипников благодаря отсутствию узлов трения.
- Гибкость по типам присоединительных фланцев: поддержка стандартов ISO, VG и CF.
- Полная совместимость с современными линиями PVD/CVD, установками плазмохимического травления и системами вакуумного контроля герметичности.
Интеграция в технологические системы
При проектировании вакуумного тракта рекомендуется использовать прямой канал с эквивалентным диаметром ISO320 и минимальным числом переходников и сужений, чтобы сохранить паспортную быстроту действия. В качестве форвакуумного насоса следует применять агрегат с производительностью не ниже 1300 л/мин. Для эксплуатации в агрессивных или коррозионно-активных газовых средах доступна модификация в коррозионностойком исполнении. Продувка азотом стабилизирует внутреннюю атмосферу, снижает риск отложений на лопатках и существенно увеличивает срок службы оборудования. Для эффективного отвода тепла поддерживается расход охлаждающей воды 3–4 л/мин при давлении около 0,3 МПа и температуре 15–30 °C.
Сервис и поддержка в России
Поставка, гарантийное и постгарантийное обслуживание турбомолекулярных насосов CBVAC серии MTP, включая модель MTP-4301, в России выполняется через лабораторию контроля герметичности «Ликлаб» — официальный сервисный центр CBVAC в России. Специалисты «Ликлаб» осуществляют подбор и поставку оборудования, монтаж и пусконаладку, проверку и настройку систем магнитной подвески, диагностику и калибровку TMS, обновление и модернизацию контроллеров управления.
Как авторизованный сервисный центр CBVAC в России, лаборатория «Ликлаб» обеспечивает полный цикл технической поддержки: от первичного аудита вакуумной системы и консультаций по интеграции насоса в линию осаждения или испытательный стенд до регламентных проверок, планового обслуживания и оперативного ремонта. Проводится обучение инженерно-технического персонала предприятий работе с высоковакуумным оборудованием, оптимизации режимов откачки и правильному использованию продувки азотом и термостабилизации TMS.
Благодаря прямому сотрудничеству с производителем CBVAC, «Ликлаб» использует оригинальные комплектующие и заводские методики тестирования, что гарантирует соответствие обслуживаемых насосов MTP-4301 заявленным характеристикам по быстроте действия, уровню остаточного давления и надежности при длительной эксплуатации в составе промышленных и научных вакуумных комплексов.