Турбомолекулярный насос CBVAC MTP-4301 на магнитном подвесе
Турбомолекулярный насос CBVAC MTP-4301 на магнитном подвесе
Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301: до 4300 л/с по N₂, предельное давление 1×10⁻⁷ Па после прогрева, вход ISO400F.
Подробнее
Описание
MTP-4301 — старшая модель серии из приложенного каталога. Насос оснащен активным магнитным подвесом, встроенным контроллером и водяным охлаждением; предусмотрены исполнения с TMS и промышленными интерфейсами.
Особенности
активный магнитный подвес
встроенный контроллер
водяное охлаждение
исполнения TMS
промышленные интерфейсы по коду исполнения
Технические характеристики
Быстрота откачки N₂
4300 л/с для ISO400F
Быстрота откачки H₂
2700 л/с
Предельное давление после прогрева
1×10⁻⁷ Па
Допустимое постоянное форвакуумное давление
266 Па с TMS
Входной фланец
ISO400F
Выходной фланец
KF40
Порт продувки
KF10
Расход продувочного N₂
50 ± 10 ст. см³/мин
Частота вращения
24 240 об/мин
Время разгона
≤ 11 мин
Уровень шума
< 55 дБ
Масса
111 кг
Степень защиты
IP54
Питание
1-фазное 220 В ±20 %, 50/60 Гц
Мощность контроллера
1700 ВА; 2200 ВА с TMS
Рабочая температура
0–40 °C
Области применения
крупные камеры PVD и PECVD
ионная имплантация
производство дисплеев
фотовольтаика
промышленная вакуумная термообработка
Источник данных:Manual-MTP Pump CBVAC.pdf и магнитолевитационный молекулярный насос серии MTP-CBVAC.pdf, стр. 11–13 и 3. Значения перенесены с сохранением единиц и условий, указанных изготовителем.
Документы
Технический паспорт с изображением, основными параметрами и контактами для заказа.
Значения относятся к непрерывной откачке азота или аргона при подаче продувочного азота 0,084 ± 0,017 Па·м³/с (50 ± 10 ст. см³/мин). Быстрота откачки в л/с и газовый поток в Па·м³/с — разные физические величины.
Форвакуум — требуемая быстрота откачки форвакуумного насоса по таблицам изготовителя, а не давление. 1300 л/мин = 78 м³/ч; 10000 л/мин = 600 м³/ч. Значения должны превышать указанные пороги.
Для MTP-4301 с TMS при воде 25–35 °C в таблице изготовителя значения не приведены; переносить туда показатели режима 15–25 °C нельзя. Таблица не подтверждает работу с любым процессным газом.
Источник: Manual-MTP Pump CBVAC.pdf, раздел 1.3.2, таблицы 4 и 5, страница PDF 14 (печатная 8). При подборе учитывают охлаждение, газовую нагрузку, продувку и сопротивление форвакуумной магистрали.
Комплексный аудит вакуумных станций и систем — проводится оценка насосов, трубопроводов, уплотнений и датчиков. Выявляются слабые зоны и причины потери вакуума. Предлагаются меры по улучшению. Итогом является техническое заключение.
Профессиональная откачка и создание технологического вакуума — используется оборудование высокой производительности. Проводится дегазация системы и стабилизация давления. Метод подходит для камер напыления и испытательных установок. Гарантируется достижение заданных параметров.
Сервисное сопровождение вакуумных систем по договору — включает регулярный осмотр, профилактику и ремонт оборудования. Обеспечивается стабильная работа насосов и датчиков. Выполняются регламентные работы с оформлением отчётов. Услуга снижает риски аварий и простоя.
Наши специалисты ответят на любой интересующий вопрос по товару
Задать вопрос
Сайт использует файлы cookie и сервисы веб-аналитики
Яндекс.Метрика, Google Analytics и Google Tag Manager
для сбора обезличенной статистики посещений и улучшения работы сайта.
Аналитические cookie устанавливаются только после вашего явного согласия в соответствии с
Федеральным законом № 152-ФЗ «О персональных данных».
Нажимая «Принять», вы соглашаетесь на обработку cookie в соответствии с
Политикой использования cookie-файлов.
Нажимая «Отклонить», вы отказываетесь от аналитических cookie; технически необходимые cookie
могут сохраняться для корректной работы сайта.
