MTP-4301 — старшая модель серии из приложенного каталога. Насос оснащен активным магнитным подвесом, встроенным контроллером и водяным охлаждением; предусмотрены исполнения с TMS и промышленными интерфейсами.
Особенности
- активный магнитный подвес
- встроенный контроллер
- водяное охлаждение
- исполнения TMS
- промышленные интерфейсы по коду исполнения
Технические характеристики
| Быстрота откачки N₂ | 4300 л/с для ISO400F |
|---|---|
| Быстрота откачки H₂ | 2700 л/с |
| Предельное давление после прогрева | 1×10⁻⁷ Па |
| Допустимое постоянное форвакуумное давление | 266 Па с TMS |
| Входной фланец | ISO400F |
| Выходной фланец | KF40 |
| Порт продувки | KF10 |
| Расход продувочного N₂ | 50 ± 10 ст. см³/мин |
| Частота вращения | 24 240 об/мин |
| Время разгона | ≤ 11 мин |
| Уровень шума | < 55 дБ |
| Масса | 111 кг |
| Степень защиты | IP54 |
| Питание | 1-фазное 220 В ±20 %, 50/60 Гц |
| Мощность контроллера | 1700 ВА; 2200 ВА с TMS |
| Рабочая температура | 0–40 °C |
Области применения
- крупные камеры PVD и PECVD
- ионная имплантация
- производство дисплеев
- фотовольтаика
- промышленная вакуумная термообработка
Источник данных:Manual-MTP Pump CBVAC.pdf и магнитолевитационный молекулярный насос серии MTP-CBVAC.pdf, стр. 11–13 и 3. Значения перенесены с сохранением единиц и условий, указанных изготовителем.
