Мембранно-ёмкостные вакуумметры CBVAC
Мембранно-ёмкостные вакуумметры CBVAC представляют собой высокоточные датчики абсолютного давления, использующие принцип измерения деформации тонкой никелевой мембраны. Давление газа вызывает упругий прогиб мембраны, который преобразуется в электрический сигнал, пропорциональный давлению. За счёт этого обеспечивается прямая, линейная и высокостабильная регистрация давления, независимая от состава газа, что делает приборы CBVAC эталонными для промышленной и лабораторной вакуумной метрологии.
Принцип работы и конструкция
Основой прибора служит радиально натянутая никелевая мембрана, отделяющая измерительный объём от опорной камеры. Изменение ёмкости между мембраной и неподвижным электродом фиксируется электроникой датчика и преобразуется в выходное напряжение 0–10 В. Корпус и чувствительный элемент выполнены из никелевого сплава с полной сварной герметизацией, что обеспечивает устойчивость к агрессивным газам, вибрациям и перепадам давления до 310 кПа. Конструкция полностью безмасляная, не требует калибровки по газу и сохраняет точность при многократных циклах нагрева и охлаждения.
Основные преимущества
- Абсолютная независимость от состава газа и его молекулярной массы.
- Высокая точность — до ±0,12% от показания при нагреве 45–100 °C.
- Сверхбыстрая реакция — менее 20 мс, что важно для динамических процессов.
- Температурная стабилизация (45 °C, 100 °C, 150–200 °C) для устранения дрейфа нуля.
- Коррозионностойкая никелевая мембрана и полностью сварной корпус.
- Высокая долговременная стабильность и повторяемость результатов измерений.
Типы и модификации
Серия CBVAC включает несколько типов мембранно-ёмкостных датчиков:
- CM1 — универсальный аналоговый вакуумметр с диапазонами 0,1–1000 Торр и точностью до 0,12%. Выход 0–10 В, питание ±15 В DC, время отклика < 20 мс.
- CM1E — версия с антипылевой защитой и минимизацией дрейфа при травлении и осаждении. Нагрев 45 °C или 100 °C.
- DM1 — датчик с дополнительным входом внешней установки нуля, диапазон 0,02–1000 Торр, точность 0,12%, нагрев 45–100 °C.
- DM1E — «etch-версия» для процессов плазмохимического травления с защитой мембраны от конденсатов и отложений.
- HM1 — вакуумметр с двумя релейными уставками для автоматического управления клапанами и насосами.
- MM1 — высокотемпературная модификация (150–200 °C) для работы в условиях загрязняющих процессов CVD и металлургических установок.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны измерения | 0,02 – 1000 Торр (в зависимости от модели) |
| Погрешность измерений | от ±0,12 % до ±0,5 % показания |
| Время отклика | < 20 мс |
| Рабочие температуры | неподогреваемые / 45 °C / 100 °C / 150–200 °C |
| Температурный коэффициент нуля | 0,002–0,01 % F.S./°C |
| Температурный коэффициент шкалы | 0,02–0,04 % от показания / °C |
| Перегрузочная способность | до 310 кПа |
| Выходной сигнал | 0–10 В DC (нагрузка > 10 кΩ) |
| Питание | ±15 В DC ± 5 % |
| Интерфейсы | DB9 / DB15 / 5-pin terminal, EtherCAT (опция) |
| Разъёмы присоединения | KF16, KF25, CF16, CF35, VCR, VCO, 1/2 Tube |
| Материалы, контактирующие с газом | никелевый сплав высокой коррозионной стойкости |
| Разрешающая способность | 0,001 % от диапазона измерения |
Применение
Мембранно-ёмкостные вакуумметры CBVAC применяются в полупроводниковом производстве, плазменных и травильных установках, системах осаждения покрытий (PVD, CVD, PECVD), установках ионной имплантации, в оборудовании для контроля герметичности и калибровки вакуумных систем. Благодаря устойчивости к загрязнению и высокой воспроизводимости, они используются в метрологических лабораториях, включая испытательные станции лаборатории «Ликлаб».
Поставка и сервис
Официальным поставщиком и сервисным центром CBVAC в России является Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб». Специалисты лаборатории выполняют поставку, калибровку и метрологическую поверку мембранно-ёмкостных датчиков, обеспечивают установку, настройку интерфейсов, а также адаптацию приборов под конкретные технологические задачи предприятий вакуумной, электронной и криогенной отраслей. Предусмотрено обучение персонала и проведение поверочных испытаний в соответствии с ГОСТ 8.586 и ГОСТ Р 50.05.01.