Характеристики MTP по каталогу производителя
Таблица относится к сериям MTP-2201, MTP-3201 и MTP-4301, представленным в каталоге. Заказное обозначение дополнительно определяет контроллер, присоединения, обработку, продувку, нагрев и связь. Числа в названии модели не заменяют значения быстроты откачки по конкретному газу.
| Параметр | MTP-2201 | MTP-3201 | MTP-4301 |
|---|
| Быстрота откачки N₂, л/с | 2200 | 3200 | 4000 |
| Быстрота откачки H₂, л/с | 1700 | 2300 | 2700 |
| Коэффициент сжатия N₂ | > 10⁸ | > 10⁸ | > 10⁸ |
| Коэффициент сжатия H₂ | > 1 × 10⁴ | > 2 × 10³ | > 1 × 10³ |
| Предельное давление после прогрева, Па | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ | 10⁻⁷ |
| Непрерывное форвакуумное давление при включённой TMS, Па | 266 | 266 | 266 |
| Номинальная частота вращения, об/мин | 27000 | 27720 | 24240 |
| Время запуска, мин | ≤ 8 | ≤ 10 | ≤ 11 |
| Время остановки, мин | ≤ 11 | ≤ 16 | ≤ 19 |
| Входной фланец в таблице | ISO250F | ISO320F | ISO320F |
| Выходной фланец | KF40 | KF40 | KF40 |
| Масса по каталогу, кг | 60 | 84 | 111 |
| Максимальная входная мощность, Вт | 1500 | 1800 | 2200 |
Условия вакуумных характеристик
Предельное давление 10⁻⁷ Па в каталоге указано после прогрева. Значение 266 Па непрерывного форвакуумного давления приведено при включённой функции TMS. Эти условия нельзя опускать или переносить на исполнения без соответствующей функции. Фактическое давление в камере зависит также от газовой нагрузки, проводимости линии и герметичности.
Охлаждение и установка
Для трёх серий указано водяное охлаждение: расход 3 л/мин, рекомендуемая температура воды 15–35 °C, давление 0,3–0,4 МПа. Рабочая температура окружающей среды 0–40 °C; степень защиты IP54. Каталог допускает произвольный угол установки. Допустимая температура прогрева входного фланца менее 120 °C.
Продувка, питание и связь
Продувочный фланец KF10 указан как опция; расход азота в таблице 50 ± 10 стандартных см³/мин (sccm). Однофазное питание 176–264 В переменного тока. В таблице перечислены REMOTE I/O и RS232/485; Profibus и EtherCAT обозначены как опциональные способы связи. Полный состав интерфейсов проверяют по заказному коду и контроллеру.
Подбор для полупроводниковых процессов
Производитель указывает применения в нанесении тонких плёнок, ионной имплантации, PECVD и производстве дисплеев. Для конкретного процесса согласовывают состав газа, частицы и осаждаемые продукты, обработку рабочих поверхностей, продувку, нагрев и форвакуумную ступень. Каталог различает исполнения с интегрированным и раздельным контроллером: нельзя считать встроенную электронику обязательной для всех насосов MTP.
Источник: MTP Magnetic Levitation Molecular Pump-CBVAC, страницы 1–2. Схемы и кривые следующих страниц подписаны для исполнений CTMS; их нельзя автоматически считать чертежами всех вариантов серии.
Заказные исполнения MTP и скачиваемые спецификации · Подбор и заказ насосной системы
