Турбомолекулярный насос CBVAC MTP-3201 на магнитном подвесе (3200 л/с, 10⁻⁷ Па)
CBVAC MTP-3201 — высокопроизводительный турбомолекулярный насос нового поколения с полностью магнитной подвеской ротора, встроенным контроллером и водяным охлаждением. В конструкции отсутствуют контактные подшипники и элементы трения, нет необходимости в смазке, что устраняет вибрации, исключает загрязнение маслом и обеспечивает длительный ресурс работы в диапазоне давлений от атмосферного до 10⁻⁷ Па.
Назначение и область применения
Турбомолекулярный насос MTP-3201 предназначен для эксплуатации в промышленных и научных вакуумных системах, где требуется высокий и сверхвысокий вакуум: нанесение тонких плёнок и покрытий (PVD, CVD, PECVD), ионная имплантация, плазмохимическое травление, вакуумная термообработка материалов, производство светодиодной продукции и фотопанелей, вакуумные установки контроля герметичности, а также исследовательские и испытательные стенды. Благодаря устойчивости к загрязнениям и низкому акустическому уровню < 55 дБ MTP-3201 оптимален для чистых производств, современных лабораторных комплексов и метрологических установок.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия (N₂ / H₂) | 3200 л/с / 2300 л/с |
| Предельное остаточное давление | ≤ 1×10⁻⁷ Па |
| Коэффициент сжатия N₂ / H₂ | > 1×10⁸ / > 2×10³ |
| Впускной фланец | ISO320F (опция ISO250F или VG350) |
| Выпускной фланец | KF40 |
| Питание | Однофазное 176–264 В AC, 50/60 Гц |
| Максимальная входная мощность | 1800 Вт |
| Номинальная скорость вращения | 27 720 об/мин |
| Время разгона / остановки | ≤ 10 мин / ≤ 16 мин |
| Охлаждение | водяное (расход 3 л/мин, 15–35 °C, 0.3–0.4 МПа) |
| Температура обезгаживания фланца | < 120 °C |
| Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса | > 1300 л/мин |
| Уровень шума | < 55 дБ при 27 720 об/мин |
| Степень защиты | IP54 |
| Масса | ≈ 84 кг |
| Температура эксплуатации | 0 – 40 °C |
| Температура хранения | –25 – 55 °C |
| Подача азота для продувки | 50 ± 10 sccm (через порт KF10) |
| Система термостабилизации TMS | Поддерживается |
Конструктивные и эксплуатационные особенности
Ротор MTP-3201 удерживается в активном магнитном поле, формируемом цифровыми датчиками положения и системой электронных регуляторов. Такое решение полностью исключает механический износ, трение и контактные нагрузки. Отсутствие смазочных материалов в зоне высокого вакуума предотвращает углеводородное загрязнение вакуумных камер и существенно повышает чистоту технологических процессов. Поддержание стабильной температуры фланца и корпуса осуществляется через систему термостабилизации TMS, что обеспечивает надёжную работу насоса при форвакуумных давлениях до 266 Па.
Интерфейсы и управление
Насос оснащён встроенным контроллером с интерфейсами REMOTE I/O и RS-232/485 и поддержкой промышленных протоколов Modbus, Profibus и EtherCAT. Функционал управления включает автоматический запуск, регулирование скорости вращения, мониторинг состояния магнитной подвески и температурных параметров, а также алгоритмы безопасной остановки при пропадании питания (с удержанием вращения на уровне около 5000 об/мин до контролируемого торможения).
Преимущества и ресурс
- Полностью безмасляная конструкция — идеальное решение для чистых производств и высокочистых вакуумных процессов.
- Высокая устойчивость к вибрационным воздействиям и внешним магнитным полям.
- Сниженный уровень шума при высокой энергоэффективности.
- Долговечный ротор без необходимости периодической замены подшипников.
- Совместимость с технологическими газами и средами с низкой коррозионной активностью.
Поставка и сервис в России
Официальным поставщиком и сервисным центром турбомолекулярных насосов CBVAC серии MTP в России выступает Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб». На базе «Ликлаб» организован авторизованный сервисный центр CBVAC в России, обеспечивающий полный цикл сопровождения: подбор конфигурации, поставку оборудования, монтаж, пуско-наладочные работы, адаптацию систем магнитной подвески, настройку термостабилизации TMS и интеграцию коммуникационных интерфейсов в существующую инфраструктуру заказчика.
Сервисный центр CBVAC в России на базе лаборатории «Ликлаб» выполняет регламентное обслуживание, диагностику и ремонт турбомолекулярных насосов, периодическую проверку параметров магнитной подвески, обновление прошивок контроллеров и калибровку в составе вакуумных установок и систем контроля герметичности. Специалисты лаборатории проводят обучение инженеров и сервисного персонала по эксплуатации насосов CBVAC, что позволяет поддерживать стабильную работу оборудования в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных приложениях.