Турбомолекулярный насос CBVAC MTP-2201 на магнитном подвесе (2200 л/с, 10⁻⁷ Па)
Турбомолекулярный насос CBVAC MTP-2201 — это высокоэффективный агрегат с полностью магнитной подвеской ротора и интегрированным электронным контроллером. Отсутствие механических подшипников устраняет необходимость в смазках в вакуумной зоне, минимизирует вибрации и уровень шума, увеличивает срок службы узлов и обеспечивает стабильность вакуумных характеристик при продолжительной непрерывной эксплуатации в чистых технологических процессах.
Назначение
Данный турбомолекулярный насос предназначен для применения в высокочистых промышленных и научных системах: установках нанесения покрытий PVD/CVD/PECVD, плазмохимического травления, ионной имплантации, транспортных и загрузочных/разгрузочных вакуумных камерах, вакуумных печах, а также стендах контроля герметичности. Конструкция насоса допускает монтаж в любом пространственном положении, что упрощает компоновку и проектирование вакуумного оборудования.
Принцип действия и особенности
Ротор насоса вращается в системе активных магнитных подшипников под управлением цифрового регулятора. Микрозазоры между ротором и статором поддерживаются замкнутым контуром по сигналам датчиков положения и силовым токовым приводам. Встроенный контроллер отвечает за запуск, выход на номинальную скорость, поддержание оборотов, непрерывный мониторинг состояния подвески и контролируемое безопасное торможение. Система термостабилизации фланца TMS снижает температурный дрейф параметров и предотвращает конденсацию продуктов процесса на входном фланце. Стандартный тракт продувки подает азот с расходом 50±10 sccm, защищая лопаточные пакеты при работе с влажными и химически активными газовыми средами.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия по N₂ / Ar / H₂ | 2200 / 1900 / 1700 л/с |
| Предельное остаточное давление | ≤ 1×10⁻⁷ Па |
| Коэффициент сжатия N₂ / H₂ | >1×10⁸ / >1×10⁴ |
| Впускной фланец | ISO250F |
| Выпускной фланец | KF40 |
| Скорость вращения номинальная / ожидание | 27 000 об/мин / ~5 000 об/мин |
| Время разгона / замедления | < 8 мин / < 11 мин |
| Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса | > 1300 л/мин |
| Температура обезгаживания впускного фланца | < 120 °С |
| Охлаждение | водяное, поддержка TMS |
| Уровень шума | < 55 дБ при 27 000 об/мин |
| Степень защиты корпуса | IP54 |
| Монтажное положение | произвольное |
| Температура эксплуатации / хранения | 0…+40 °С / −25…+75 °С |
| Масса | ≈ 62 кг |
| Расход азота на продувку | 50 ± 10 sccm |
Интеграция в установку
Для обеспечения паспортной быстроты действия рекомендуется использовать прямолинейный входной тракт с эквивалентным диаметром не менее ISO250, минимизируя число поворотов, переходов и сужений. Вакуумная арматура должна соответствовать классу UHV, а зона фланца с TMS — иметь корректный тепловой зазор и условия отвода тепла. Форвакуумный тракт обязан поддерживать стабильное давление на выходе турбомолекулярного насоса ниже допустимого уровня и обеспечивать расход свыше 1300 л/мин с учетом сопротивления глушителей шума и конденсатоуловителей. При эксплуатации во влагосодержащих и реакционноспособных средах необходимо активировать азотную продувку и термостабилизацию фланца. Допускается произвольная ориентация корпуса насоса, при этом контур охлаждающей воды следует прокладывать с защитой от кавитации и соблюдением требований по расходу и температурному диапазону.
Эксплуатационные преимущества
Полностью безмасляная магнитная опора ротора устраняет источник частиц и деградацию характеристик, связанную с разложением смазочных материалов, что особенно важно для чистых помещений, тонкопленочных технологий и высокочувствительных аналитических измерений. Низкий уровень вибраций и шума упрощает механическую развязку камеры и снижает требования к фундаменту. Быстрый выход на рабочий режим и предсказуемое замедление повышают доступность вакуумного оборудования в циклических и тактовых процессах. Интегрированная система диагностики подвески, температуры и режимов работы поддерживает предиктивное обслуживание, а срок службы ротора не ограничен регламентной заменой подшипников, как в традиционных механических системах опоры.
Поставка и сервис в России
Поставку, запуск и комплексное сервисное сопровождение турбомолекулярного насоса CBVAC MTP-2201 на территории России осуществляет официальный сервисный центр CBVAC — лаборатория контроля герметичности «Ликлаб». «Ликлаб» выступает специализированным центром CBVAC в России, обеспечивая инженерный подбор конфигурации под конкретный вакуумный процесс, интеграцию по интерфейсам REMOTE/RS-485, настройку систем TMS и азотной продувки, а также метрологическое сопровождение узлов вакуумирования. Специалисты лаборатории проводят обучение персонала, плановое и внеплановое обслуживание турбомолекулярных насосов CBVAC, модернизацию существующих линий PVD/CVD и установок контроля герметичности, а также технический аудит вакуумных систем с рекомендациями по повышению их надежности и ресурса.