MTP-2201 — интегрированный молекулярный насос с активным магнитным подвесом и встроенным контроллером. Отсутствие механического контакта в опоре ротора снижает износ; насос допускает монтаж в произвольной ориентации в пределах требований руководства.
Особенности
- активный магнитный подвес
- встроенный контроллер
- водяное охлаждение
- исполнения TMS для термостабилизации
- интерфейсы Modbus, Profibus или EtherCAT в зависимости от кода исполнения
Технические характеристики
| Быстрота откачки N₂ | 2200 л/с |
|---|---|
| Быстрота откачки Ar | 1900 л/с |
| Быстрота откачки H₂ | 1700 л/с |
| Предельное давление после прогрева | 1×10⁻⁷ Па |
| Допустимое постоянное форвакуумное давление | 266 Па с TMS |
| Входной фланец | ISO250F |
| Выходной фланец | KF40 |
| Порт продувки | KF10 |
| Расход продувочного N₂ | 50 ± 10 ст. см³/мин |
| Частота вращения | 27 000 об/мин |
| Время разгона | ≤ 8 мин |
| Уровень шума | < 55 дБ |
| Масса | 60 кг для ISO250F |
| Степень защиты | IP54 |
| Питание | 1-фазное 220 В ±20 %, 50/60 Гц |
| Мощность контроллера | 1200 ВА; 1500 ВА с TMS |
| Охлаждение | водяное |
| Рабочая температура | 0–40 °C |
Области применения
- PVD и PECVD
- ионная имплантация
- производство плоских панелей
- фотовольтаика
- термообработка материалов
Источник данных:Manual-MTP Pump CBVAC.pdf и магнитолевитационный молекулярный насос серии MTP-CBVAC.pdf, стр. 10–13 и 3. Значения перенесены с сохранением единиц и условий, указанных изготовителем.
