Молекулярный насос CBVAC MTP-3201.
Описание
Магнитоопорный молекулярный насос серии MTP с интегрированным контроллером. Каталог указывает водяное охлаждение, интерфейсы REMOTE I/O, RS232/485 и RS485, а также исполнения с TMS.
Характеристики MTP-3201
| Скорость откачки N2 | 3200 L/s |
|---|---|
| Входной фланец | ISO320F |
| Масса | 84 kg |
Применение
- тонкопленочное осаждение
- ионная имплантация
- PECVD/PCD
- материаловедение
Научно-техническая основа подбора
Для магнитолевитационных молекулярных насосов важны быстрота откачки, степень сжатия по легким газам, геометрия роторно-статорных ступеней, зазоры, частота вращения, состояние контроллера, охлаждение и допустимое форвакуумное давление. Магнитные опоры уменьшают механический контакт и риск загрязнения масляными парами, поэтому при подборе также проверяют требования к питанию, аварийному торможению и совместимости с форвакуумным насосом.
Источник: MTP Magnetic Levitation Molecular Pump-CBVAC (2).pdf; Performance_Comparison_Between_CBVAC_and_KYKY_Molecular_Pumps (2).pdf