Вакуумметр Баратрон CBVAC CM1 — прецизионный мембранно-ёмкостный датчик абсолютного давления
Баратрон CBVAC CM1 — это высокоточный эталонный мембранно-ёмкостный вакуумметр, предназначенный для линейного и стабильного измерения абсолютного давления в диапазоне от 0,1 до 1000 Торр. В основе работы датчика лежит метод ёмкостной регистрации прогиба тонкой никелевой мембраны, что обеспечивает исключительную точность, повторяемость показаний и долгосрочную стабильность, не зависящую от химического состава и типа газа. Благодаря монолитной сварной конструкции из коррозионностойкого никелевого сплава прибор устойчив к агрессивным средам и выдерживает избыточное давление до 310 кПа без ухудшения метрологических характеристик.
Назначение и конструктивные особенности
Модель CBVAC CM1 разработана для прямого измерения абсолютного давления в вакуумных камерах и технологических вакуумных системах. Датчик эффективно используется в установках PVD и CVD осаждения, ионной имплантации, плазмохимического травления, в системах контроля герметичности, вакуумной метрологии и материаловедческих исследованиях. Чувствительный элемент представляет собой радиально натянутую никелевую мембрану, выполняющую роль одной из обкладок ёмкостного преобразователя. Высокостабильная электронная схема регистрирует изменение ёмкости при деформации мембраны и формирует линейный аналоговый сигнал 0–10 В для последующей обработки и интеграции в системы управления процессами.
Основные преимущества вакуумметра CBVAC CM1
- Полная независимость показаний от типа, состава и молекулярной массы газа.
- Высокая точность измерений — до ±0,12 % от текущего значения давления.
- Температурная стабилизация (без подогрева, 45 °C или 100 °C) для минимизации дрейфа нулевой отметки.
- Малое время отклика — менее 20 мс, что важно для динамических процессов.
- Повышенная коррозионная стойкость и ресурс за счёт никелевого сплава и полностью сварной конструкции без уплотнений.
- Разнообразие вакуумных присоединений: KF, CF, VCR, VCO, а также трубное исполнение.
- Интеграция в современные цифровые системы управления — аналоговый выход 0–10 В, опциональный интерфейс EtherCAT.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны измерений | 0,1 / 0,25 / 1 / 2 / 10 / 20 / 100 / 500 / 1000 Торр |
| Тип измерения | Абсолютное давление |
| Погрешность | 0,12 % от показания (при 45 °C и давлении выше 0,1 Торр) |
| Время отклика | < 20 мс |
| Температура эксплуатации | 0–50 °C (без подогрева), 15–40 °C (при 45 °C), 15–50 °C (при 100 °C) |
| Температура нагрева | Без подогрева, 45 °C, 100 °C |
| Температурный коэффициент нуля | 0,002–0,02 % F.S./°C в зависимости от выбранного диапазона |
| Температурный коэффициент шкалы | 0,02 % показания / °C |
| Выходной сигнал | 0–10 В DC (нагрузка >10 кОм) |
| Питание | ±15 В DC ±5 %, потребляемый ток до 0,6 А (макс.) |
| Разъём | DB15 (мужской) |
| Присоединения | KF16, KF25, CF16, CF35, 8VCR, 8VCO, 1/2 Tube, 3/8 VCR |
| Объём внутренней полости | 6,3 см³ |
| Максимальное избыточное давление | 310 кПа |
| Материалы, контактирующие с газом | Никелевый сплав с высокой коррозионной стойкостью |
| Разрешение | 0,001 % от полной шкалы |
| Время прогрева | 2 часа (для диапазонов ≥1 Торр), 4 часа (для диапазонов <1 Торр) |
Принцип действия мембранно-ёмкостного вакуумметра
При изменении давления в измерительной полости происходит упругий прогиб никелевой мембраны, вследствие чего меняется электрическая ёмкость между мембраной и неподвижным электродом. Это изменение ёмкости регистрируется высокостабильной прецизионной электроникой, которая преобразует его в линейный аналоговый сигнал 0–10 В. Такой метод измерения не зависит от массы и вида молекул газа, что позволяет получать достоверные и воспроизводимые результаты по всему диапазону — от высокого до среднего вакуума, а также в области избыточного давления в пределах допустимых значений.
Области применения CBVAC CM1
Вакуумметры серии CBVAC CM1 находят применение в технологическом оборудовании для производства полупроводниковых приборов, интегральных микросхем, оптических и функциональных покрытий, солнечных модулей и тонкоплёночных структур. Они используются в установках контроля герметичности, вакуумных испытательных камерах, системах напыления, травления и модификации поверхности. Высокая долговременная стабильность и линейность выходного сигнала делают CBVAC CM1 оптимальным выбором для автоматизированных систем управления вакуумными процессами, где критичны точность, воспроизводимость и надёжность измерений.
Обслуживание, калибровка и сервис CBVAC в России
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» выступает официальным сервисным центром и поставщиком оборудования CBVAC в России. Специалисты «Ликлаб» выполняют поставку, ввод в эксплуатацию, гарантийное и постгарантийное обслуживание, а также метрологическую поверку и калибровку вакуумметров CBVAC CM1 на базе собственной аккредитованной лаборатории.
В рамках сервисного сопровождения CBVAC в России лаборатория «Ликлаб» обеспечивает:
- профессиональный подбор конфигурации вакуумметров CBVAC CM1 под конкретные технологические задачи;
- монтаж и подключение датчиков к существующим вакуумным линиям и системам управления;
- настройку аналогового выхода 0–10 В и, при необходимости, интеграцию по EtherCAT в АСУ ТП;
- первичную и периодическую метрологическую поверку, а также калибровку по рабочим и эталонным средствам измерений;
- проверку линейности, дрейфа нуля и стабильности показаний в полном рабочем диапазоне;
- диагностику, ремонт и восстановление характеристик вакуумметров CBVAC при эксплуатации в жёстких условиях.
Все измерительные приборы CBVAC, проходящие через сервисный центр «Ликлаб», подвергаются входному контролю, тестированию на стабильность и линейность сигнала в соответствии с действующими нормативами ГОСТ 8.586 и ГОСТ Р 50.05.01–2018. Такой подход гарантирует корректную работу вакуумметров Баратрон CBVAC CM1 в промышленных и лабораторных установках по всей России и позволяет использовать их в составе поверенных измерительных систем и автоматизированных комплексов контроля герметичности.