Баратрон CBVAC MM1 — промышленный мембранно-ёмкостный вакуумметр для высокотемпературных процессов
CBVAC MM1 — это промышленный мембранно-ёмкостный вакуумметр (баратрон) повышенной надёжности, спроектированный для работы в условиях высоких температур, вибраций и загрязнённой технологической среды. Прибор обеспечивает высокоточное измерение абсолютного давления в диапазоне от 0,1 до 1000 Торр и гарантирует погрешность не хуже ±0,25 % от показания при температуре корпуса до +120 °C. За счёт усиленной системы термостабилизации и полностью сварной никелевой конструкции MM1 оптимально подходит для непрерывных технологических процессов и контроля герметичности промышленных вакуумных установок.
Конструктивные особенности
Модель MM1 использует тот же принцип действия, что и другие баратроны CBVAC: измерение изменения ёмкости между упругой мембраной и неподвижным электродом при её прогибе под воздействием давления. При этом конструкция корпуса, мембраны и электронного модуля специально адаптирована под эксплуатацию в «жёстких» промышленных условиях. Корпус изготовлен из высококоррозионностойкого никелевого сплава, элементы электроники термостойкие, виброустойчивые и защищены от пыли. Встроенный подогрев поддерживает стабильную рабочую температуру при нагреве окружающей среды до +120 °C, предотвращая конденсацию влаги и адсорбцию технологических газов на внутренних поверхностях датчика.
Основные преимущества
- Расширенный температурный диапазон эксплуатации — до +120 °C по корпусу.
- Высокая метрологическая точность — ±0,25 % от показания даже при длительной работе в условиях повышенной температуры.
- Полностью сварная герметичная конструкция, устойчивая к вибрациям, запылённости и коррозионному воздействию среды.
- Стандартный аналоговый выход 0–10 В для прямого подключения к промышленным системам автоматизации и управления процессами.
- Не требует регулярной подстройки нуля и калибровки в процессе эксплуатации, не зависит от состава измеряемого газа.
- Подогрев мембраны и корпуса минимизирует загрязнение, конденсацию и адсорбцию паров на чувствительных элементах.
- Повышенная устойчивость к электромагнитным помехам и перенапряжениям в промышленных электросетях.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны измерения | 0,1 – 1000 Торр (абсолютное давление) |
| Тип измерения | Абсолютное, не зависит от состава газа |
| Точность | ±0,25 % от показания при 45 °C – 100 °C |
| Разрешение | 0,001 % от полной шкалы |
| Время отклика | < 20 мс |
| Температура подогрева | 45 °C / 100 °C / 120 °C (в зависимости от исполнения) |
| Температурный коэффициент нуля | ≤ 0,003 % F.S./°C |
| Температурный коэффициент шкалы | ≤ 0,02 % от показания / °C |
| Выходной сигнал | 0 – 10 В DC (нагрузка ≥ 10 кОм) |
| Питание | ±15 В DC ±5 % / 24 В DC (опционально) |
| Перегрузочная способность | до 310 кПа |
| Рабочая температура | 0…+120 °C (с подогревом) |
| Материалы, контактирующие с газом | Никелевый сплав высокой чистоты |
| Присоединения | KF16 / KF25 / CF16 / CF35 / VCR / 1/2 Tube |
| Электрический разъём | DB15 / DB9 (опционально) |
| Время прогрева | 2–4 часа (в зависимости от установленной температуры нагрева) |
| Температура хранения | –25…+75 °C |
Отличие от других моделей CBVAC
По сравнению с моделями CM1 и DM1, ориентированными преимущественно на лабораторные и метрологические задачи, баратрон MM1 специально адаптирован под тяжёлые промышленные режимы и продолжительную работу при повышенной температуре. В отличие от версии HM1, оснащённой релейными уставками для сигнализации и защиты, MM1 не имеет встроенных реле, но обладает увеличенной термостойкостью, более эффективной защитой электроники и повышенным классом промышленной герметичности. Это делает его оптимальным решением для использования в вакуумных магистралях и технологических линиях химической, фармацевтической, металлургической и энергетической промышленности.
Области применения
Баратрон MM1 применяется для измерения и регулирования давления в следующих типах установок:
— системы плазменного травления и процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD, PECVD);
— вакуумирование и дегазация металлических изделий и расплавов в металлургии;
— стенды контроля герметичности, вакуумные камеры для ресурсных и климатических испытаний;
— криогенные и термовакуумные комплексы;
— фармацевтические и химические реакторы, работающие при пониженном давлении.
Поставка и сервис
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» — официальный дистрибьютор и сервисный центр CBVAC в России. Специалисты лаборатории осуществляют поставку, ввод в эксплуатацию, калибровку, поверку и полное метрологическое сопровождение баратронов серий CM1, DM1, EM1, HM1 и MM1. Все приборы проходят проверку в соответствии с требованиями ГОСТ 8.586 и ГОСТ Р 50.05.01-2018. «Ликлаб» как авторизованный сервисный центр CBVAC в России также разрабатывает и реализует инженерные решения по интеграции датчиков абсолютного давления в автоматизированные вакуумные системы, линии контроля герметичности и технологические комплексы различного назначения.