Баратрон CBVAC CM1E — мембранно-ёмкостный вакуумметр с защитой от загрязнений
Баратрон CBVAC CM1E — модернизированная версия эталонного вакуумметра CM1, спроектированная специально для работы в условиях повышенного загрязнения и присутствия химически активных газов. Датчик реализует тот же принцип ёмкостного измерения прогиба никелевой мембраны, но отличается усовершенствованной конструкцией корпуса и дополнительной антипылевой защитой мембранного блока. За счёт этого прибор устойчив к осаждению частиц, образованию конденсата и воздействию агрессивных паров, сохраняя высокую точность измерений даже при длительной непрерывной эксплуатации в технологических установках.
Назначение и особенности
CBVAC CM1E применяется в вакуумных системах, где вероятно образование отложений на внутренних поверхностях — в процессах химического осаждения из газовой фазы (CVD), плазмохимического травления, нанесения тонких плёнок и покрытий, а также в установках для анализа утечек и контроля герметичности. По своим метрологическим параметрам прибор относится к высокоточному классу и обеспечивает измерение абсолютного давления, не зависящее от состава измеряемого газа. Это делает вакуумметр универсальным инструментом для промышленных производств, научных лабораторий и исследовательских центров.
Отличия от модели CM1
- Усиленная защита чувствительного модуля от пыли, аэрозольных частиц и конденсата.
- Повышенная термостабильность и сниженный дрейф нулевого уровня при продолжительной работе.
- Опциональный подогрев корпуса до 45 °C или 100 °C для предотвращения осаждения паров на мембране.
- Дополнительный встроенный фильтр газового тракта.
- Увеличенный ресурс и стабильность показаний в «грязных» процессах травления, напыления и осаждения.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны измерения | 0,1 / 0,25 / 1 / 2 / 10 / 20 / 100 / 500 / 1000 Торр |
| Тип измерения | Абсолютное давление |
| Погрешность измерений | ±0,25 % от измеряемого значения (типовая); ±0,12 % для диапазонов до 100 Торр |
| Время отклика | < 20 мс |
| Нагрев корпуса | 45 °C или 100 °C (встроенный подогреватель) |
| Температурный коэффициент нуля | 0,002–0,01 % F.S./°C |
| Температурный коэффициент шкалы | 0,02 % показания / °C |
| Питание | ±15 В DC ±5 % |
| Выходной сигнал | 0–10 В DC (нагрузка ≥ 10 кОм) |
| Разъём | DB15 (мужской) |
| Время прогрева | до 2 ч при диапазонах > 1 Торр, до 4 ч при диапазонах < 1 Торр |
| Материалы, контактирующие с газом | Высокочистый никелевый сплав, инертный к коррозионно-активным средам |
| Перегрузочная способность | до 310 кПа |
| Присоединения | KF16, KF25, CF16, CF35, 8VCR, 8VCO, 1/2 Tube |
| Рабочая температура окружающей среды | +5…+50 °C |
Принцип работы
Вакуумметр CBVAC CM1E регистрирует деформацию упругой никелевой мембраны под воздействием давления газа. Изменение прогиба мембраны приводит к варьированию ёмкости между ней и неподвижным электродом. Это изменение ёмкости фиксируется электронным модулем и преобразуется в линейный аналоговый сигнал 0–10 В. Встроенный нагреватель поддерживает стабильную температуру корпуса, предотвращает конденсацию паров и минимизирует температурные дрейфы, что особенно важно при длительной работе в технологических линиях с высокой влажностью и содержанием реактивных компонентов.
Преимущества эксплуатации
- Линейный, устойчивый аналоговый выходной сигнал, не зависящий от состава газа.
- Высокая повторяемость и воспроизводимость измерений при длительных циклах работы.
- Малое время отклика при изменении давления в системе.
- Надёжная, полностью сварная герметичная конструкция корпуса.
- Стабильная работа в условиях загрязнённой газовой среды и при наличии твёрдых частиц.
Применение
Модель CBVAC CM1E оптимальна для технологических процессов, в которых стандартные ёмкостные датчики быстро теряют точность из-за отложений или воздействия агрессивных газов. Прибор широко используется в установках CVD и PVD, в плазменных и плазмохимических травильных системах, в комплексах контроля герметичности, а также в научно-исследовательских вакуумных стендах. Благодаря повышенной устойчивости к загрязнению и термостабильности, CBVAC CM1E активно применяется лабораторией «Ликлаб» при поверке, аттестации и диагностике вакуумных систем различного назначения.
Калибровка и сервис
Официальную поставку, сервисную поддержку и метрологическое сопровождение вакуумметров CBVAC CM1E в России обеспечивает Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб», выступающая авторизованным сервисным центром CBVAC в РФ. Лаборатория выполняет первичную и периодическую калибровку, проверку линейности и стабильности выходного сигнала, а также адаптацию приборов под конкретные технологические процессы предприятий. Все работы проводятся в соответствии с требованиями ГОСТ 8.586 и ГОСТ Р 50.05.01–2018, что гарантирует прослеживаемость измерений и соответствие действующим российским метрологическим нормам.