Баратрон CBVAC HM1 — высокоточный вакуумметр с двумя релейными уставками
CBVAC HM1 — это интеллектуальный мембранно-ёмкостный вакуумметр (баратрон) нового поколения, оснащённый двумя настраиваемыми релейными уставками и наглядной световой индикацией их состояния. Прибор предназначен для измерения абсолютного давления в диапазоне от 1 до 1000 Торр и обеспечивает высокую точность до ±0,12 % от показания при температуре стабилизации 45 °C и до ±0,25 % для ненагреваемых и высокотемпературных исполнений. Конструкция и применённые материалы обеспечивают долгосрочную стабильность калибровки, химическую стойкость к агрессивным газам и высокую повторяемость результатов в условиях промышленной эксплуатации.
Конструктивные особенности
Чувствительный элемент HM1 — это радиально натянутая никелевая мембрана, образующая высокостабильный ёмкостной преобразователь. Изменение ёмкости под действием давления преобразуется электроникой в линейный аналоговый сигнал 0–10 В. Корпус датчика изготовлен из коррозионностойкого никелевого сплава, имеет полностью сварную герметичную конструкцию и встроенный «sump»-фильтр, предотвращающий попадание частиц на мембрану.
Интегрированные два реле уставок (Trip Points) позволяют реализовать автоматическое управление вакуумным процессом: переключение ступеней откачки, открытие/закрытие клапанов, выдачу аварийной или предупредительной сигнализации при достижении заданного давления. Состояние каждой уставки отображается двухцветными светодиодами, а тестовые выводы дают возможность проверять работу реле без демонтажа прибора из системы.
Основные преимущества
- Высокая точность измерения до ±0,12 % от показания при стабилизации температуры на уровне 45 °C.
- Две независимые релейные уставки (0,01–10 В) с удобной визуальной индикацией статуса.
- Полностью сварная конструкция из никелевого сплава — высокая герметичность и отличная коррозионная стойкость.
- Измерение абсолютного давления — показания не зависят от типа и состава измеряемого газа.
- Несколько температурных исполнений: ненагреваемый вариант, подогрев до 45 °C или 100 °C.
- Встроенная защита мембраны от загрязнений, аэрозолей и пылевых частиц.
- Быстрый отклик (<20 мс) и высокая разрешающая способность (0,001 % от диапазона).
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны измерения | 1 / 5 / 10 / 20 / 50 / 100 / 500 / 1000 Торр |
| Тип измерения | Абсолютное давление |
| Точность | ±0,12 % (45 °C), ±0,25 % (ненагреваемый и 100 °C) |
| Разрешение | 0,001 % от полной шкалы |
| Время отклика | < 20 мс |
| Температура подогрева | Ненагреваемый / 45 °C / 100 °C |
| Температурный коэффициент нуля | 0,005 % F.S./°C (без подогрева), 0,002 % F.S./°C (при 45–100 °C) |
| Температурный коэффициент шкалы | 0,02 % от показания / °C |
| Выходной сигнал | 0–10 В DC (нагрузка ≥10 кОм) |
| Питание | ±15 В DC ±5 % (0,075–0,6 А в зависимости от исполнения) |
| Релейные уставки | Две программируемые (0,01–10 ВDC), 1 А / 30 ВDC или 0,5 А / 30 VAC |
| Электрический разъём | DB15 Male или DB15 + клеммная колодка |
| Присоединения | KF16, KF25, CF16, 8VCR, 1/2 Tube, Mini-CF |
| Рабочая температура | 0…+50 °C (ненагрев.); +15…+50 °C (нагрев 45–100 °C) |
| Перегрузочная способность | 310 кПа |
| Материалы, контактирующие с газом | Коррозионностойкий никелевый сплав |
| Время прогрева | 2 часа (для нагреваемых модификаций) |
Принцип работы
Давление в контролируемом объёме вызывает упругий прогиб никелевой мембраны. Это приводит к изменению ёмкости между мембраной и неподвижным электродом, которое прецизионная электроника преобразует в линейный выходной сигнал 0–10 В. Для повышения стабильности характеристик и уменьшения влияния конденсата и влаги прибор может быть термостабилизирован на уровнях 45 или 100 °C. Две релейные линии могут использоваться как для выдачи предупредительных/аварийных сигналов, так и для непосредственного управления исполнительными механизмами — вакуумными клапанами, насосами, шиберами и другими элементами вакуумной арматуры.
Отличие от других моделей CBVAC
По сравнению с моделью CM1 (базовый вариант без реле) и DM1 (исполнение с внешней регулировкой нуля), HM1 дополнительно оснащён встроенными релейными уставками с визуальной индикацией состояния. Это позволяет напрямую интегрировать датчик в автоматизированные системы управления вакуумом без использования отдельных контроллеров релейных выходов. HM1 занимает промежуточную позицию между лабораторными баратронами (DM1, EM1) и промышленными высокотемпературными манометрами серии MM1, оптимально подходя как для технологических линий, так и для испытательных стендов.
Области применения
Баратрон HM1 используется в системах автоматизированного управления вакуумными процессами, где необходим точный и стабильный контроль давления: в установках PVD, CVD, PECVD, в производстве полупроводниковых приборов и оптических покрытий, на вакуумных испытательных стендах, в системах контроля герметичности, а также на промышленных линиях нанесения тонких плёнок и функциональных покрытий.
Поставка и сервис
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» (Leaklab) является официальным дистрибьютором и авторизованным сервисным центром CBVAC в России. «Ликлаб» обеспечивает поставку, монтаж, пусконаладку, калибровку и поверку баратронов HM1 в соответствии с требованиями ГОСТ 8.586 и ГОСТ Р 50.05.01–2018. Специалисты лаборатории помогают подобрать оптимальную конфигурацию вакуумметров CBVAC под конкретный технологический процесс, разрабатывают методики измерений и сопровождают приборы на всех этапах жизненного цикла.
Как официальный сервисный центр CBVAC в России, «Ликлаб» выполняет гарантийное и постгарантийное обслуживание, ремонт, периодическую поверку и метрологическую аттестацию баратронов, а также модернизацию существующих вакуумных систем с интеграцией датчиков CBVAC HM1 и других моделей линейки. Это обеспечивает пользователям непрерывную работоспособность оборудования, соответствие требованиям отечественных стандартов и минимизацию простоев технологических линий.