Баратрон CBVAC EM1 — высокоточный мембранно-ёмкостный вакуумметр с цифровым управлением
CBVAC EM1 — это современный высокоточный мембранно-ёмкостный вакуумметр нового поколения, спроектированный для использования в научных исследованиях и промышленности там, где критичны максимальная стабильность показаний, цифровая интеграция и удобство эксплуатации. Прибор измеряет абсолютное давление в диапазоне от 0,1 до 1000 Торр с погрешностью до ±0,12 % от текущего значения и оснащён развитым цифровым интерфейсом для дистанционного контроля и управления.
Как и остальные баратроны CBVAC, модель EM1 реализует принцип измерения ёмкости между упругой никелевой мембраной и неподвижным электродом. В отличие от классических полностью аналоговых модификаций (CM1, DM1), вакуумметр EM1 оснащён встроенной цифровой электроникой, микропроцессорным управлением, интерфейсом RS-485/Modbus и интеллектуальной системой температурной стабилизации.
Ключевые особенности CBVAC EM1
- Цифровой интерфейс RS-485 / Modbus RTU — позволяет напрямую подключать вакуумметр к промышленным системам автоматизации, ПЛК и компьютерам без использования внешних преобразователей сигналов.
- Интеллектуальная термостабилизация — автоматическое поддержание температуры корпуса на уровне 45 °C или 100 °C, что существенно снижает дрейф нуля и повышает долговременную стабильность калибровки.
- Локальная и удалённая калибровка — программная коррекция нулевой точки и шкалы измерения без демонтажа вакуумметра с технологической линии.
- Высокая точность и быстрое реагирование — измерительный модуль аналогичен классическим баратронам, но дополнен цифровой обработкой сигнала и сниженным уровнем шумов.
- Встроенная защита от перегрева и перенапряжения — электронные схемы контролируют тепловой режим корпуса и параметры питания, предотвращая выход прибора из строя.
Принцип действия
Вакуумметр EM1 использует измерительный блок типа «capacitive diaphragm» (ёмкостная мембрана). Давление газа вызывает незначительное прогибание никелевой мембраны, изменяя электрическую ёмкость между ней и неподвижным электродом. Изменение ёмкости преобразуется электронной схемой в цифровой сигнал, который далее обрабатывается микропроцессором. Результаты измерений доступны одновременно в аналоговом формате (0–10 В) и в цифровом виде по интерфейсу RS-485 с протоколом Modbus RTU.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны измерения | 0,1 / 0,25 / 1 / 2 / 10 / 20 / 100 / 500 / 1000 Торр |
| Тип измерения | Абсолютное давление |
| Погрешность измерений | ±0,12 % от показания (1–1000 Торр); ±0,15 % (0,1–0,25 Торр) |
| Время отклика | < 20 мс |
| Нагрев корпуса | 45 °C или 100 °C (интеллектуальный PID-контроль) |
| Температурный коэффициент нуля | 0,002 % F.S./°C (1–1000 Торр) |
| Температурный коэффициент шкалы | 0,02 % от показания / °C |
| Разрешение | 0,001 % от шкалы |
| Питание | ±15 В DC или 24 В DC (в зависимости от исполнения) |
| Выходной сигнал | 0–10 В аналоговый + цифровой RS-485 (Modbus RTU) |
| Электрический разъём | DB15 (аналог) + отдельный разъём RS-485 (цифровой) |
| Время прогрева | 2 ч (≥1 Торр), 4 ч (<1 Торр) |
| Перегрузочная способность | 310 кПа |
| Материалы, контактирующие с газом | Высокочистый никелевый сплав, полностью сварная герметичная конструкция |
| Присоединения | KF16, KF25, CF16, CF35, 8VCR, 8VCO, 1/2 Tube |
| Рабочая температура | +15…+50 °C |
Сравнение с другими баратронами CBVAC
CM1 — базовый вариант с аналоговым выходом без цифровых интерфейсов.
DM1 — усовершенствованная аналоговая модель с внешней регулировкой нуля и улучшенной термостабилизацией.
EM1 — цифровый ёмкостный вакуумметр с интерфейсом RS-485, возможностью удалённой калибровки и интеллектуальной системой стабилизации температуры.
Основные области применения
Вакуумметры CBVAC EM1 применяются в процессах PVD, CVD, PECVD, плазменном травлении, технологиях нанесения тонких плёнок и покрытий, а также в системах контроля герметичности и исследовательских вакуумных установках. Благодаря цифровому интерфейсу, высокой точности и стабильности измерений EM1 активно используется на автоматизированных производственных линиях, вакуумных стендах и в метрологических комплексах для контроля и калибровки.
Поставка, сервис и CBVAC в России
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» является официальным дистрибьютором и авторизованным сервисным центром CBVAC в России. «Ликлаб» обеспечивает полный цикл работ с баратронами CBVAC — от подбора и поставки до технического сопровождения и ремонта.
В России лаборатория «Ликлаб» выполняет поставку, монтаж, ввод в эксплуатацию, калибровку и поверку ёмкостных вакуумметров серий CM1, DM1 и EM1. Поверка проводится в соответствии с требованиями ГОСТ 8.586 и ГОСТ Р 50.05.01–2018, с использованием эталонного вакуумного оборудования. Специалисты CBVAC сервисного центра «Ликлаб» подбирают оптимальные диапазоны измерения, конфигурацию присоединений и выходных сигналов, а также выполняют интеграцию приборов в существующие промышленные системы управления и линии автоматизации.
Наличие в России официального сервисного центра CBVAC в лице лаборатории «Ликлаб» позволяет оперативно проводить диагностику, регламентное обслуживание, ремонт и перекалибровку баратронов без отправки оборудования за рубеж. Это снижает простои технологических установок и обеспечивает стабильную и прослеживаемую метрологическую поддержку ёмкостных вакуумметров CBVAC на всех этапах их эксплуатации.
