CBVAC DM1 — мембранно-ёмкостный датчик абсолютного давления с нагревом 45 или 100 °C. Аналоговый выход 0–10 В пропорционален давлению. Внешняя установка нуля является опцией, а не обязательной функцией каждого исполнения.
Технические характеристики DM1
| Семейство | CBVAC DM1 |
|---|---|
| Полные шкалы | 0,02 (только 45 °C); 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 1000 торр |
| Нагрев | 45 °C или 100 °C |
| Точность при 45 °C | 0,12 % от показания для шкал 1–1000 торр; 0,15 % для 0,25; 0,1; 0,05 торр; 0,25 % для 0,02 торр |
| Точность при 100 °C | 0,25 % от показания для шкал от 1 торр; 0,50 % для шкал менее 1 торр |
| Коэффициент нуля при 45 °C | 0,002 % полной шкалы/°C для 1–1000 торр; 0,005 % для 0,25 и 0,1 торр; 0,015 % для 0,05 торр; 0,03 % для 0,02 торр |
| Коэффициент нуля при 100 °C | 0,002 % полной шкалы/°C для 1–1000 торр; 0,01 % для 0,25 и 0,1 торр; 0,02 % для 0,05 торр |
| Коэффициент шкалы | 0,02 % от показания/°C |
| Разрешение | 0,001 % полной шкалы |
| Температура окружающей среды | 15–40 °C при нагреве 45 °C; 15–50 °C при нагреве 100 °C |
| Прогрев | 2 ч для шкал от 1 торр; 4 ч для шкал менее 1 торр |
| Питание | ±15 В постоянного тока ±5 %; 0,25 А при 45 °C, 0,6 А при 100 °C |
| Выход | 0–10 В постоянного тока; нагрузка более 10 кОм |
| Отклик | Менее 20 мс |
| Разъём | DB9, штыревой |
| Присоединения | KF16; KF25; CF16; CF35; 8VCR Female; 8VCO Female; трубка 1/2 дюйма |
| Монтаж | Стандартный горизонтальный или вертикальный — только для шкал более 1 торр; отдельные горизонтальные и вертикальные исполнения |
| Объём | 6,3 см³ |
| Предельное воздействующее давление | 310 кПа; не является полной шкалой |
| Материал, контактирующий с газом | Коррозионностойкий никелевый сплав |
| Внешняя установка нуля | Опция; недоступна для 0,02 торр при 45 °C и 0,05 торр при 100 °C |
Выбор и интеграция
Значения в торр обозначают отдельные полные шкалы. Один прибор не объединяет все перечисленные шкалы. Точность указана в процентах от показания; коэффициент нуля и разрешение — в процентах полной шкалы.
При 100 °C точность составляет 0,25 % от показания для шкал от 1 торр и 0,50 % для меньших шкал. Значение 0,12 % относится к исполнению 45 °C со шкалой от 1 торр.
Внешняя установка нуля недоступна для шкалы 0,02 торр при 45 °C и 0,05 торр при 100 °C. Стандартный вариант допускает горизонтальную или вертикальную установку только при шкале более 1 торр. Для остальных исполнений выбирают ориентацию по полному заказному коду.
Встроенная направляющая структура снижает осаждение частиц. Коррозионностойкий никелевый сплав не означает совместимость с любой газовой средой: состав газа, температура и загрязнения учитываются при подборе.
Для интеграции в технологическую вакуумную систему задают полную шкалу, температуру нагрева, ориентацию, присоединение и опции. До настройки нуля выдерживают установленное время прогрева и проверяют питание и нагрузку выхода.
Источник: каталог вакуумметров CBVAC, редакция 20251120, страницы 8–10 PDF. Изображение производителя показывает семейство DM1; геометрия присоединения конкретной поставки определяется заказным кодом.
