Баратрон CBVAC DM1 — высокоточный мембранно-ёмкостный вакуумметр с внешней установкой нуля
Баратрон DM1 предназначен для прямого измерения абсолютного давления в диапазоне 0,1…1000 Торр с высокой долгосрочной стабильностью и линейным аналоговым выходом 0–10 В. Чувствительный элемент — радиально натянутая никелевая мембрана — образует ёмкостной датчик; её прогиб под действием давления преобразуется в электрическое напряжение, прямо пропорциональное давлению. Полностью сварная конструкция и использование коррозионностойкого никелевого сплава в деталях, контактирующих с газовой средой, обеспечивают устойчивость к агрессивным газам и стабильную воспроизводимость показаний на протяжении всего срока службы.
Ключевые отличия DM1
Модель DM1 относится к классу «промышленных» баратронов CBVAC с расширенным функционалом для применения в технологических вакуумных установках. По сравнению с серией CM1 в DM1 реализованы:
— внешний вход установки нуля (External Zero) для оперативной подстройки без демонтажа и разгерметизации линии;
— усовершенствованная система термостабилизации (45 °C или 100 °C) с высокоточной схемой управления нагревом;
— встроенный sump/ловушка для защиты чувствительной мембраны от твёрдых частиц;
— изменённый сервисный интерфейс: разъём DB9 (у CM1 — DB15), что облегчает интеграцию в компактные шкафы и стойки управления;
— унифицированные типы процессных присоединений (KF/CF/VCR/VCO/трубное) для быстрой переконфигурации вакуумной обвязки.
Точность и стабильность
Баратрон CBVAC DM1 обеспечивает погрешность ±0,12 % от показания в диапазонах 1…1000 Торр при подогреве до 45 °C или 100 °C. Для диапазонов 0,25 и 0,1 Торр типовое значение погрешности составляет ±0,15 % от показания. Дрейф нулевого уровня минимизирован за счёт подогрева и оптимизированной схемотехники: температурный коэффициент нуля не превышает 0,002 % F.S./°C (для 1…1000 Торр). Разрешающая способность — 0,001 % от полной шкалы; время отклика — менее 20 мс.
Принцип работы и конструкция
Давление на входном фланце вызывает упругую деформацию никелевой мембраны. Изменение зазора между мембраной и неподвижным электродом приводит к изменению ёмкости, которое фиксируется измерительным мостом. Далее сигнал обрабатывается электронной схемой и формируется линейный аналоговый выход 0–10 В (нагрузка ≥10 кОм). Корпус и чувствительный узел выполнены в виде полностью сварного блока, выдерживающего кратковременные перегрузки по давлению до 310 кПа без ухудшения метрологических характеристик. Встроенный нагреватель поддерживает стабильный температурный режим (45 °C либо 100 °C) и предотвращает конденсацию продуктов технологического процесса внутри датчика.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны измерения (полная шкала) | 0,1 / 0,25 / 1 / 2 / 10 / 20 / 100 / 1000 Торр |
| Тип измерения | Абсолютное давление (независимо от состава газа) |
| Погрешность | ±0,12 % от показания (1…1000 Торр при 45 °C или 100 °C); ±0,15 % (0,25; 0,1 Торр) |
| Разрешение | 0,001 % от полной шкалы |
| Время отклика | < 20 мс |
| Температура подогрева | 45 °C или 100 °C |
| Темп. коэф. нуля | 0,002 % F.S./°C (1…1000 Торр); 0,005…0,01 % F.S./°C для 0,25; 0,1 Торр |
| Темп. коэф. шкалы | 0,02 % от показания / °C |
| Выходной сигнал | 0–10 В DC (нагрузка ≥10 кОм) |
| Питание | ±15 В DC ±5 % (потребление до 0,25 А при 45 °C и до 0,6 А при 100 °C) |
| Электрический разъём | DB9 (мужской); доступен вход внешней установки нуля |
| Процессные присоединения | KF16, KF25, CF16, CF35, 8VCR, 8VCO, 1/2 Tube |
| Перегрузочная способность | до 310 кПа |
| Материалы, контактирующие с газом | Никелевый сплав с повышенной коррозионной стойкостью |
| Рабочая температура окружения | +15…+40 °C (при подогреве 45 °C); +15…+50 °C (при подогреве 100 °C) |
| Время прогрева | 2 ч (для диапазонов ≥1 Торр); 4 ч (для диапазонов <1 Торр) |
| Защита мембраны | Интегрированный sump/уловитель частиц |
Области применения
Баратрон CBVAC DM1 применяется в процессах PVD/CVD/PECVD, плазмохимическом травлении, ионной имплантации, вакуумном напылении оптических и функциональных покрытий, на испытательных стендах контроля герметичности, а также на метрологических и калибровочных установках. Независимость показаний от состава газа упрощает управление технологическими режимами, настройку вакуумных рецептов и переходы между различными рабочими газовыми смесями.
Интеграция и эксплуатация
Баратрон DM1 допускает установку в произвольном пространственном положении (для диапазонов ≥1 Торр), поддерживает дистанционную установку нуля, быстро выходит на стабильный режим после прогрева и обеспечивает повторяемость измерений на уровне лабораторных эталонов при промышленной надёжности. При подключении рекомендуется разделять силовые и сигнальные линии, заземлять экран кабеля со стороны принимающего контроллера и обеспечивать достаточные тепловые зазоры для эффективного отвода тепла от подогреваемого корпуса датчика.
Поставка, калибровка и сервис в России
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» является официальным сервисным центром по оборудованию CBVAC в России и осуществляет поставку, пусконаладку и метрологическое сопровождение баратронов CBVAC DM1. Специалисты «Ликлаб» выполняют первичную настройку, поверку и калибровку в соответствии с требованиями ГОСТ 8.586, а также оказывают методическую поддержку по интеграции в вакуумные системы (схемы подключения, выбор оптимального диапазона, рекомендации по монтажу и термостабилизации).
Сервисный центр CBVAC в России на базе лаборатории «Ликлаб» обеспечивает гарантийное и постгарантийное обслуживание, диагностику, ремонт, периодическую калибровку и обновление конфигурации баратронов. Это позволяет эксплуатировать вакуумметры CBVAC DM1 в составе высокоточных измерительных и технологических комплексов с сохранением требуемого класса точности на всём жизненном цикле оборудования.