Винтовые вакуумные насосы CBVAC серии SSH — энергоэффективные сухие насосы с переменным шагом винта
CBVAC SSH — это серия промышленных сухих винтовых вакуумных насосов нового поколения с переменным шагом винта, разработанных для создания чистого, безмасляного вакуума и обеспечения высокой энергоэффективности. Насосы этой серии применяются в технологических процессах, требующих стабильного вакуума в диапазоне от атмосферного давления до 10⁻¹ Па. Модели включают SSH100H, SSH200H, SSH610H, SSH1220H, SSH2220H и SSH3020H, обеспечивая производительность от 100 до 3000 м³/ч.
Принцип действия и конструкция
В основе конструкции SSH лежит двухроторная винтовая система с переменным шагом, работающая по принципу безмасляного сжатия газа. Два винтовых ротора вращаются синхронно, создавая зоны всасывания, сжатия и выталкивания без контакта между деталями. Такая схема обеспечивает долговечность, отсутствие износа и минимальные вибрации. Все насосы снабжены водоохлаждаемым синхронным электродвигателем с постоянными магнитами и встроенным инвертором, соответствующим классу энергоэффективности IE4 (по классификации ЕС).
Особенности серии SSH
- Переменный шаг винта — обеспечивает оптимальный процесс сжатия, снижая механические потери и шум, повышая производительность и КПД.
- Полностью сухой контур — отсутствие масла или уплотняющей жидкости гарантирует чистоту вакуума, что особенно важно для полупроводниковых и фармацевтических производств.
- Патентованная конструкция CBVAC — запатентованная геометрия винтовых роторов обеспечивает повышенную энергоэффективность и устойчивую работу при длительных циклах.
- Система нагрева корпуса (опционально) предотвращает осаждение конденсатов технологических газов и упрощает эксплуатацию при работе с влажными и химически активными средами.
- Интеллектуальная система управления с интерфейсом RS-485 и возможностью удалённого мониторинга через интернет позволяет контролировать состояние насоса в режиме реального времени из любой точки мира.
- Низкий уровень шума и вибраций — благодаря прецизионной балансировке роторов и отсутствию трения между подвижными элементами уровень шума не превышает 75 дБ.
Технические характеристики серии SSH (на примере SSH100H)
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 1667 л/мин (100 м³/ч) |
| Предельное давление | 1×10⁻² мбар (1 Па) |
| Рабочий диапазон | от атмосферы до 1×10⁻¹ Па |
| Тип двигателя | Синхронный с постоянным магнитом, водоохлаждаемый |
| Мощность двигателя | 5,5 кВт (номинальная), 2,3 кВт (рабочая) |
| Питание | Три фазы, 380 В или 220 В, 50/60 Гц |
| Охлаждение | Водяное, расход 4–8 л/мин, давление 3–5 кг/см², температура 0–25 °C |
| Азотная продувка | 0,1–0,2 МПа, расход 12–100 л/мин |
| Интерфейс управления | RS-485, удалённые точки ввода/вывода |
| Уровень шума | ≤ 75 дБ(А) |
| Размеры (Д×Ш×В) | 850×400×570 мм |
| Масса | 180 кг |
Конструктивные преимущества
- Прямая передача крутящего момента без редуктора — меньше механических потерь и более плавная работа.
- Низкая температура корпуса — увеличивает ресурс подшипников и предотвращает перегрев.
- Встроенная система защиты — от перегрева, перегрузки, превышения давления и пониженного напряжения.
- Возможность интеграции в автоматизированные производственные линии и системы MES.
- Минимальные эксплуатационные затраты — отсутствие масла, фильтров и расходных материалов.
Области применения
Винтовые насосы CBVAC SSH применяются в:
- производстве полупроводников, СВЧ-устройств и оптоэлектроники;
- индустрии солнечных панелей и светодиодов (LED);
- фармакологии и производстве активных веществ;
- тонкоплёночных и плазменных технологиях (PVD, CVD, PECVD);
- вакуумных сушильных и дегазационных системах;
- химических и лабораторных установках, где требуется безмасляный вакуум.
Преимущества эксплуатации
Серия SSH разработана для круглосуточной эксплуатации с низкими затратами на обслуживание. Все насосы допускают работу при относительной влажности до 80 %, имеют встроенную защиту от перегрева и могут работать в помещениях с температурой до 40 °C. Программное обеспечение CBVAC позволяет контролировать температуру, давление, ток двигателя и другие параметры онлайн, что обеспечивает предсказуемое обслуживание и долгий срок службы.
Сервис и поддержка
Все насосы SSH сертифицированы для применения на промышленных предприятиях и обслуживаются официальным сервисным центром CBVAC в России на базе Лаборатории Leaklab. Доступны поставки запасных частей, техническая диагностика, модернизация и выездное сервисное обслуживание по всей территории России и СНГ.