Винтовой вакуумный насос CBVAC SSH2220H (2200 м³/ч, 0,5 Па)
CBVAC SSH2220H — высокопроизводительный промышленный сухой винтовой вакуумный насос с переменным шагом профиля винта, рассчитанный на длительную непрерывную эксплуатацию при значительных газовых потоках и жёстких требованиях к чистоте вакуума. Установка развивает производительность 2200 м³/ч (36 666 л/мин) при достижимом предельном давлении до 0,5 Па и применяется в технологических процессах, где использование маслозаполненных насосов недопустимо: в полупроводниковом производстве, химической и фармацевтической промышленности, а также в исследовательском и аналитическом оборудовании.
Конструкция и принцип действия
SSH2220H построен на базе запатентованной схемы с двумя винтовыми роторами переменного шага, которые вращаются синхронно в корпусе без механического контакта друг с другом и со стенками. За счёт этого исключается износ трущихся поверхностей, снижается вибрация, а рабочий объём остаётся полностью сухим. Газовый поток засасывается через входной фланец ISO160, поэтапно сжимается в полости между винтами и выводится через выхлопной патрубок KF40 без применения масла или других уплотняющих жидкостей. Интегрированный водоохлаждаемый электропривод с постоянными магнитами и частотным инвертором обеспечивает мягкий пуск, устойчивую работу во всём диапазоне нагрузок и высокий уровень энергоэффективности класса IE4.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 36 666 л/мин (2200 м³/ч; 1294 cfm) |
| Предельное остаточное давление | 0,5 Па (5×10⁻³ мбар; 3,75×10⁻³ Torr) |
| Электропитание | 380/220 В, 50/60 Гц, три фазы |
| Номинальная мощность двигателей | 5,5 + 5,5 кВт (7,4 + 7,4 л.с.) |
| Рабочая мощность | 0,8 + 2,5 кВт |
| Входное соединение | ISO160 |
| Выходное соединение | KF40 |
| Охлаждение | водяное, расход 4–8 л/мин, давление 3–5 кг/см², температура 0–25 °С, разъём Swagelok Rc 3/8″ |
| Азотная продувка | давление 0,1–0,2 МПа, расход 12–100 л/мин, подключение Swagelok 1/4″ |
| Интерфейс управления | RS-485 и удалённые дискретные I/O |
| Рабочая температура | +5…+40 °С |
| Влажность | до 80 % RH |
| Уровень шума | ≤ 75 дБ(А) |
| Габариты (Д×Ш×В) | 1006×520×885 мм |
| Масса | 500 кг |
| Номер для заказа | 4.5.A5033 |
Особенности и преимущества SSH2220H
- Переменный шаг винтового профиля повышает эффективность сжатия по всей длине ротора и дополнительно снижает вибро- и шумовую нагрузку на установку.
- Полностью сухой вакуум без масла гарантирует отсутствие углеводородных примесей в камере и сохраняет чистоту технологического процесса.
- Синхронные электродвигатели с постоянными магнитами обеспечивают высокий КПД, минимальные потери энергии и низкий нагрев корпуса даже при круглосуточной эксплуатации.
- Двойной привод поддерживает стабильную производительность при динамических изменениях давления и состава откачиваемого газа.
- Водоохлаждаемая система удерживает оптимальную рабочую температуру и предотвращает перегрев при длительных циклах работы.
- Азотная продувка и газовое уплотнение защищают винтовой блок от конденсации агрессивных паров, коррозионного воздействия и отложений продуктов процесса.
- Интеллектуальная система управления (RS-485, Modbus RTU) даёт возможность интеграции насоса в АСУТП, удалённого мониторинга и гибкой настройки режимов.
Области применения
SSH2220H применяется там, где требуется высокопроизводительная и чистая откачка без масляных загрязнений:
- полупроводниковое производство (вакуумное напыление, плазмохимическое травление, дегазация подложек);
- фармацевтические и химические линии с жёстким контролем чистоты атмосферы;
- вакуумные камеры испытаний и контроля герметичности изделий;
- процессы PVD/CVD, плазменная модификация поверхностей и ионно-плазменные технологии;
- вакуумная сушка, дегазация материалов, откачка перед заполнением газами высокой чистоты;
- научные экспериментальные стенды, криогенная техника и исследовательские установки.
Сервис и поддержка CBVAC и «Ликлаб» в России
В России винтовые вакуумные насосы серии SSH, включая модель SSH2220H, официально поставляются и обслуживаются Лабораторией контроля герметичности «Ликлаб», которая выступает специализированным сервисным центром CBVAC по вакуумной технике. «Ликлаб» выполняет комплексное сопровождение проектов: инженерное проектирование систем вакуумирования, профессиональный подбор насосного оборудования CBVAC под конкретный технологический процесс, пусконаладочные работы, калибровку измерительных линий и обучение эксплуатационного персонала.
Для промышленных предприятий «Ликлаб» как авторизованный сервисный центр CBVAC в России предлагает регламентное и постгарантийное обслуживание винтовых насосов SSH, модернизацию действующих вакуумных систем, а также метрологическое сопровождение испытаний на герметичность. Наличие собственного сервисного участка и склада расходных материалов позволяет оперативно выполнять диагностику, ремонт и восстановление производительности насосов без длительных простоев оборудования.
«Ликлаб» является официальным сервисным партнёром CBVAC в России и поддерживает всю линейку сухих винтовых насосов SSH — от компактных лабораторных агрегатов до крупных промышленных установок производительностью свыше 3000 м³/ч, обеспечивая пользователям техническую поддержку, оригинальные комплектующие и актуальные рекомендации по эксплуатации.