Винтовой вакуумный насос CBVAC SSH3020H (3000 м³/ч, 0,5 Па)
CBVAC SSH3020H — высокопроизводительный промышленный сухой винтовой вакуумный насос с переменным шагом роторов, разработанный для формирования стабильного, чистого, полностью безмасляного вакуума вплоть до давления 0,5 Па. Установка обладает быстротой действия 3000 м³/ч (50 000 л/мин) и оптимизирована под длительную непрерывную работу в тяжёлых технологических циклах, где критичны надёжность, энергоэффективность и чистота вакуумной среды.
Назначение и область применения
Вакуумный насос SSH3020H востребован в высокотехнологичных производствах: при выпуске полупроводниковых приборов, солнечных модулей, в системах вакуумных покрытий, фармацевтическом оборудовании, химических реакторах и установках контроля герметичности. Двухступенчатая винтовая схема и фирменная геометрия роторов обеспечивают равномерное сжатие и откачку газов без обратного потока и исключают попадание углеводородных загрязнений в рабочий объём.
Принцип работы
Основу насоса составляет пара винтовых роторов с переменным шагом, вращающихся синхронно навстречу друг другу. Газ поступает во входной фланец ISO160, последовательно продвигается вдоль винтовых каналов, поэтапно сжимается и выводится через выпускное соединение KF40. Механический контакт в зоне откачки отсутствует, масло в рабочем контуре не используется, благодаря чему SSH3020H подходит для задач, где требуется особо чистый вакуум — например, в линиях PVD/CVD, PECVD или при откачке гелийсодержащих газовых смесей. Интегрированный водоохлаждаемый электродвигатель с постоянными магнитами и частотным управлением обеспечивает мягкий пуск, низкий уровень шума и устойчивую скорость вращения.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 50 000 л/мин (3000 м³/ч; 1765 cfm) |
| Предельное остаточное давление | 0,5 Па (5×10⁻³ мбар; 3,75×10⁻³ Torr) |
| Электропитание | 380/220 В, 50/60 Гц, три фазы |
| Номинальная мощность двигателей | 5,5 + 5,5 кВт (7,4 + 7,4 л.с.) |
| Рабочая мощность | 0,8 + 2,5 кВт |
| Входное соединение | ISO160 |
| Выходное соединение | KF40 |
| Охлаждение | водяное, расход 4–8 л/мин, давление 3–5 кг/см², температура 0–25 °С, соединение Swagelok Rc 3/8″ |
| Азотная продувка | давление 0,1–0,2 МПа, расход 12–100 л/мин, подключение Swagelok 1/4″ |
| Интерфейс управления | RS-485, Modbus RTU, удалённые дискретные входы/выходы |
| Рабочая температура | +5…+40 °С |
| Влажность | ≤ 80 % RH |
| Уровень шума | ≤ 75 дБ(А) |
| Габариты (Д×Ш×В) | 1006×520×885 мм |
| Масса | 500 кг |
| Номер для заказа | 4.5.A5034 |
Особенности и преимущества SSH3020H
- Переменный шаг винта — оптимизированный профиль роторов обеспечивает плавное сжатие газа, снижает локальный перегрев и уменьшает энергозатраты.
- Двойной электропривод — раздельное управление роторами повышает устойчивость насоса при динамических изменениях давления в системе.
- Сухая вакуумная камера — полное отсутствие масла в зоне откачки гарантирует чистоту процесса и сокращает эксплуатационные расходы.
- Эффективное водяное охлаждение и азотная продувка — поддержание стабильной температуры, предотвращение конденсации агрессивных паров и защита внутренних элементов от коррозии.
- Интеллектуальная система управления — поддержка протоколов RS-485 и Modbus RTU, дистанционный мониторинг скорости, температурных режимов и состояния подшипников.
- Энергоэффективная конструкция — двигатели класса IE4 снижают потребление электроэнергии и увеличивают срок службы оборудования.
- Низкий уровень шума — акустическая нагрузка не превышает 75 дБ(А), что допускает размещение насоса в лабораториях и чистых помещениях.
Применение
Насос SSH3020H применяется для:
- процессов вакуумного осаждения (PVD, CVD, PECVD);
- плазмохимического травления и очистки в микро- и наноэлектронике;
- вакуумной сушки, дегазации материалов и упаковки продукции;
- откачки в производстве оптических, криогенных и высокоточных систем;
- автоматизированных установок контроля герметичности на серийных линиях;
- фармацевтических и химических процессов, где необходим чистый безмасляный вакуум.
Сервис и поддержка «Ликлаб» и CBVAC в России
На территории России сухие винтовые вакуумные насосы серии SSH, включая модель SSH3020H, официально поставляются и обслуживаются Лабораторией контроля герметичности «Ликлаб», которая выступает авторизованным сервисным центром CBVAC в РФ. «Ликлаб» как центр компетенций CBVAC в России выполняет инженерный подбор насосного оборудования, проектирование и модернизацию вакуумных систем, шеф-монтаж, пусконаладку, калибровку и полное сервисное сопровождение.
Сервисный центр CBVAC на базе «Ликлаб» предоставляет регламентное и ремонтное обслуживание: диагностику состояния насоса, замену и юстировку подшипников, проверку и коррекцию балансировки винтовых роторов, ревизию уплотнений, обновление и настройку систем управления и коммуникационных интерфейсов. В лаборатории организовано обучение инженерно-технического персонала предприятий по эксплуатации сухих винтовых насосов CBVAC, работе с системами контроля герметичности и методикам поддержания стабильного вакуума в технологических процессах.
Благодаря партнёрству CBVAC и сервисного центра «Ликлаб» российские производственные и научные организации получают комплексное решение: поставку оригинальных винтовых вакуумных насосов CBVAC, квалифицированный сервис в России, оперативную поставку запасных частей и техническую поддержку на всём жизненном цикле оборудования.