Винтовой вакуумный насос CBVAC SSH610H (600 м³/ч, 0,5 Па)
CBVAC SSH610H — промышленный сухой винтовой вакуумный насос с переменным шагом ротора, спроектированный для долговременной непрерывной работы при высокой газовой нагрузке и требованиях к полностью безмасляному чистому вакууму. Двухроторный винтовой блок с синхронным электроприводом и частотным регулированием обеспечивает устойчивую откачку от атмосферного давления до предельного остаточного давления 0,5 Па при номинальной производительности 600 м³/ч (10 000 л/мин). Отсутствие масла в рабочем объёме исключает риск загрязнения процесса и упрощает эксплуатацию в чистых и высокотехнологичных производствах.
Назначение и конструктивные особенности
Насос ориентирован на использование в технологических линиях PVD/CVD, плазменных установках, системах вакуумной сушки и дегазации, а также в фармацевтических, химических комплексах и установках контроля герметичности. Переменный шаг винта оптимизирует процесс сжатия по длине роторов, снижая удельные потери, вибрации и акустическую нагрузку. Двойной электропривод на базе водоохлаждаемых синхронных двигателей с постоянными магнитами обеспечивает высокую энергоэффективность и стабильный тепловой режим. Реализованы азотная продувка и подача уплотняющего газа для защиты внутренних полостей от конденсации и отложений при работе с влагосодержащими и химически нейтральными газовыми смесями. Управление реализуется по интерфейсу RS-485 с удалёнными дискретными входами/выходами, что упрощает интеграцию насоса в АСУТП и централизованные системы мониторинга.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 10 000 л/мин; 600 м³/ч; 353 cfm |
| Предельное остаточное давление | 0,5 Па (5×10⁻³ мбар; 3,75×10⁻³ Torr) |
| Рабочий диапазон окружающей среды | +5…+40 °С; относительная влажность ≤ 80 % |
| Электропитание | трёхфазное 380/220 В, 50/60 Гц |
| Номинальная установленная мощность приводов | 3,9 кВт + 5,5 кВт; тип привода — синхронный, водоохлаждаемый, с ПЧ |
| Ориентировочная потребляемая мощность в рабочем режиме | 0,4 кВт + 2,3 кВт |
| Соединение по входу | VG80 |
| Соединение по выходу | KF40 |
| Охлаждение | водяное; расход 4–8 л/мин; 3–5 кг/см²; 0–25 °С; подключение Swagelok Rc 3/8″ |
| Азотная система | уставка 0,1–0,2 МПа; расход разбавляющего газа 12–100 л/мин; уплотняющий газ 0–12 л/мин; подключение Swagelok 1/4″ |
| Интерфейсы управления | RS-485 (Modbus RTU), удалённые точки I/O |
| Уровень шума | ≤ 75 дБ(А) |
| Габаритные размеры | 850×400×800 мм |
| Масса | ≈ 310 кг |
| Номер для заказа | 4.5.A5005 |
Инжиниринговые преимущества применения SSH610H
Переменный шаг винтовых роторов обеспечивает равномерное распределение нагрузки по всей длине зоны сжатия, что уменьшает локальный перегрев, снижает термодеформации и увеличивает срок службы подшипников. Полностью сухая рабочая камера исключает проникновение углеводородов в вакуумный объём, поэтому насос безопасно применять в контурах, где критична чистота среды и соблюдение классов чистоты ISO. Встроенная азотная продувка формирует инертную защитную атмосферу в ключевых зонах и препятствует полимеризации и осаждению паров, а водяное охлаждение стабилизирует температурный режим, геометрию и зазоры роторов при длительной работе на высоком перепаде давлений. Управление и диагностика по RS-485 позволяют контролировать скорость вращения, токи, температуры, параметры уплотняющих газов и своевременно планировать сервис на основе предиктивного обслуживания.
Интеграция и типовые схемы
SSH610H может устанавливаться в произвольном положении на виброизолирующие опоры. Рекомендуется прямолинейный вакуумный тракт по входному фланцу VG80 с минимальным количеством поворотов, диафрагм и сужений. По выхлопной линии KF40 допускается подключение к газоотводящему коллектору с шумоглушителем и конденсатоуловителем. При работе с влажными газами и парами целесообразно предусмотреть подогрев корпуса и использовать азотную завесу для снижения риска конденсации. В линиях PVD/CVD насос часто включают в состав каскадной системы с бустерным насосом типа Roots; в установках контроля герметичности SSH610H применяется как единый сухой форвакуумный насос с низким фоном углеводородов, что особенно важно для высокочувствительных течеискателей.
Сервис, поддержка и лабораторные решения CBVAC в России
Поставка, шеф-монтаж, пусконаладка и регламентное сервисное обслуживание SSH610H в России выполняются официальным сервисным центром CBVAC на базе лаборатории контроля герметичности «Ликлаб». Лаборатория Ликлаб, действуя как авторизованный сервисный центр CBVAC в РФ, обеспечивает инженерный подбор конфигурации насоса под конкретный технологический процесс, поставку оригинальных запасных частей и комплектующих, метрологическое сопровождение систем вакуумирования и течеискания, а также обучение эксплуатационного и сервисного персонала.
Специалисты CBVAC и лаборатории «Ликлаб» реализуют проекты по модернизации существующих вакуумных линий с переводом на полностью сухую откачку, оптимизацией азотной продувки и интеграцией насосов SSH610H по RS-485 (Modbus RTU) в АСУТП заказчика. На базе Ликлаб доступны услуги по диагностике состояния винтовых насосов, восстановлению производительности, адаптации режимов работы под задачи PVD/CVD, плазменных и сушильных процессов, а также комплексное сервисное сопровождение парка вакуумного оборудования CBVAC на территории России.