Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-63/81 — компактное высоковакуумное решение на керамических подшипниках
Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-63/81 — это высокоскоростной компактный агрегат с прецизионными керамическими подшипниками и консистентной смазкой, разработанный для формирования высокого и сверхвысокого вакуума до 5×10⁻⁷ Па. Устройство обеспечивает быстроту действия до 85 л/с по азоту и 55 л/с по гелию, стабильно работая в диапазоне давлений от 10⁻¹ до 10⁻⁷ Па. Насос оснащён интеллектуальным контроллером JFB-I с управлением «одной кнопкой», а также интерфейсом RS-485 (Modbus RTU) для подключения к автоматизированным вакуумным системам и линиям.
Назначение и область применения
CBVAC JFB-63/81 применяется в установках физического и химического осаждения (PVD/CVD), системах нанесения оптических и функциональных покрытий, масс-спектрометрии, аналитическом приборостроении, вакуумном контроле герметичности, а также в научных установках в областях физики высоких энергий, биомедицины и нанотехнологий. Насос оптимален для промышленного оборудования и лабораторных комплексов, где критичны чистота, стабильность и точное управление вакуумом при минимальных габаритах и массе.
Конструктивные особенности
- Прецизионные керамические подшипники — обеспечивают сверхнизкий уровень вибраций (≤0,05 мкм), увеличенный ресурс и надёжную работу при любой ориентации насоса в пространстве.
- Интегрированный контроллер — поддерживает запуск, останов и регулировку частоты вращения одним нажатием; реализованы функции дистанционного управления, мониторинга и диагностики.
- Повышенная надёжность — монолитный турбинный ротор с осевой балансировкой приводится бесдатчиковым высокочастотным электродвигателем.
- Регулируемая частота вращения — диапазон 600–1250 Гц (до 75 000 об/мин) позволяет адаптировать быстроту откачки под конкретный технологический процесс.
- Компактность и низкий шум — масса всего 2,5 кг, уровень шума ≤50 дБ, что даёт возможность применять насос в чистых зонах классов ISO 5–7 и в настольных приборах.
Технические характеристики JFB-63/81
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 85 л/с (N₂); 55 л/с (He) |
| Предельное давление | ＜8×10⁻⁶ Па (ISO-K), до 5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Коэффициент сжатия | N₂ – 1×10⁸; He – 1×10⁶ |
| Входной фланец | KF16 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 0,5–2 л/с |
| Макс. входное давление | N₂ – 2 Па; He – 4 Па |
| Критическое выходное давление | N₂ – 950 Па; He – 500 Па |
| Макс. постоянное давление на выходе | N₂ – 650 Па; He – 300 Па |
| Макс. расход на входе | 100 см³/мин (возд. охл.); 140 см³/мин (вод. охл.) |
| Тип подшипников | Керамические шариковые, консистентная смазка |
| Напряжение питания | 24 В DC ±5% |
| Потребляемая мощность без нагрузки | ~10 Вт |
| Макс. пусковой ток | ＜5 А |
| Время разгона / остановки | ≤2,5 мин / ≤3,5 мин |
| Номинальная частота вращения | 1250 Гц (75 000 об/мин) |
| Охлаждение | Воздушное / водяное / естественная конвекция |
| Температура окружающей среды | Воздушное: 0…+35°C; Водяное: 0…+40°C |
| Параметры водяного охлаждения | 15–25°C, 1 л/мин, 0,15 МПа, pH 6–8 |
| Коммуникация | RS-485, Modbus RTU |
| Уровень шума | ≤50 дБ |
| Масса | 2,5 кг |
| Контроллер | JFB-I (интегрированный) |
Рабочие особенности
CBVAC JFB-63/81 допускает монтаж в любом положении и устойчиво функционирует в зонах действия магнитных полей до 3 мТл (радиальное) и 5 мТл (осевое). Насос сохраняет стабильность работы при высоких скоростях вращения, не требует дополнительной смазки или регламентного обслуживания подшипников, оснащён встроенным портом продувки KF16 и может работать на естественной конвекции при малых тепловых нагрузках. Применение водяного охлаждения обеспечивает максимальную стабильность предельного вакуума и увеличивает срок службы подшипникового узла.
Преимущества модели JFB-63/81
- Выход на номинальные обороты менее чем за 3 минуты.
- Низкое энергопотребление при высокой производительности по откачке.
- Устойчивость к механическим вибрациям и электромагнитным помехам.
- Простое включение в системы вакуумного мониторинга, управления и автоматики.
- Отсутствие масляной смазки и связанного с ней риска загрязнения вакуумного объёма.
Применение
Модель JFB-63/81 широко используется в установках вакуумного контроля герметичности, масс-спектрометрических системах, аналитических комплексах, оборудовании для осаждения тонких плёнок, а также в лабораторных вакуумных стендах, где требуется компактное, чистое и надёжное решение для получения высокого вакуума. Благодаря небольшой массе и тихой работе насос удобно интегрируется в мобильные, настольные и модульные системы.
Сервис и поддержка
Официальное сервисное обслуживание, диагностика, ремонт и поставка оригинальных запасных частей для турбомолекулярных насосов CBVAC, включая модель JFB-63/81, выполняются специализированным сервисным центром CBVAC в России на базе Лаборатории Leaklab. Российский центр CBVAC обеспечивает полный цикл послепродажной поддержки: от первичного пуска и консультаций по интеграции в вакуумные системы до планового сервиса и восстановления ресурса подшипниковых узлов.
В распоряжении сервисного центра CBVAC Россия имеются оригинальные контроллеры JFB-I, кабельные комплекты, переходные фланцы под различные стандарты (KF, ISO-K, CF), элементы водяного охлаждения, а также расходные материалы для регламентных работ. Специалисты лаборатории Leaklab выполняют проверку характеристик насоса на стендах, тест утечек, обновление прошивок контроллеров и помогают подобрать оптимальную конфигурацию турбомолекулярного оборудования CBVAC под конкретную задачу заказчика.