CBVAC JFB-160/401: 460 л/с по азоту и 380 л/с по гелию; предельное давление менее 5×10⁻⁶ Па для LF и 5×10⁻⁷ Па для CF. Керамические шарикоподшипники с пластичной смазкой.
Описание
Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-160/401
CBVAC JFB-160/401: 460 л/с по азоту и 380 л/с по гелию; предельное давление менее 5×10⁻⁶ Па для LF и 5×10⁻⁷ Па для CF. Керамические шарикоподшипники с пластичной смазкой.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота откачки N₂ / He | 460 / 380 л/с |
| Предельное давление LF / CF | Менее 5×10⁻⁶ / 5×10⁻⁷ Па |
| Коэффициент сжатия N₂ / He | Более 1×10¹⁰ / 5×10³ |
| Непрерывное давление на входе N₂ / He | 10 / 2 Па |
| Непрерывное давление на выходе N₂ / He | 300 / 200 Па |
| Критическое выходное давление N₂ / He | 1000 / 500 Па |
| Входной фланец | DN160 ISO-K (LF) или CF |
| Выходной фланец | DN25 ISO-KF; KF40 как опция |
| Продувочный порт | DN16 ISO-KF |
| Масса ISO-K / CF | 10 / 11 кг |
| Вибрация | Не более 0,05 мкм |
| Шум при стандартном воздушном охлаждении | Не более 50 дБ |
| Подшипники | Керамические шариковые с пластичной смазкой |
| Монтаж | Под любым углом |
| Магнитное поле | Не более 3 мТл; до 10 мТл только в заказном исполнении |
| Температура среды: воздушное / водяное охлаждение | 0–35 / 0–40 °C |
| Охлаждающая вода | 15–25 °C; не менее 1 л/мин; 0,15 МПа; pH 6–8, чистая, без масла |
| Рекомендуемая форвакуумная ступень | 3–8 л/с |
| Контроллер | JFB-II / JFD-II |
| Номинальная частота вращения | 805 Гц (48300 об/мин) |
| Частота холостого режима | 560 Гц |
| Разгон | Не более 5 мин |
| Питание | 48 В постоянного тока ±2 % (JFB-II); 220 В переменного тока (JFD-II) |
| Мощность без нагрузки | Около 30 Вт |
| Связь | RS485, Modbus RTU |
Условия интеграции
При прогреве фланца и указанных производителем внешних газовых нагрузках требуется водяное охлаждение. Критическое выходное давление не является допустимым непрерывным режимом.
Источник: JFB Series Lubrication Molecular Pumps, физические страницы PDF 10–11, печатные развороты 15–18. Данные стандартной модели JFB-160/401, не исполнения 450D.
Документы
Технический паспорт с изображением, основными параметрами и контактами для заказа.
Скачать технический паспорт PDF
