Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-160/401 (400 л/с, 5×10−7 Па) на керамических подшипниках
CBVAC JFB-160/401 — высокопроизводительный турбомолекулярный насос второго поколения, спроектированный для формирования высокого и сверхвысокого вакуума вплоть до уровня 5×10⁻⁷ Па. Агрегат оснащён прецизионными керамическими подшипниками с консистентной смазкой и высокооборотным бесдатчиковым электродвигателем. Номинальная быстрота действия составляет 400 л/с по азоту и ≈320 л/с по гелию, благодаря чему насос оптимально подходит для средних и крупных вакуумных установок в промышленности и научных исследованиях.
Назначение и область применения
Турбомолекулярный насос JFB-160/401 применяется в системах физического и химического осаждения (PVD, CVD), в оптико-электронных комплексах, вакуумных анализаторах, масс-спектрометрах, установках контроля герметичности, а также на экспериментальных стендах по физике плазмы, ускорительной технике и в биотехнологических вакуумных системах. Насос обеспечивает устойчивую откачку при минимальном уровне вибраций и не использует масляную смазку в вакуумном тракте, что гарантирует высокую чистоту рабочего объёма.
Конструктивные особенности
- Высокоточные керамические подшипники с консистентной смазкой — повышенная термостойкость, увеличенный ресурс и крайне низкая вибрация (≤0,05 мкм).
- Цельный монолитный ротор с балансировкой класса G1,0 — минимизация механических колебаний при скорости вращения до 36 000 об/мин.
- Гибкая система управления: в стандартную поставку входит либо встроенный контроллер JFB-II, либо выносной шкафной модуль JFD-II с интерфейсом RS-485 (Modbus RTU) для интеграции в автоматизированные вакуумные комплексы.
- Интеллектуальное регулирование частоты вращения — выбор нескольких режимов откачки с учётом конкретного технологического процесса.
- Универсальные условия монтажа — допускается установка под любым углом к горизонту; насос устойчив к влиянию внешних магнитных полей до 3 мТл (радиально) и 5 мТл (осево).
Технические характеристики CBVAC JFB-160/401
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 400 л/с (N₂); 320 л/с (He) |
| Предельное давление | ≤ 5×10⁻⁷ Па (CF), ≤ 5×10⁻⁶ Па (ISO-K) |
| Коэффициент сжатия | N₂: 1×10¹⁰; He: 5×10³ |
| Рабочий диапазон давлений | от 10⁻¹ до 10⁻⁷ Па |
| Входной фланец | DN160 (ISO-K или CF160) |
| Выходной фланец (форвакуумный) | KF40 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 3–8 л/с |
| Максимальное входное давление | 10 Па (N₂); 3 Па (He) |
| Критическое давление на выходе | до 1000 Па (N₂); 600 Па (He) |
| Номинальная частота вращения | ≈ 36 000 об/мин |
| Время разгона | ≤ 5 мин |
| Тип подшипников | Керамические шариковые, консистентная смазка |
| Питание | 48 В DC (интегр.); 220 В AC (выносн.) |
| Интерфейсы | RS-485 (Modbus RTU), DB-15 логический порт |
| Потребляемая мощность (без нагрузки) | ≈ 35 Вт |
| Охлаждение | воздушное или водяное (15–25 °C, 1–2 л/мин, 0,15 МПа) |
| Температура окружающей среды | 0…+35 °C (возд.); 0…+40 °C (вод.) |
| Допустимое магнитное поле | до 3 мТл (радиально); до 5 мТл (осево) |
| Уровень шума | ≤ 52 дБ |
| Масса | ≈ 11 кг (ISO-K); 12 кг (CF) |
| Контроллер | JFB-II (интегр.) / JFD-II (выносной) |
Особенности эксплуатации
CBVAC JFB-160/401 сочетает высокую скорость откачки с крайне низким уровнем вибраций, что делает его подходящим для использования в высокочувствительном измерительном и аналитическом оборудовании. Регулируемая скорость вращения позволяет снижать энергопотребление и тепловую нагрузку при длительных рабочих циклах. При размещении насоса в зоне действия сильных источников электромагнитного излучения рекомендуется предусматривать экранирование или выдерживать расстояние не менее 0,5 м.
Интеграция в вакуумные системы
Для выхода на паспортные характеристики целесообразно применять металлические уплотнения фланцев CF, прямолинейные вакуумные трассы без сужений с минимальным числом поворотов и переходов. Форвакуумный насос должен стабильно поддерживать давление не выше 0,5 мбар. В установках с высокотемпературными процессами и интенсивным выделением водяных паров необходимо предусмотреть эффективное охлаждение корпуса и подачу сухого газа в область подшипникового узла.
Сервис и поддержка
Каждый турбомолекулярный насос серии CBVAC JFB проходит заводскую балансировку и полное функциональное тестирование. Гарантийное и постгарантийное обслуживание, диагностика и ремонт осуществляются официальным сервисным центром CBVAC в России на базе Лаборатории Leaklab. На складе доступны оригинальные контроллеры, комплекты кабельных соединений, переходные фланцы и аксессуары для интеграции насоса в существующие вакуумные системы.