Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-160/701 (700 л/с, 5×10−7 Па) на керамических подшипниках
CBVAC JFB-160/701 — высокоэффективный турбомолекулярный насос с керамическими подшипниками и консистентной смазкой, разработанный для формирования высокого и сверхвысокого вакуума до 5×10⁻⁷ Па. Устройство обеспечивает быстроту действия 650–700 л/с по азоту, оснащено встроенным контроллером JFB-III с возможностью раздельного управления. Благодаря высокой степени сжатия (N₂ — 1×10¹¹, He — 1×10⁴), низкому уровню вибраций и интеллектуальной системе управления, модель JFB-160/701 является флагманским решением CBVAC для промышленных и научно-исследовательских установок среднего и крупного класса.
Назначение и область применения
Турбомолекулярный насос JFB-160/701 применяется в установках PVD/CVD осаждения покрытий, системах вакуумного напыления и плазмохимического травления, в оптических и электронных технологиях, на вакуумных испытательных стендах, в установках контроля герметичности, масс-спектрометрии и плазменных комплексах. Благодаря устойчивости к запылённости, влаге и допустимым форвакуумным перепадам давления насос эффективно используется в производственных линиях с повышенными тепловыми нагрузками и частыми циклами «вакуум–атмосфера».
Конструктивные особенности
- Прецизионные керамические подшипники с консистентной смазкой — обеспечивают надёжную работу в любой ориентации, минимальные вибрации (≤0,05 мкм) и увеличенный срок службы.
- Интегрированный контроллер JFB-III (или выносной JFB-III-B) с интеллектуальной системой защиты и интерфейсом RS-485 (Modbus RTU).
- Широкий диапазон рабочих давлений — от 10 Па до 10⁻⁷ Па с возможностью регулировки скорости вращения ротора под конкретный процесс.
- Высокая степень сжатия — N₂ до 10¹¹, He до 10⁴; оптимален для чистых технологических процессов и откачки инертных газов.
- Двухконтурное охлаждение — воздушное или водяное, подбираемое в зависимости от тепловых условий эксплуатации.
- Расширенный комплекс защит — контроллер отслеживает перегрев, перенапряжение, перегрузку по току и сбои по питанию, предотвращая аварийные ситуации.
Технические характеристики JFB-160/701
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 650 л/с (N₂); 550 л/с (He) |
| Предельное давление | <5×10⁻⁶ Па (ISO-K); <5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Коэффициент сжатия | N₂ — 1×10¹¹; He — 1×10⁴ |
| Входной фланец | DN160 ISO-K или CF160 |
| Выходной (форвакуумный) фланец | KF25 или KF40 |
| Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса | 4–10 л/с |
| Максимальное форвакуумное давление | N₂ — 300 Па; He — 200 Па |
| Критическое давление на выходе | N₂ — 1000 Па; He — 500 Па |
| Максимальное входное давление | N₂ — 2 Па; He — 1 Па |
| Нормальная скорость ротора | 36 000 об/мин |
| Скорость в режиме ожидания | 25 200 об/мин |
| Время разгона / остановки | ≈5 мин / ≈5 мин |
| Макс. пусковой ток | ≤5,5 А |
| Нормальный ток | ≤0,6 А |
| Максимальная мощность | 1200 Вт |
| Напряжение питания | 220 В переменного тока ±10% |
| Выходное напряжение контроллера | ≤120 В |
| Тип подшипников | Керамические шариковые, смазанные консистентной смазкой |
| Контроллер | JFB-III или JFB-III-B |
| Интерфейсы управления | RS-485, DB15, кнопка запуска/остановки |
| Функции защиты | Перегрузка, перегрев, пониженное/повышенное напряжение, сбой питания |
| Охлаждение | водяное / воздушное |
| Температура охлаждающей воды | 15–30 °C |
| Расход охлаждающей воды | ≥1,5 л/мин (≈90 л/ч) |
| Давление воды | 0,15 МПа, pH 6–8, очищенная |
| Температура окружающей среды | 5–35 °C (воздух); до 40 °C (вода) |
| Допустимое магнитное поле | ≤3 мТл (радиальное); ≤5 мТл (осевое) |
| Уровень шума | ≤60 дБ |
| Масса | ≈23 кг (ISO-K) / 19 кг (CF) |
| Рабочее положение | любое |
Преимущества и особенности эксплуатации
- Короткое время выхода на режим и остановки — порядка 5 минут.
- Надёжная работа при перепадах давления и в условиях внешних магнитных полей.
- Интеллектуальная защита контроллера и электродвигателя от перегрева, перегрузок и перебоев электропитания.
- Высокая чистота вакуумного объёма — отсутствие масляного тумана и посторонних загрязнений.
- Регулируемая скорость вращения ротора под требования конкретного технологического процесса.
- Повышенная устойчивость к пылевым нагрузкам и откачке химически инертных газовых сред.
Интеграция и монтаж
Насос JFB-160/701 легко встраивается в вакуумные системы с интерфейсом RS-485 или через цифровой разъём DB15. Допускается установка в любом пространственном положении — вертикально, горизонтально или под наклоном. Для сохранения стабильных характеристик важно обеспечить необходимый расход охлаждающей воды и минимизировать внешние вибрации. Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса — не менее 4 л/с.
Сервис и поддержка
Турбомолекулярные насосы CBVAC серии JFB обслуживаются официальным сервисным центром CBVAC в России, работающим на базе Лаборатории Leaklab. Сервисный центр CBVAC Россия выполняет пусконаладочные работы, регламентное и капитальное обслуживание, полную диагностику, ремонт и восстановление насосов, а также поставку оригинальных комплектующих: контроллеров, кабельных комплектов, фланцев, элементов систем охлаждения и уплотнений. Наличие собственного сервисного центра CBVAC в России сокращает сроки простоя оборудования и обеспечивает поддержку пользователей на всех этапах эксплуатации вакуумных систем.