Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-100/301 (300 л/с, 5×10−7 Па) на керамических подшипниках
Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-100/301 — это высокоэффективный вакуумный агрегат с керамическими подшипниками и консистентной смазкой, предназначенный для формирования высокого и сверхвысокого вакуума вплоть до 5×10⁻⁷ Па. Устройство обеспечивает быстроту откачки 300 л/с по азоту и 230 л/с по гелию, отличается пониженным уровнем вибраций и большим коэффициентом сжатия (N₂ > 1×10¹⁰, He > 5×10³). Модель относится ко второму поколению турбомолекулярных насосов CBVAC и выпускается в версиях со встроенным или выносным контроллером.
Назначение и область применения
CBVAC JFB-100/301 применяется в установках физического и химического осаждения (PVD/CVD), в оптическом и электронном производстве, в масс-спектрометрических комплексах, вакуумных системах контроля герметичности, а также в научных экспериментах в области высоких энергий и нанотехнологий. За счёт компактных размеров и быстрого выхода на режим насос широко используется в составе лабораторных и промышленных вакуумных систем, где критически важна чистая откачка без масла и углеводородных загрязнений.
Конструктивные особенности
- Прецизионные керамические подшипники — износостойкая и термостойкая опора ротора, обеспечивающая стабильную работу при скорости до 48 300 об/мин и вибрациях не более 0,05 мкм.
- Интегрированный или выносной контроллер (JFB-II или JFD-II) — управление по интерфейсу RS-485 (Modbus RTU), поддержка локального запуска и регулирования частоты вращения.
- Монолитный ротор — высокоточно сбалансированная турбина из прочного сплава для эксплуатации в диапазоне давлений 10⁻¹–10⁻⁷ Па.
- Гибкая система охлаждения — воздушное или водяное (15–25 °C, до 1 л/мин, 0,15 МПа), при малой тепловой нагрузке возможна естественная конвекция.
- Компактность и низкий акустический шум — масса около 10 кг, уровень шума ≤ 50 дБ, что позволяет использовать насос в чистых зонах и чистых помещениях классов ISO 5–7.
Технические характеристики JFB-100/301
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 300 л/с (N₂); 230 л/с (He) |
| Предельное давление | до 5×10⁻⁷ Па (исп. CF), ≤ 5×10⁻⁶ Па (исп. ISO-K) |
| Коэффициент сжатия | N₂ > 1×10¹⁰; He > 5×10³ |
| Входной фланец | DN100 ISO-K или CF100 |
| Выходной фланец (форвакуумный) | KF25 или KF40 (опция) |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 2–6 л/с |
| Макс. входное давление | 10 Па (N₂); 2 Па (He) |
| Макс. выходное давление | 300 Па (N₂); 200 Па (He) |
| Критическое давление | 1000 Па (N₂); 500 Па (He) |
| Тип подшипников | Керамические шариковые, смазанные консистентной смазкой |
| Номинальная частота вращения | 805 Гц (48 300 об/мин) |
| Время разгона | ≤ 5 мин |
| Напряжение питания | 48 В DC (интегр.) или 220 В AC (раздельн.) |
| Потребляемая мощность (без нагрузки) | ≈ 30 Вт |
| Интерфейсы и протоколы | RS-485 (Modbus RTU) |
| Допустимое магнитное поле | до 3 мТл (радиально), до 5 мТл (осево) |
| Температура окружающей среды | 0…+35 °C (возд.); 0…+40 °C (вод.) |
| Охлаждение | воздушное / водяное / естественная конвекция |
| Масса | ≈ 9,6 кг (ISO-K), 10 кг (CF) |
| Уровень шума | ≤ 50 дБ |
| Контроллеры | JFB-II (интегр.) / JFD-II (выносной) |
Рабочие особенности
Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-100/301 может устанавливаться в произвольной ориентации и устойчив к внешним магнитным полям до 3 мТл. Точная динамическая балансировка ротора обеспечивает минимальный уровень вибраций, а регулировка частоты вращения даёт возможность подстраивать быстроту действия под конкретный технологический процесс. Интеллектуальная система управления по RS-485 (Modbus RTU) предоставляет функции диагностики, мониторинга тока, скорости и температуры подшипникового узла.
Интеграция в вакуумные системы
Модель JFB-100/301 оптимально подходит для включения в многокаскадные вакуумные комплексы с предварительной откачкой форвакуумным насосом производительностью 2–6 л/с. Для выхода на предельное давление до 5×10⁻⁷ Па рекомендуется использовать металлические уплотнения фланцев, тщательно снижать утечки и сокращать длину и внутренний объём вакуумной магистрали. При тепловой нагрузке от высокотемпературных процессов желательно применять водяное охлаждение фланца и корпуса насоса.
Сервис и поддержка
Поставка, ввод в эксплуатацию и сервисное обслуживание турбомолекулярных насосов CBVAC выполняются официальным сервисным центром в России на базе Лаборатории Leaklab. Сервисный центр CBVAC в России обеспечивает диагностику, регламентное обслуживание, ремонт, замену подшипниковых узлов и восстановление характеристик насосов. Доступны оригинальные контроллеры, кабельные комплекты, системы охлаждения и узлы продувки для всей линейки JFB, а также консультации по подбору и интеграции турбомолекулярных насосов CBVAC в новые и существующие вакуумные установки.