Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-100/251 на керамических подшипниках (250 л/с, до 5×10−7Па)
Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-100/251 — это высокотехнологичная модель второго поколения с прецизионными керамическими шарикоподшипниками и консистентной смазкой. Конструкция оптимизирована для стабильного получения высокого и сверхвысокого вакуума при компактных размерах, низком уровне вибраций и минимальном шуме. Насос развивает номинальную быстроту действия 250 л/с по азоту, достигает предельного давления до 5×10−7Па (в версиях с фланцем CF) и может поставляться как с интегрированным контроллером, так и с выносным шкафным контроллером.
Назначение и область применения
Модель JFB-100/251 предназначена для эксплуатации в системах вакуумного напыления PVD/CVD, оптических установках, аналитическом оборудовании, масс-спектрометрии, установках контроля герметичности, а также в научных и опытно-промышленных комплексах, где критичны чистота вакуума, быстрый выход на режим и повторяемость параметров. Рабочий диапазон давлений охватывает область ориентировочно от 10−1до 10−7Па при корректно подобранном форвакуумном тракте и достаточной герметичности вакуумной системы.
Конструктивные особенности
Опорный узел насоса выполнен на керамических подшипниках с долговечной консистентной смазкой, что обеспечивает малую вибрацию, высокую надёжность и длительный ресурс при больших скоростях вращения. Турбинный ротор выполнен в виде единого высокоточно сбалансированного блока, привод осуществляется бесдатчиковым высокоскоростным электродвигателем.
Управление и диагностика реализуются через интерфейс RS-485 (протокол Modbus RTU); предусмотрена возможность регулирования частоты вращения для адаптации быстроты действия к конкретной газовой нагрузке. Допускается монтаж насоса в любом пространственном положении при соблюдении требований к теплоотводу, виброразвязке и условиям эксплуатации.
Технические характеристики
| Параметр | Значение для JFB-100/251 |
|---|---|
| Номинальная быстрота действия | 250 л/с (N2); ориентировочно 200 л/с (He) |
| Предельное остаточное давление | до 5×10−7Па (CF); не хуже 5×10−6Па (ISO-K) |
| Коэффициент сжатия | N2~108; He ~106 |
| Входной фланец | DN100: ISO-K 100 или CF100 (в зависимости от исполнения) |
| Выходной фланец форвакуума | KF25/40 (по комплектации), работа через форвакуумный насос |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 1–4 л/с по N2с устойчивой работой при 0,1–1 мбар на выходе |
| Критическое давление на выходе | типично до ~103Па для N2(ориентир), ниже для He; точные значения по паспорту |
| Номинальная частота вращения | порядка 50–55 тыс. об/мин; регулирование по команде контроллера |
| Время разгона / торможения | ≈3 мин / ≈3,5 мин |
| Вибрация корпуса | до ≈0,05 мкм при корректной установке |
| Охлаждение | воздушное; при повышенных тепловых потоках — водяное 15–25 °C, ≥1–2 л/мин |
| Питание контроллера | интегрированный JFB-II-G3 (24 В пост. тока) или выносной JFD-II (220 В перем. тока) |
| Интерфейсы и протоколы | локальное управление, DB-15 логический I/O, RS-485 (Modbus RTU) |
| Допустимое внешнее магнитное поле | радиально до ≈3 мТл; осево до ≈5 мТл |
| Уровень шума | типично ≤55 дБ |
Интеграция в систему
Для достижения минимально возможных предельных давлений рекомендуется использовать входной фланец типа CF, минимизировать длину и количество поворотов присоединительного трубопровода, а также применять виброразвязки и гибкие подводы коммуникаций. Форвакуумный насос подбирается исходя из суммарной газовой нагрузки и допустимого давления на выходе турбомолекулярного насоса.
При повышенных тепловых и газовых нагрузках следует предусматривать водяное охлаждение корпуса и фланцевой зоны. В составе автоматизированных вакуумных установок реализуется типовая межблочная логика «охлаждение активно → пуск разрешён», а также контроль тока и скорости вращения для защиты подшипникового узла и предотвращения аварийных режимов.
Эксплуатационные особенности
Насос допускает эксплуатацию при произвольной ориентации в пространстве, устойчив к фоновым магнитным полям технологического оборудования и имеет возможность регулирования скорости вращения для снижения вибраций на чувствительных этапах процесса, а также уменьшения тепловыделения в межцикловых режимах.
Обслуживание сводится к периодическому контролю уровня вибраций, температуры корпуса, параметров форвакуумной линии и чистоты газовой магистрали. Замена подшипников выполняется по регламенту ресурса в условиях специализированного сервисного центра, что обеспечивает стабильную работу насоса на протяжении всего жизненного цикла.
Комплектация и сервис
Доступны исполнения с интегрированным контроллером JFB-II-G3 для компактного монтажа непосредственно на установке и с выносным контроллером JFD-II для размещения в шкафу управления. В поставку по запросу могут входить комплекты соединительных кабелей, переходные фланцы ISO-K/CF/KF, модули водяного охлаждения, блоки продувки и дополнительные элементы мониторинга.
Поставка оборудования, пусконаладка, плановое обслуживание и ремонт осуществляются официальным сервисным центром CBVAC в России на базе Лаборатории Leaklab, что гарантирует квалифицированную поддержку, оперативную диагностику и использование оригинальных комплектующих при обслуживании турбомолекулярных насосов.
