Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-400/4201 (4200 л/с, 5×10−7 Па) на керамических подшипниках
CBVAC JFB-400/4201 — высокопроизводительный турбомолекулярный насос промышленного назначения, разработанный для вакуумных систем, где требуется достижение высоко- и сверхвысокого вакуума вплоть до 5×10⁻⁷ Па. Насос оснащён долговечными керамическими подшипниками, системой водяного охлаждения, интеллектуальным контроллером JFB-VI и демонстрирует выдающуюся производительность — до 4200 л/с по азоту и 3000 л/с по гелию. Конструкция оптимизирована для стабильной непрерывной работы в магистралях большого объёма и технологических установках с высокой газовой нагрузкой.
Назначение и области применения
Турбомолекулярный насос JFB-400/4201 применяется в установках PVD / CVD осаждения, плазмохимического травления, ионной имплантации, в ускорительных и плазменных комплексах, а также в оборудовании для испытаний на герметичность, масс-спектрометрических системах и вакуумных печах. Высокая чистота вакуума, отсутствие маслосодержащих элементов и низкий уровень вибраций делают этот насос оптимальным выбором для задач микроэлектроники, материаловедения и тонкоплёночных технологий.
Конструктивные особенности
- Высокоточные керамические подшипники — обеспечивают минимальное трение, устойчивое вращение и увеличенный ресурс без частого обслуживания.
- Монолитный ротор — динамически сбалансирован с микронной точностью, устойчив к вращению на 18 000 об/мин без заметных осевых биений.
- Интеллектуальная система управления JFB-VI — интегрированный или выносной контроллер (исполнение 4U) с интерфейсом RS-485 и комплексной защитой от ключевых аварийных режимов.
- Водяное охлаждение — поддерживает стабильный тепловой режим при длительных циклах откачки; рекомендуемая температура охлаждающей воды ≤ 20 °C, расход ≥ 3 л/мин.
- Повышенная устойчивость к внешним воздействиям — допустимое магнитное поле до 3 мТл (радиальное) и 5 мТл (осевое), уровень вибраций не превышает 0,25 мкм.
- Удобство монтажа — допускается установка в вертикальном положении с отклонением до ±5°.
Технические характеристики CBVAC JFB-400/4201
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | N₂ — 4200 л/с; He — 3000 л/с |
| Предельное давление | < 2×10⁻⁶ Па (LF) |
| Коэффициент сжатия | N₂ — 10⁸; He — 10⁴ |
| Рабочий диапазон давлений | 10⁻¹ – 10⁻⁷ Па |
| Входной фланец | DN400 ISO-K (LF) |
| Выходной фланец | KF40 |
| Продувочный порт | KF16 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 30 – 70 л/с |
| Максимальное постоянное давление на входе | N₂ — 10 Па; He — 1,5 Па |
| Максимальное постоянное давление на выходе | N₂ — 300 Па; He — 200 Па |
| Критическое давление на выходе | N₂ — 560 Па; He — 280 Па |
| Номинальная частота вращения | 18 000 об/мин (300 Гц) |
| Тип подшипников | Керамические шариковые, смазанные консистентной смазкой |
| Интенсивность вибрации | ≤ 0,25 мкм |
| Мощность без нагрузки | ~ 150 Вт (интегрированный тип — до 220 Вт) |
| Максимальная потребляемая мощность | до 2200 Вт |
| Питание | 220 В AC ±10 %, 50/60 Гц |
| Нормальный ток | 4,5 – 5,4 А |
| Макс. пусковой ток | ≤ 12 А |
| Время разгона | ≈ 20 мин |
| Время останова | ≈ 25 – 30 мин |
| Охлаждение | водяное (≤ 20 °C, 3 л/мин, 0,15 МПа) |
| Масса | 95 кг (интегрированный); 90 кг (раздельный) |
| Уровень шума | ≤ 60 дБ |
| Коммуникационный протокол | RS-485 (Modbus RTU) |
| Контроллер | JFB-VI (раздельный 4U) / JFB-VI-B (интегрированный) |
| Управление пуском/остановом | Кнопки / RS-485 / внешний DB15 |
| Система защиты | От перегрузки, перегрева, перенапряжения, внешних помех |
| Рабочее положение | Вертикальное, допуск ± 5° |
Преимущества модели
- Очень высокая быстрота действия — до 4200 л/с по азоту, что делает насос эффективным для камер и трактов большого объёма.
- Точная динамическая балансировка ротора — уровень вибраций менее 0,25 мкм при скорости 18 000 об/мин.
- Интеллектуальная система автоматики — непрерывный контроль скорости, тока, температуры и основных параметров работы.
- Полная интеграция с промышленными системами управления через интерфейс RS-485 и протокол Modbus RTU.
- Высокая устойчивость к запылённости среды и внешним магнитным полям.
- Рациональное соотношение массы, производительности и ресурса при длительной эксплуатации в промышленном цикле.
Интеграция и обслуживание
Турбомолекулярный насос JFB-400/4201 доступен в вариантах исполнения с интегрированным или выносным контроллером. Подключение к системе управления реализуется по интерфейсу RS-485 с поддержкой протокола Modbus RTU, что обеспечивает удобное дистанционное управление и мониторинг. Все модификации оснащены датчиками тока и температуры, формирующими автоматическую защиту при нештатных режимах работы. Рекомендуется применять экранированные вакуумные кабели и виброизолирующие опоры для минимизации помех и механических воздействий.
Полное сервисное сопровождение турбомолекулярных насосов CBVAC, включая диагностику, регламентное обслуживание, восстановление и ремонт, на территории России выполняет официальный сервисный центр CBVAC в России на базе Лаборатории Leaklab. Специалисты Leaklab проводят профессиональную проверку состояния подшипников, ротора и систем управления, а также обеспечивают поставку оригинальных запасных частей и модернизацию вакуумного оборудования под задачи заказчика.
