Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-250/2201 (2200 л/с, 5×10−7 Па) на керамических подшипниках
CBVAC JFB-250/2201 — высокопроизводительный турбомолекулярный насос промышленного класса с прецизионными керамическими подшипниками и консистентной смазкой, рассчитанный на откачку газов в диапазоне давлений от 10⁻¹ до 5×10⁻⁷ Па. Установка обеспечивает быстроту действия 2050 л/с по азоту и 1800 л/с по гелию, оснащена интегрированным контроллером JFB-III и выпускается с фланцевыми соединениями DN250 ISO-K или CF250. Благодаря сочетанию высокой скорости откачки, стабильности и ресурса, JFB-250/2201 востребован в технологических линиях, где требуется чистый и устойчивый высокий вакуум.
Назначение и область применения
Турбомолекулярный насос JFB-250/2201 применяется в промышленных установках PVD/CVD-осаждения, плазмохимического травления, вакуумного нанесения покрытий, в высокотемпературных вакуумных печах, ускорительных комплексах, системах контроля герметичности, а также в научно-исследовательских вакуумных установках. Оборудование рассчитано на длительную стабильную работу при значительных газовых потоках, в том числе в средах с инертными, сухими и химически нейтральными газами. Отсутствие масляных компонентов в зоне откачки делает насос оптимальным решением для чистых производств — от микро- и наноэлектроники до оптической промышленности и медицинских приложений.
Конструктивные особенности
- Высокоточные керамические подшипники с консистентной смазкой обеспечивают минимальный уровень вибрации (≤0,05 мкм) и увеличенный межсервисный интервал без регламентного обслуживания.
- Интеллектуальный контроллер JFB-III — встроенный (JFB-III / JFB-III-A) или выносной (JFB-III-B, 2U), поддерживает управление и мониторинг по интерфейсам RS-485 и DB15.
- Цельный ротор из легкого высокопрочного сплава, динамически отбалансированный с микрометровой точностью для снижения вибраций и повышения ресурса.
- Гибкая система охлаждения — возможность выбора водяного или воздушного охлаждения для поддержания термостабильности при длительной работе и высоких газовых нагрузках.
- Расширенный комплекс защит — встроенный контроллер отслеживает перегрев, перегрузку по току, перенапряжение и короткие замыкания, предотвращая аварийные режимы.
- Регулируемая скорость вращения — номинальные 24 000 об/мин и холостой режим 16 800 об/мин позволяют оптимизировать режим работы под конкретный технологический процесс.
Технические характеристики CBVAC JFB-250/2201
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | N₂ — 2050 л/с; He — 1800 л/с |
| Предельное давление | <5×10⁻⁶ Па (ISO-K); <5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Коэффициент сжатия | N₂ — 1×10¹⁰; He — 1×10⁴ |
| Рабочий диапазон давлений | от 10⁻¹ до 10⁻⁷ Па |
| Входной фланец | DN250 ISO-K (LF) или CF250 |
| Выходной фланец (форвакуумный) | DN40 ISO-KF, опционально KF50 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 16–24 л/с |
| Максимальное постоянное давление на выходе | N₂ — 200 Па; He — 100 Па |
| Критическое давление на выходе | N₂ — 500 Па; He — 200 Па |
| Максимальное входное давление | N₂ — 2 Па; He — 1 Па |
| Номинальная частота вращения | 24 000 об/мин ± 0,1 % |
| Холостая частота вращения | 16 800 об/мин ± 0,1 % |
| Тип подшипников | Керамические шариковые, смазанные консистентной смазкой |
| Интенсивность вибрации | ≤0,05 мкм |
| Мощность без нагрузки | ~75 Вт |
| Максимальная потребляемая мощность | 1000 Вт |
| Напряжение питания | 220 В AC ±10 %, 50/60 Гц |
| Нормальный ток | ≤1 А |
| Охлаждение | водяное или воздушное (15–25 °C, ≥1,5 л/мин, 0,15 МПа) |
| Температура окружающей среды | воздушное: +5…+35 °C; водяное: +5…+40 °C |
| Допустимое магнитное поле | ≤3 мТл (макс. 10 мТл при адаптации) |
| Уровень шума | ≤60 дБ |
| Масса | 40 кг (ISO-K); 45 кг (CF) |
| Продувочный порт | DN16 ISO-KF |
| Коммуникационный протокол | RS-485 (Modbus RTU) |
| Управление | кнопки, RS-485, разъём DB15, дистанционное управление |
Преимущества и особенности эксплуатации
- Высокая скорость откачки — до 2200 л/с при уверенном достижении предельного давления 5×10⁻⁷ Па.
- Поддержка длительной непрерывной работы в автоматизированном режиме технологической линии.
- Интеллектуальное управление — встроенная самодиагностика, регулирование частоты вращения и контроль температурных режимов.
- Повышенная устойчивость к пылевым загрязнениям, внешним вибрациям и фоновым магнитным полям.
- Низкий акустический шум и минимальное энергопотребление на холостом ходу.
- Удобство интеграции — насос поставляется в полностью готовой к монтажу конфигурации, с контроллером и комплектом соединительных кабелей.
Интеграция и обслуживание
Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-250/2201 легко встраивается в системы автоматизированного управления вакуумом за счёт стандартного интерфейса RS-485 и протокола Modbus RTU. Для достижения минимально возможного предельного давления рекомендуется использовать виброизолирующие опоры и металлические фланцы стандарта CF.
Профессиональное сервисное сопровождение, плановое техническое обслуживание, диагностика и ремонт насосов CBVAC в России выполняются официальным сервисным центром CBVAC на базе Лаборатории Leaklab. Ликлаб обеспечивает полный цикл поддержки турбомолекулярных насосов CBVAC — от пусконаладки и адаптации под конкретный технологический процесс до восстановительного ремонта, замены подшипников и балансировки ротора, что гарантирует стабильную работу оборудования в составе высоковакуумных систем.