Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-200/1401 (1400 л/с, 5×10−7 Па) на керамических подшипниках
CBVAC JFB-200/1401 — высокопроизводительный турбомолекулярный насос нового поколения, оснащённый долговечными керамическими подшипниками с консистентной смазкой и встроенным контроллером JFB-III. Установка обеспечивает быстроту действия 1350 л/с по азоту и 1200 л/с по гелию, рассчитана на работу в диапазоне давлений от 10⁻¹ до 5×10⁻⁷ Па. Жёсткий монолитный ротор в сочетании с интеллектуальной системой управления гарантируют устойчивую, малошумную и надёжную работу даже при частых переходах между режимами «вакуум–атмосфера».
Назначение и область применения
Турбомолекулярный насос JFB-200/1401 применяется в установках PVD/CVD осаждения покрытий, плазменного травления, ионной имплантации, в высокотемпературных вакуумных печах, ускорительных комплексах, масс-спектрометрах, установках для контроля герметичности, а также в вакуумных камерах крупных исследовательских и производственных комплексов. Отсутствие масляных и жидкостных уплотнений позволяет формировать абсолютно чистый высоковакуум, соответствующий требованиям оптической, электронной, фармацевтической и тонкоплёночной промышленности.
Конструктивные особенности
- Высокоточные керамические подшипники с консистентной смазкой — минимальный уровень вибраций (≤0,05 мкм) и увеличенный ресурс без необходимости внешней системы смазки.
- Интеллектуальный контроллер JFB-III — встроенная или выносная версия (JFB-III-A / JFB-III-B) с цифровым управлением, поддержкой протокола RS-485 и интерфейсным разъёмом DB15.
- Регулируемая скорость вращения — номинальная частота 30 000 об/мин, холостой ход 21 000 об/мин; плавная настройка скорости по командам контроллера.
- Высокая степень сжатия — для N₂ > 1×10¹¹, для He > 1×10⁴, что обеспечивает стабильную работу при изменяющихся газовых нагрузках.
- Гибкая система охлаждения — воздушное или водяное охлаждение (15–25 °C, ≥1,5 л/мин, 0,15 МПа) для поддержания термостабильности при длительных циклах.
- Расширенный комплекс защит — защита от перегрузки по току, перегрева, перенапряжения, пониженного напряжения и кратковременных сбоев электропитания.
Технические характеристики CBVAC JFB-200/1401
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | N₂ — 1350 л/с; He — 1200 л/с |
| Предельное давление | <5×10⁻⁶ Па (ISO-K); <5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Коэффициент сжатия | N₂ — 1×10¹¹; He — 1×10⁴ |
| Рабочий диапазон давлений | 10⁻¹–10⁻⁷ Па |
| Входной фланец | DN200 ISO-K (LF) или CF200 |
| Выходной фланец | DN40 ISO-KF, опционально KF50 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 8–16 л/с |
| Максимальное форвакуумное давление | N₂ — 300 Па; He — 200 Па |
| Критическое давление на выходе | N₂ — 1000 Па; He — 500 Па |
| Максимальное входное давление | N₂ — 2 Па; He — 1 Па |
| Номинальная частота вращения | 30 000 об/мин ± 0,1 % |
| Холостая частота вращения | 21 000 об/мин ± 0,1 % |
| Мощность без нагрузки | ~70 Вт |
| Максимальная мощность | 1000 Вт |
| Нормальный рабочий ток | ≤1 А |
| Напряжение питания | 220 В AC ±10 %, 50/60 Гц |
| Продувочный порт | DN16 ISO-KF |
| Охлаждение | воздушное или водяное (15–25 °C, 1,5 л/мин, 0,15 МПа) |
| Интенсивность вибрации | ≤0,05 мкм |
| Допустимое магнитное поле | ≤3 мТл (до 10 мТл при специальной адаптации) |
| Коммуникационный протокол | RS-485 (Modbus RTU) |
| Управление | Кнопки, RS-485, разъём DB15, дистанционное управление |
| Температура окружающей среды | Воздух: +5…+35 °C; Вода: +5…+40 °C |
| Уровень шума | ≤60 дБ |
| Масса | 30 кг (ISO-K); 34 кг (CF) |
| Рабочее положение | Произвольное |
Преимущества и эксплуатационные особенности
- Высокая скорость откачки — до 1400 л/с при достижении стабильного предельного давления 5×10⁻⁷ Па.
- Интеллектуальная система мониторинга и управления — контроль температуры, частоты вращения и тока ротора в режиме реального времени.
- Снижение энергопотребления в режиме ожидания за счёт автоматической подстройки скорости вращения.
- Стойкость к внешним магнитным полям до 3 мТл с возможностью конфигурирования для работы в более жёстких условиях.
- Поддержка удалённого управления и лёгкая интеграция в автоматизированные технологические линии и лабораторные комплексы.
- Высокая надёжность при многолетней интенсивной эксплуатации и минимальные требования к регламентному обслуживанию.
Интеграция и сервис
Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-200/1401 легко встраивается в промышленные и научные вакуумные системы, использующие интерфейс RS-485 или стандартные цифровые входы/выходы. Для обеспечения длительной и стабильной работы рекомендуется поддерживать корректный тепловой режим, применять подготовленную охлаждающую воду и устанавливать виброизолирующие опоры. Все работы по пусконаладке, диагностике, техническому обслуживанию и ремонту выполняются официальным сервисным центром CBVAC в России, функционирующим на базе Лаборатории Leaklab. Наличие локального сервисного центра CBVAC в России сокращает сроки простоя оборудования, обеспечивает оперативную поставку оригинальных комплектующих и квалифицированную поддержку пользователей на всех этапах эксплуатации.