Арматура определяет проводимость, герметичность и обслуживаемость вакуумного тракта. При выборе недостаточно совпадения условного прохода: необходимо учитывать стандарт соединения, диапазон давления, тип привода, материал уплотнения, допустимую температуру и требования к чистоте процесса.
Карта арматуры и соединительных компонентов
| Группа | Назначение | Что проверять перед выбором |
|---|---|---|
| Шиберные клапаны и затворы | Перекрытие магистралей с большим проходным сечением и разделение объёмов. | Условный проход, привод, монтажное положение, уплотнение, концевые датчики и доступ для обслуживания. |
| Угловые клапаны | Компактное управление потоком с изменением направления магистрали. | Проводимость, присоединение, пневматический или ручной привод, состояние при потере питания. |
| Компоненты KF | Быстроразъёмные соединения форвакуумных и высоковакуумных линий. | Номинальный размер, центрирующее кольцо, материал уплотнения и тип хомута. |
| Компоненты ISO-K и ISO-F | Магистрали увеличенного диаметра и соединение камер с насосами. | Стандарт фланца, диаметр, тип крепления, опора трубопровода и допустимая механическая нагрузка. |
| Фланцы и компоненты CF | Высоковакуумные и сверхвысоковакуумные соединения с металлическим уплотнением. | Размер фланца, материал, крепёж, прокладка, чистота поверхности и температурный режим. |
| Сильфоны и гибкие соединения | Компенсация несоосности, перемещений и передачи вибрации. | Рабочая длина, ход, допустимый изгиб, число циклов и отсутствие скручивающей нагрузки. |
| Уплотнения, опоры и герметичные вводы | Герметизация, механическая поддержка и передача электрических или иных сигналов через стенку камеры. | Среда, температура, материал, электрические параметры и требования к натеканию. |
Параметры инженерного выбора
- Стандарт и номинальный размер. Обозначение фланца должно совпадать с сопрягаемыми деталями, а проход не должен необоснованно ограничивать проводимость.
- Рабочий диапазон. Проверяют давление по обе стороны клапана, допустимый перепад при открытии и направление действия нагрузки.
- Уплотнение и материалы. Эластомерные и металлические уплотнения выбирают по температуре, чистоте, газовой среде и режиму прогрева.
- Привод и автоматика. Для пневматического или электрического привода задают давление питания, напряжение, сигналы положения и безопасное состояние при аварии.
- Монтаж и обслуживание. Учитывают массу, опору трубопровода, доступ к крепежу, замену уплотнений и защиту от частиц.
Слишком малое проходное сечение увеличивает время откачки даже при правильно выбранном насосе. Эффективную быстроту у камеры рассчитывают с учётом проводимости клапанов, патрубков, колен и гибких элементов.
Герметичность и ввод в эксплуатацию
После монтажа проверяют чистоту уплотняемых поверхностей, равномерность затяжки, отсутствие механического напряжения и корректность сигналов положения. Контроль герметичности выполняют для закрытого затвора и наружных соединений. Метод, чувствительность и испытательное давление задаются с учётом конструкции и назначения системы.
Для трубопроводов большого диаметра предусматривают отдельные опоры. Сильфон не должен компенсировать ошибку монтажа, выходящую за пределы допустимого хода или угла. Клапан также не используют как несущий элемент магистрали.
Карточки и разделы
Инженерные материалы
Передать перечень фланцев, приводов и условий эксплуатации для подбора арматуры CBVAC
