Каталог вакуумметров и датчиков давления CBVAC

Выбор вакуумметра начинается с измерительной задачи: абсолютное давление, контроль перехода между ступенями откачки, управление технологическим процессом или защита оборудования. Один датчик редко одинаково хорошо решает все задачи, поэтому диапазоны измерения, точность и стойкость к процессной среде рассматривают совместно.

Карта измерительных задач

Задача	Подход к измерению	Ключевые параметры
Точное абсолютное давление	Мембранно-ёмкостный датчик измеряет деформацию мембраны и подходит для технологического контроля в выбранном диапазоне полной шкалы.	Диапазон, точность, повторяемость, температурная стабилизация, материалы, выходной сигнал.
Контроль широкого диапазона	Комбинация датчиков или вакуумметр с несколькими принципами измерения перекрывает этапы от форвакуума до высокого вакуума.	Рабочие поддиапазоны, зависимость от рода газа, время отклика, переключение диапазонов.
Управление процессом	Сигнал датчика передаётся в контроллер или систему автоматизации для регулирования клапана, расхода газа или последовательности откачки.	Аналоговый или цифровой интерфейс, частота обновления, аварийные уставки, электромагнитная совместимость.
Диагностика установки	Сопоставление давления во времени помогает обнаружить недостаточную производительность, газовыделение, загрязнение и возможное натекание.	Расположение датчика, регистрация тренда, повторяемость цикла, проверка нулевого сигнала.

Критерии выбора датчика

Рабочая точка. Номинал полной шкалы выбирают так, чтобы основной технологический диапазон находился в информативной части характеристики датчика.
Газовая среда. Для процессов с реактивными или конденсируемыми веществами проверяют материалы мембраны, объём измерительной полости и допустимый температурный режим.
Точность и повторяемость. Для регулирования процесса важны не только паспортная погрешность, но и температурный дрейф, стабильность нуля и воспроизводимость после циклов давления.
Интерфейс. Выходной сигнал, питание, разъём и протокол должны соответствовать контроллеру и системе управления установки.
Обслуживание. До монтажа определяют период проверки, способ сравнения с эталоном и условия очистки без повреждения мембраны.

Десятичные диапазоны и степени десяти необходимо читать вместе с единицей измерения. В русскоязычных материалах давление приводится в Па, а значения в торр используются только там, где они указаны для конкретной модели.

Монтаж и качество измерения

Датчик устанавливают в точке, давление в которой соответствует регулируемому процессу. Узкие и длинные патрубки создают задержку и перепад, а близость к потоку газа или насосу может давать показание, отличающееся от давления в рабочей зоне камеры. Необходимо учитывать ориентацию, температуру окружающей среды и возможность загрязнения измерительного порта.

После установки проверяют нулевой сигнал, показания на контрольных точках и работу интерфейса. Для ответственных процессов полезно регистрировать тренд давления вместе с состоянием клапанов, насосов и расходомеров. Это позволяет отличить ошибку датчика от изменения реальной газовой нагрузки.