Турбомолекулярные насосы
Турбомолекулярные насосы предназначены для создания высокого и сверхвысокого вакуума в технологических и исследовательских установках. Принцип их действия основан на передаче импульса от быстро вращающихся лопастей ротора молекулам газа, что обеспечивает направленное движение молекул от входного фланца к выпуску.
Современные турбомолекулярные насосы отличаются высокой скоростью откачки, компактными габаритами и минимальным уровнем вибраций. Ротор вращается со скоростью до 90 000 об/мин, обеспечивая достижение предельного давления до 10−8 Па. Благодаря безмасляной конструкции исключается загрязнение вакуумной системы углеводородами, что особенно важно для чистых производственных процессов.
Серия FF представляет собой компактные насосы со встроенным контроллером производительностью от 25 до 300 л/с. Их использование не требует отдельного блока управления, что облегчает монтаж и интеграцию в лабораторные или промышленные системы.
Серия CXF разработана для задач, требующих максимальной чистоты и стабильности вакуума. Ротор в этих насосах установлен на магнитном подвесе, что полностью исключает трение и износ подшипников, снижает уровень вибраций и увеличивает срок службы. Производительность моделей CXF достигает 1280 – 3260 л/с при предельном давлении до 10−8 Па.
Конструкция турбомолекулярного насоса представляет собой многокаскадный модуль из чередующихся подвижных и неподвижных лопастей. Каждая ступень последовательно снижает давление газа, обеспечивая плавное и стабильное течение потока. Электронная система управления контролирует скорость вращения ротора, предотвращает разбалансировку и обеспечивает безопасный запуск и останов.
Для отвода тепла при длительной работе применяются воздушное или водяное охлаждение. В состав вакуумной системы обычно входят форвакуумные насосы, снижающие давление до уровня 10–50 Па перед запуском турбомолекулярного насоса.
Благодаря сочетанию высокой производительности, компактности и чистоты работы турбомолекулярные насосы используются в полупроводниковом производстве, в установках напыления и травления, в криогенной и аналитической технике, а также в научных лабораториях и вакуумной металлургии.
Насосы серий FF и CXF обеспечивают стабильную работу в диапазоне давлений от 10 Па до 10−8 Па и являются оптимальным решением для большинства современных высоковакуумных процессов.