Высоковакуумный сухой насос CBVAC JZB-63/180-L.
Подробнее
Описание
Высоковакуумный сухой насос серии JZB для технологических вакуумных систем. Карточка подготовлена по руководству JZB и содержит основные параметры модели.
Характеристики JZB-63/180-L
| Пиковая скорость откачки | 175 m3/h |
|---|---|
| Входной фланец | LF63 |
| Выходной фланец | KF25 |
Применение
- полупроводниковые процессы
- оптика и лазерные технологии
- масс-спектрометрия
Научно-техническая основа подбора
Сухие винтовые насосы применяют там, где важно исключить масло из газового тракта. На энергоэффективность, шум, нагрев и устойчивость откачки влияют профиль и шаг винтовых роторов, внутренняя компрессия, тепловой режим, защита от конденсата, допустимая пылевая нагрузка и совместимость материалов с перекачиваемой средой.
Источник: JZB High Vacuum Dry Pump-CBVAC.pdf