Наименование карточки исправлено по руководству CBVAC: корректная модель с быстротой 500 м³/ч имеет обозначение JZB-160/500 и входной фланец LF160. Газовый тракт выполнен сухим; подшипниковый узел является обслуживаемым.
Особенности
- Пиковая быстрота откачки 500 м³/ч
- Керамические шариковые подшипники
- Водяное охлаждение и вертикальный монтаж с отклонением не более ±5°
- Удаленное управление через I/O; интерфейс RS232 для исполнения с модулем управления
Технические характеристики
| Пиковая быстрота откачки | 500 м³/ч |
|---|---|
| Предельное давление | < 1×10⁻⁶ мбар (< 1×10⁻⁴ Па) |
| Входной фланец | LF160 |
| Выходной фланец | KF25 |
| Масса | 47 кг |
| Уровень шума | ≤ 56 дБ |
| Номинальная частота вращения | 18 000 об/мин |
| Номинальная мощность | 1,6 кВт |
| Питание | 3-фазное 200–240 В перем. тока, 50/60 Гц |
| Охлаждение | вода 15–35 °C, 0,2–0,7 МПа, расход > 2 л/мин |
| Рабочая температура | 5–40 °C |
| Вибрация | < 0,25 g |
| Время разгона / останова | около 3 / 4 мин |
Области применения
- высоковакуумные технологические посты
- полупроводниковое производство
- вакуумное напыление
- масс-спектрометрия
- научные установки
Источник данных:JZB High Vacuum Dry Pump Manual-CBVAC.pdf, стр. 5–8. Значения перенесены с сохранением единиц и условий, указанных изготовителем.
