Высоковакуумный сухой насос CBVAC JZB-63/180 (180 м³/ч, 1×10−2 Па)
Сухие высоковакуумные насосы серии JZB — это компактные безмасляные агрегаты, способные выполнять откачку от атмосферного давления (105 Па) до области высокого вакуума 10−4 Па без применения отдельного форвакуумного насоса. Конструкция ориентирована на чистые технологические процессы, где критично отсутствие масляных паров и следов смазки в вакуумной магистрали. Откачиваемый газ выбрасывается напрямую в атмосферу, что упрощает компоновку компактных вакуумных систем, шлюзовых и загрузочных камер.
Функциональное назначение
Насос CBVAC JZB-63/180 по сути заменяет классическую связку из турбомолекулярного насоса и сухого форвакуумного агрегата, работающих каскадно. В одном корпусе реализована многоступенчатая схема сжатия, благодаря которой откачка может начинаться с атмосферного давления и доводиться до высокого вакуума без дополнительного оборудования. Насос устойчив к многократным впускам воздуха и резким перепадам давления, что особенно важно для шлюзовых и транспортных камер в полупроводниковой промышленности и смежных отраслях.
Разновидности и коды исполнения
Базовая серия JZB включает несколько вариантов исполнения, различающихся наличием локального пульта управления и системой азотной продувки. Маркировка моделей имеет вид JZB-63/180L или JZB-63/180LE и трактуется следующим образом:
- Диаметр впускного фланца: 63 мм (стандарт ISO-K);
- Быстрота действия: 180 м³/ч (для модели JZB-160/500 предусмотрены версии с быстротой до 500 м³/ч);
- L — исполнение без азотной продувки, N — вариант с продувкой (для работы с влажными и слабо агрессивными газами);
- «E» — наличие встроенного локального панельного управления;
- Возможны исполнения с питанием 200–240 В или 380 В (трёхфазное подключение).
Технические характеристики JZB-63/180
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Номинальная быстрота действия | 175 м³/ч (≈ 50 л/с) |
| Предельное давление | ≤ 1×10−4 мбар (≈ 1×10−2 Па) |
| Диапазон давления работы | от 105 до 10−2 Па |
| Впускной фланец | LF-63 (ISO-K) |
| Выпускной фланец | KF-25 |
| Масса | 45 кг |
| Охлаждение | водяное, давление 0,2–0,7 МПа, расход > 2 л/мин |
| Питание | трёхфазное 200–240 В (опция 380 В) |
| Номинальная мощность | 1,4 кВт |
| Шум | ≤ 56 дБ |
| Подшипники | керамические шариковые, консистентная смазка |
Характеристика откачки
Вакуумная характеристика насоса JZB-63/180 показывает наибольшую эффективную скорость откачки в диапазоне давлений от 10−1 до 102 Па. Это обеспечивает быстрое и равномерное снижение давления в рабочем объёме камеры. Старшая модель JZB-160/500 имеет удвоенную производительность (до 500 м³/ч), достигает предельного давления порядка 1×10−6 мбар и применяется в системах высокого и сверхвысокого вакуума, а также в аналитическом оборудовании.
Конструктивные преимущества
- Отсутствие необходимости в отдельном форвакуумном насосе — агрегат допускает прямой атмосферный впуск.
- Многоступенчатая (трёхступенчатая) структура всасывания гарантирует стабильную откачку по всему рабочему диапазону давлений.
- Керамические подшипники с низким тепловыделением — сниженный уровень вибраций и повышенный ресурс работы.
- Возможность подключения азотной продувки для откачки влажных и слабо коррозионных газовых смесей.
- Компактные габариты и относительно малая масса при высоких вакуумных параметрах.
Отличие моделей JZB-63/180 и JZB-160/500
Ключевое отличие между модификациями — в быстроте действия и достижимом уровне остаточного давления. Насос JZB-63/180 рассчитан на получение среднего высокого вакуума (до 10−2 Па) и оптимален для шлюзовых и транспортных камер с частыми впусками атмосферы. Модель JZB-160/500 оснащена впускным фланцем увеличенного диаметра (160 мм) и развивает скорость откачки до 500 м³/ч, обеспечивая предельное давление порядка 10−4 Па и ниже. Такое исполнение предпочтительно для высоковакуумных технологических установок и научно-исследовательских комплексов.
Области применения
Основные сферы использования: полупроводниковая и электронная промышленность, производство оптических и функциональных покрытий, лазерная техника, газоанализаторы, масс-спектрометры, вакуумное напыление и ионно-плазменные процессы, аэрокосмические технологии, научные и лабораторные эксперименты. Насос JZB-63/180 особенно удобен для откачки шлюзовых модулей и транспортных участков в линейных системах загрузки/выгрузки в чистых помещениях вплоть до ISO класса 5.
Ключевые преимущества эксплуатации
Сухие высоковакуумные насосы CBVAC серии JZB характеризуются устойчивостью к внезапным впускам воздуха, пониженными вибрациями и увеличенным межсервисным ресурсом. Оборудование способно перекачивать газовые смеси с содержанием водяного пара и небольшими долями слабо агрессивных компонентов без заметной деградации характеристик и без риска коррозии или закупорки каналов, что нередко встречается у традиционных сухих насосов старых конструкций.
Поддержка и сервис
В России вакуумные насосы CBVAC серии JZB официально поставляются и обслуживаются через сервисный центр CBVAC, работающий на базе Лаборатории Ликлаб. Сервисный центр Ликлаб выполняет полный цикл послепродажного сопровождения: регламентное техническое обслуживание, диагностику и ремонт, калибровку, модернизацию узлов, а также поставку оригинальных запасных частей и расходных материалов. Наличие авторизованного сервисного центра CBVAC в России позволяет минимизировать простои оборудования и гарантирует соответствие работ требованиям производителей высоковакуумной техники.