DM1E.1CKDHAF — мембранно-ёмкостный вакуумметр семейства DM1E с полной шкалой 0,1 торр, нагревом 100 °C и аналоговым выходом 0–10 В. Исполнение предназначено для горизонтального монтажа с присоединением KF16.
Технические характеристики
| Модель | DM1E.1CKDHAF |
|---|---|
| Заказной номер | A24C1-00077 |
| Измерение | Абсолютное давление |
| Полная шкала | 0,1 торр |
| Нагрев | 100 °C |
| Точность | 0,50 % от показания |
| Выход | 0–10 В постоянного тока; нагрузка более 10 кОм |
| Разъём | DB9, штыревой |
| Присоединение | KF16 |
| Монтаж | Горизонтальный |
| Опции | Стандартная комплектация; без опции внешней установки нуля |
| Разрешение | 0,001 % полной шкалы; не является точностью |
| Коэффициент нуля | 0,01 % полной шкалы/°C |
| Коэффициент шкалы | 0,02 % от показания/°C |
| Питание | ±15 В постоянного тока ±5 % |
| Ток питания | 0,50 А |
| Температура окружающей среды | 15–50 °C |
| Прогрев | 4 ч |
| Время отклика | Менее 20 мс |
| Внутренний объём | 6,3 см³ |
| Предельное воздействующее давление | 310 кПа; не является полной шкалой |
| Материал, контактирующий с газом | Коррозионностойкий никелевый сплав |
Применение и подключение
DM1E разработан для контроля давления в процессах травления. Встроенная направляющая структура снижает воздействие частиц на мембрану. Совместимость никелевого сплава с конкретной газовой средой оценивают по составу, температуре и продуктам процесса.
Полная шкала 0,1 торр — верхнее значение шкалы этого исполнения, а не нижняя граница семейства. Точность относится к показанию, коэффициент нуля и разрешение — к полной шкале. Перед настройкой нуля выдерживают 4 часа прогрева.
Питание, полярность и нагрузку выхода проверяют до подключения. Разъём DB9 не означает цифровой протокол. Код опции A соответствует стандартной комплектации, поэтому внешняя установка нуля не заявляется как функция этого исполнения.
Источник: каталог вакуумметров CBVAC, редакция 20251120, страницы 11–13 PDF; модель и заказной номер сохранены из исходной карточки. Изображение производителя показывает семейство DM1E, а не точную геометрию присоединения конкретной поставки.
