Высоковакуумный сухой насос прямого атмосферного впуска CBVAC JZB-63/500
CBVAC JZB-63/500 — высокоэффективный сухой вакуумный насос с прямым забором из атмосферы, рассчитанный на откачку от 105 Па до области высокого вакуума вплоть до 1×10−4 Па. Агрегат функционирует без форвакуумного масляного насоса и фактически заменяет традиционную связку «турбомолекулярный насос + форвакуумный», обеспечивая чистую откачку без риска углеводородного загрязнения. Конструкция оптимизирована под частые переходы «вакуум—атмосфера», устойчиво переносит заброс воздуха и повышенное содержание водяных паров.
Область применения
Насос применяется в шлюзовых и транспортных камерах полупроводниковых линий, установках вакуумного напыления и травления, лазерных и оптических системах, аналитических приборах, масс-спектрометрах, установках лиофильной сушки, а также на лабораторных стендах. Рекомендуется к использованию везде, где требуется полностью сухая и чистая откачка от атмосферного давления до высокого вакуума при ограниченном монтажном пространстве и умеренном энергопотреблении.
Принцип и архитектура
В едином корпусе реализована многоступенчатая сухая вакуумная схема с комбинацией регенеративных и молекулярно-динамических ступеней, что обеспечивает широкий рабочий диапазон давлений. Подшипниковый узел выполнен на керамических шарикоподшипниках с пониженным тепловыделением и низким уровнем вибраций. Откачиваемый газ сбрасывается непосредственно в атмосферу либо в атмосферный отводящий трубопровод. Для расширения областей применения предусмотрена азотная продувка внутренних трактов (исполнения «N»), уменьшающая коррозионные риски и повышающая устойчивость к влаге и мелкодисперсным загрязнениям.
Диапазон действий и характеристики кривой откачки
Максимальная быстрота действия достигается в диапазоне примерно 1–100 Па, что позволяет быстро пройти вязкостную область и оперативно выйти в область высокого вакуума. На низких давлениях поддерживается стабильная скорость откачки благодаря ступенчатой геометрии каналов. Насос рассчитан на длительную непрерывную работу при любых впускных давлениях, включая продолжительную откачку непосредственно с уровня атмосферы.
Основные преимущества
- Прямой атмосферный впуск: нет необходимости в отдельном форвакуумном насосе.
- Полностью сухой вакуумный тракт: отсутствие масла и рабочих жидкостей в объёме откачки.
- Высокая устойчивость к влаге и кратковременным загрязнениям; опциональная азотная продувка трактов.
- Низкие вибрации и умеренная тепловая нагрузка; возможность интеграции в чистые помещения (по проекту — до класса ISO 5).
- Компактное исполнение и сниженная установленная мощность по сравнению с парой «турбомолекулярный насос + форвакуумный».
Технические характеристики
| Параметр | JZB-63/500 | Комментарии |
|---|---|---|
| Номинальная быстрота действия | 500 м³/ч | оптимальная работа в диапазоне 1–100 Па |
| Предельное давление | до 1×10−4 Па (экв. 1×10−6 мбар) | при корректной герметизации системы и теплоразвязке камеры |
| Рабочий диапазон давлений | 105…10−4 Па | непрерывная работа с атмосферного давления |
| Впускной фланец | ISO-K 63 | по проекту возможна версия ISO-K 160 для высокопоточных трактов |
| Выпускной фланец | KF-25 (атмосферный выпуск) | рекомендуется короткий и прямолинейный отвод |
| Охлаждение | водяное 15–35 °C; 0,2–0,7 МПа; ≥2 л/мин | обязателен контроль расхода и межблочных блокировок |
| Питание | 3×200–240 В; опция 3×380 В | частота 50 Гц; дистанционный пуск/останов по I/O |
| Номинальная мощность | ≈1,6 кВт | максимальная при разгоне — до ~3 кВт |
| Скорость ротора | номинальная ~18 000 об/мин; резерв ~6 000 об/мин (standby) | выбор режимов через интерфейс управления |
| Время разгона/торможения | ≈3 мин / ≈4 мин | типичные значения |
| Вибрация/шум | <0,25 g / ≤56 дБ | вертикальный монтаж с допуском ±5° |
| Масса | ≈47 кг | точное значение зависит от комплектации и опций |
Исполнения и коды заказа
Система обозначений: JZB-63/500 [L|N][E], где L — исполнение без азотной продувки, N — с азотной продувкой; E — наличие локальной панели управления. Варианты по питанию маркируются добавлением «(380)» для исполнения 3×380 В. Примеры: JZB-63/500L, JZB-63/500LE, JZB-63/500N(380).
Рекомендации по проектированию системы
- Фланец ISO-K 63 подходит для умеренных потоков; при высоких расходах газа или коротких тактах шлюзов целесообразно предусмотреть тракт DN160 и соответствующую модификацию насоса.
- Избегать локальных дросселирующих участков на выпуске; атмосферный отвод выполнять максимально коротким и с минимальным числом поворотов.
- Обязательное межблочное условие: «наличие охлаждения → разрешён пуск»; контролировать расход и температуру охлаждающей воды.
- При наличии влаги, пластификаторов и слабоагрессивных компонентов активировать азотную продувку (исполнения «N») и закладывать дренажные паузы.
- Для чистых помещений проектировать виброразвязку основания и использовать гибкие подводы воды.
Эксплуатация и обслуживание
Вакуумный тракт насоса не требует замены масла, так как конструкция полностью сухая. Регламент обслуживания включает периодический контроль состояния подшипникового узла, очистку газовых каналов по мере загрязнения процессом, проверку расхода и температуры охлаждающей воды, мониторинг вибраций и рабочего тока. Допускается перевод насоса в режим пониженной скорости (standby) между циклами для уменьшения энергопотребления и снижения тепловой нагрузки на систему.
Сравнение с моделями серии
| Модель | Быстрота действия | Предельное давление | Типовой фланец впуска | Назначение |
|---|---|---|---|---|
| JZB-63/180 | ≈180 м³/ч | до ~1×10−2 Па | ISO-K 63 | шлюзовые камеры и модули с умеренными газовыми потоками |
| JZB-63/500 | 500 м³/ч | до 1×10−4 Па | ISO-K 63 | ускоренные вакуумные циклы и более глубокий вакуум при компактном тракте |
| JZB-160/500 | 500 м³/ч | до 1×10−4 Па и ниже | ISO-K 160 | высокопоточные камеры и системы с крупным сечением вакуумных линий |
Примечание инженера. В серии присутствует конфигурация 500 м³/ч с впускным фланцем DN160. Для установок с низким гидравлическим сопротивлением тракта и крупными камерами она зачастую предпочтительнее. Обозначение JZB-63/500 указывает на сохранение компактного интерфейса DN63 при увеличенной производительности; выбор типа фланца следует выполнять по расчётной пропускной способности линии и допустимым скоростям потока.
Пусконаладка
- Проверить наличие и стабильность протока охлаждающей воды, её температуру; настроить межблочную блокировку по сигналу «охлаждение в норме».
- Проверить правильность подключения фаз и заземления; выполнить пробный холостой пуск, убедиться в штатных значениях тока и уровне вибраций.
- Запустить рабочий цикл откачки от атмосферного давления; при необходимости использовать ступенчатый профиль (быстрый разгон → standby → рабочая скорость).
- В «грязных» технологических процессах активировать азотную продувку; задать интервалы очистительных и дренажных пауз.
Сервис и поддержка
Официальный сервис CBVAC в России выполняется на базе Лаборатории Ликлаб, которая выступает сертифицированным сервисным центром CBVAC. Специалисты Ликлаб обеспечивают поставку оборудования, шеф-монтаж и пусконаладку, плановое сервисное обслуживание и ремонт насосов JZB-63/500 и других моделей CBVAC. В наличии оригинальные запасные части, узлы систем охлаждения, интерфейсные кабели, комплекты для азотной продувки и модернизации существующих вакуумных установок.