CCQ-500BGP — крупногабаритный пневматический шиберный затвор CBVAC с проходом DN 500 и фланцами GB-LP. Заказной номер 4.1.1233 соответствует позиции 1233 в таблице крупногабаритных затворов производителя. Исполнение без суффикса A использует управление 220 В; механическое перемещение обеспечивает сжатый воздух.
Технические характеристики
| Модель | CCQ-500BGP |
|---|---|
| Заказной номер | 4.1.1233 |
| Внутренний код | A22Y2-01076 |
| Условный проход | DN 500 |
| Присоединение | GB-LP |
| Привод | Пневматический |
| Управление | 220 В переменного тока, 50 Гц; 6 Вт |
| Давление сжатого воздуха | 0,5–0,7 МПа |
| Диапазон применения серии | 1 × 10⁻⁶–1,2 × 10⁵ Па |
| Перепад давления перед открытием | Не более 1 × 10³ Па, в любом направлении |
| Натекание корпуса и седла | 1,3 × 10⁻⁷ Па·л/с (1,3 × 10⁻¹⁰ Па·м³/с) |
| Ресурс до первого обслуживания | 10 000 циклов по каталогу серии |
| Прогрев корпуса | Не выше 150 °C |
| Время открытия / закрытия | 10 с для пневматических DN 500 и DN 630 |
| Контроль положения | Магнитные выключатели крайних положений |
| Рабочая среда | Чистый воздух и некоррозионные газы |
| Уплотнение серии | Сильфон из нержавеющей стали и кольцо Viton |
| Материал исполнения | Нержавеющая сталь 304 |
| Габариты по чертежу CCQ-500B | A 610; B 634; C 306; D 1024; E 2001 мм |
| Дополнительные размеры чертежа | G 110; H 671; J 170; K 117 мм |
Конструкция и применение
Затвор отделяет вакуумную камеру от насосной линии или соседнего технологического модуля. При открытии пластина уходит из прохода. Усиленный корпус и механизм с несколькими опорными тягами рассчитаны на перемещение крупной пластины; сильфон отделяет приводной механизм от вакуумного объёма.
Перед открытием необходимо выровнять давление по обе стороны пластины до перепада не более 1000 Па. Диапазон применения не означает разрешение открывать затвор при атмосферном перепаде. Концевые магнитные выключатели используют в цепях подтверждения положения и блокировки последовательности откачки.
Для установки нужны линия сжатого воздуха 0,5–0,7 МПа, цепь управления соответствующего напряжения и место для полного хода привода. GB-LP, ISO-F и CF нельзя считать взаимозаменяемыми только по DN. Перед изготовлением ответной части сверяют фланцевый чертёж, крепёж и монтажное пространство.
Каталог ограничивает среду чистым воздухом и некоррозионными газами. Для травления, осаждения, конденсирующихся и агрессивных сред исполнение выбирают отдельно по химической совместимости и температуре. Затвор не является регулятором давления и не заменяет дроссельный клапан.
Источник: английский каталог вакуумных клапанов CBVAC, разворот 15–16 (страница 11 PDF), таблица заказных номеров 1232–1239 и чертёж CCQ-500B. Параметры ресурса, натекания и рабочей среды относятся к серии. Фотография показывает крупногабаритную конструкцию семейства, а не индивидуальную фотографию поставляемого экземпляра.
Связанные решения
- Турбомолекулярный насос CBVAC MTP-4301 на магнитном подвесе
- Мембранно-ёмкостный вакуумметр CBVAC HM1 с двумя релейными уставками
- Пневматический высоковакуумный угловой клапан DIV-50HGK-Q, 50(KF)
Вакуумная система для полупроводниковых процессов
