CBVAC MTP-2201E(VG250) — турбомолекулярный насос на магнитном подвесе, вход VG250, интегрированный контроллер EtherCAT, водяное охлаждение. Заказной номер A25A3-00004.
Описание
Иллюстрация производителя: CBVAC MTP-2201CTMS (ISO250F). Компоновка и разъёмы конкретного исполнения могут отличаться.
Турбомолекулярный насос CBVAC MTP-2201E(VG250)
CBVAC MTP-2201E(VG250) — турбомолекулярный насос на магнитном подвесе, вход VG250, интегрированный контроллер EtherCAT, водяное охлаждение. Заказной номер A25A3-00004.
Комплектация исполнения
| Тип изделия | Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе |
|---|---|
| Модель / исполнение | MTP-2201E(VG250) |
| Заказной номер | A25A3-00004 |
| Входное присоединение | VG250 |
| Масса по заказной строке | 67 кг |
| Охлаждение | Водяное |
| Нагреватель | Не предусмотрен в комплектации |
| Продувка | Не предусмотрена в комплектации |
| Интерфейс контроллера | EtherCAT |
| Контроллер | Интегрированный |
| Семейство | CBVAC MTP-2201 |
Интеграция в технологическую установку
Для полупроводникового процесса при подборе задают состав газа, поток, рабочее давление, форвакуумную ступень, охлаждение и требования к чистоте. Интерфейс интегрированного контроллера должен соответствовать системе управления установки.
Газовая среда и температурный режим
Наличие продувки и обозначение серии не подтверждают совместимость с любыми коррозионными газами. Газовую среду, осаждаемые продукты и допустимую нагрузку согласуют для конкретного исполнения. Нагреватель в перечисленной комплектации не предусмотрен; параметры режима с TMS нельзя автоматически переносить на этот заказ.
Комплектация и масса: каталог CBVAC от 18.08.2026, лист MTP, строка 15, заказ A25A3-00004.
Другие исполнения MTP-2201 · Подбор вакуумной системы · Сервис насосов · Контакты для заказа
Документы
Технический паспорт с изображением, основными параметрами и контактами для заказа.
Скачать технический паспорт PDF
