CBVAC MTP-4301ES(ISO400F) — турбомолекулярный насос на магнитном подвесе, вход ISO400F, интегрированный контроллер EtherCAT, водяное охлаждение. Заказной номер A25A3-00003.
Описание
Иллюстрация производителя: CBVAC MTP-4301CTMS (ISO320F). Компоновка и разъёмы конкретного исполнения могут отличаться.
Турбомолекулярный насос CBVAC MTP-4301ES(ISO400F)
CBVAC MTP-4301ES(ISO400F) — турбомолекулярный насос на магнитном подвесе, вход ISO400F, интегрированный контроллер EtherCAT, водяное охлаждение. Заказной номер A25A3-00003.
Комплектация исполнения
| Тип изделия | Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе |
|---|---|
| Модель / исполнение | MTP-4301ES(ISO400F) |
| Заказной номер | A25A3-00003 |
| Входное присоединение | ISO400F |
| Масса по заказной строке | 110 кг |
| Охлаждение | Водяное |
| Нагреватель | Не предусмотрен в комплектации |
| Продувка | Предусмотрена, присоединение KF10 |
| Интерфейс контроллера | EtherCAT |
| Контроллер | Интегрированный |
| Семейство | CBVAC MTP-4301 |
| Быстрота откачки азота, ISO400F | 4300 л/с |
| Быстрота откачки водорода, ISO400F | 2700 л/с |
Интеграция в технологическую установку
Для полупроводникового процесса при подборе задают состав газа, поток, рабочее давление, форвакуумную ступень, охлаждение и требования к чистоте. Интерфейс интегрированного контроллера должен соответствовать системе управления установки.
Газовая среда и температурный режим
Наличие продувки и обозначение серии не подтверждают совместимость с любыми коррозионными газами. Газовую среду, осаждаемые продукты и допустимую нагрузку согласуют для конкретного исполнения. Нагреватель в перечисленной комплектации не предусмотрен; параметры режима с TMS нельзя автоматически переносить на этот заказ.
Комплектация и масса: каталог CBVAC от 18.08.2026, лист MTP, строка 42, заказ A25A3-00003. Быстрота откачки: руководство MTP, таблица 3, страница 13 PDF, столбец указанного входного фланца; параметры семейства, не индивидуальный протокол испытаний.
Другие исполнения MTP-4301 · Подбор вакуумной системы · Сервис насосов · Контакты для заказа
Документы
Технический паспорт с изображением, основными параметрами и контактами для заказа.
Скачать технический паспорт PDF
