JZB-160/500LE — высоковакуумный сухой насос CBVAC с водяным охлаждением и входным фланцем LF160. Исполнение E оснащено боковым дисплеем для отображения параметров работы.
Описание
Высоковакуумный сухой насос JZB-160/500LE CBVAC
JZB-160/500LE — высоковакуумный сухой насос CBVAC с водяным охлаждением и входным фланцем LF160. Исполнение E оснащено боковым дисплеем для отображения параметров работы.
Применение
В каталоге изготовителя серия предназначена для вакуумных транспортных систем, шлюзовых и передаточных камер, осаждения тонких плёнок, травления, очистки и эпитаксии. Совместимость с конкретной средой и газовая нагрузка определяются условиями процесса.
Технические характеристики
| Модель | JZB-160/500LE |
|---|---|
| Заказной номер | A24A2-00007 |
| Входной фланец | LF160 |
| Охлаждение | Водяное |
| Питание исполнения | 200–240 В, 3 фазы |
| Модуль локального дисплея E | Есть |
| Пиковая быстрота откачки | 500 м³/ч |
| Предельное давление | < 0,0001 Па (< 0,000001 мбар) |
| Выходной фланец | KF25 |
| Масса | 47 кг |
| Уровень шума | ≤ 56 дБ |
| Монтаж | Вертикально, отклонение ±5° |
| Температура среды | 5–40 °C |
| Влажность среды | До 90 % по таблице параметров; при установке ≤ 85 % |
| Давление охлаждающей воды | 0,2–0,7 МПа |
| Температура охлаждающей воды | 15–35 °C |
| Расход охлаждающей воды | > 2 л/мин |
| Частота питания | 50/60 Гц |
| Номинальная мощность | 1,6 кВт |
| Номинальная частота вращения | 18 000 об/мин |
Условия подбора
Источники: каталог CBVAC от 18.08.2026, лист JZB&SSH&JFJ; руководство JZB, стр. 7 и 9–11. Числовые параметры относятся к базовому исполнению; предельное давление не является рабочим давлением при газовой нагрузке. Монтаж внутри помещения, влажность ≤ 85 %. Насос закрепляют на опоре; до запуска подключают защитное заземление и охлаждающую воду. Работа без охлаждения может необратимо повредить насос. Обратные клапаны на выпуске запрещены. Камеру и трубопроводы очищают от частиц.
Подбор насосов JZB · Сервис вакуумных насосов · Вакуумная система для полупроводников · Обсудить условия процесса
