JZB-63/180LE(380) — высоковакуумный сухой насос CBVAC с водяным охлаждением и входным фланцем LF63. Исполнение E оснащено боковым дисплеем для отображения параметров работы.
Описание
Высоковакуумный сухой насос JZB-63/180LE, 380 В CBVAC
JZB-63/180LE(380) — высоковакуумный сухой насос CBVAC с водяным охлаждением и входным фланцем LF63. Исполнение E оснащено боковым дисплеем для отображения параметров работы.
Применение
В каталоге изготовителя серия предназначена для вакуумных транспортных систем, шлюзовых и передаточных камер, осаждения тонких плёнок, травления, очистки и эпитаксии. Совместимость с конкретной средой и газовая нагрузка определяются условиями процесса.
Технические характеристики
| Модель | JZB-63/180LE(380) |
|---|---|
| Заказной номер | A24A2-00008 |
| Входной фланец | LF63 |
| Охлаждение | Водяное |
| Питание исполнения | 380 В, 3 фазы |
| Модуль локального дисплея E | Есть |
Условия подбора
Источники: каталог CBVAC от 18.08.2026, лист JZB&SSH&JFJ; руководство JZB, стр. 7 и 9–11. Мощность, масса и кривая откачки TWIN/380 В не подменены данными базового исполнения. Монтаж внутри помещения, влажность ≤ 85 %. Насос закрепляют на опоре; до запуска подключают защитное заземление и охлаждающую воду. Работа без охлаждения может необратимо повредить насос. Обратные клапаны на выпуске запрещены. Камеру и трубопроводы очищают от частиц.
Подбор насосов JZB · Сервис вакуумных насосов · Вакуумная система для полупроводников · Обсудить условия процесса
