Затворный вакуумный клапан для высокого вакуума для отсечения, напуска или регулирования потока газа в вакуумной линии.
Описание
Название
Затворный вакуумный клапан для высокого вакуума
Краткий анонс
Затворный вакуумный клапан для высокого вакуума для отсечения, напуска или регулирования потока газа в вакуумной линии.
Назначение
Отсечение, коммутация или регулирование потока газа в вакуумной линии либо на вакуумной камере.
Подробное описание
Затворный вакуумный клапан для высокого вакуума. Вакуумный затвор или клапан подбирается по условному проходу, типу фланца, материалам корпуса и уплотнений, допустимому рабочему давлению, потоку течи и типу привода. Подтвержденные производителем параметры вынесены в таблицу характеристик; численные значения и обозначения моделей сохранены без изменения.
Принцип работы
Запорный элемент перекрывает проходное сечение и обеспечивает герметичное разделение объемов. Конкретный привод и конструкция зависят от исполнения.
Преимущества
- интеграция в вакуумные линии
- подбор по условному проходу и типу фланца
- варианты для технологических установок
Характеристики
| Рабочее давление | 1×10^-5 Pa~1.2×10^5 Pa |
|---|---|
| Поток течи | 1.3×10^-7 Pa·L/s |
| Питание | AC 220 V 50 Hz, 6 W или DC 24 V, 3 W |
| Потребляемая мощность | 6 W; 3 W |
| Материалы | нержавеющая сталь |
| Материал уплотнений | фторкаучук |
| Температура | в открытом положении ≤200 °C;в закрытом положении ≤150 °C |
Применение
- вакуумные камеры
- насосные посты
- полупроводниковое оборудование
- лабораторные стенды
Монтаж
При монтаже необходимо соблюдать ориентацию, допустимые нагрузки на фланцы, чистоту уплотнительных поверхностей и требования производителя к подключению привода, питания или системы охлаждения.
Эксплуатация
Эксплуатацию следует вести в пределах паспортных режимов. Перед запуском проверяют герметичность соединений, корректность подключения и совместимость изделия с рабочей средой.
Обслуживание
Регламент обслуживания зависит от исполнения. Рекомендуется вести журнал работы, периодически контролировать герметичность, состояние уплотнений и доступность запасных частей.
Связанные товары
- ID-1
- ID-10
- ID-12
- ID-2
- ID-20
- ID-21
Поставка и сервис в России
Поставка, комплектация, пусконаладочные работы и сервисное сопровождение в России должны уточняться по актуальному предложению поставщика. Перед заказом рекомендуется сверить исполнение, присоединительные размеры, материалы уплотнений и требования к форвакуумной части с технологической схемой.
Форма запроса
Для подбора исполнения и получения коммерческого предложения используйте штатную форму запроса на сайте или обратитесь к специалисту по вакуумному оборудованию.