VS160-IT735 предназначено для дискретного контроля давления в верхней части диапазона серии VS160. Параметры относятся к конкретному заводскому исполнению из каталога CBVAC 2025.
Особенности
- герметичный сварной чувствительный узел
- корпус из 316L VIM-VAR
- мембрана Hastelloy C-22
- ресурс не менее 1 000 000 циклов
- монтажное присоединение 1/4 VCR
Технические характеристики
| Модель | VS160-IT735-A-VC-NOSC |
|---|---|
| Присоединение | 1/4 VCR |
| Диапазон доступных уставок серии | 40–635 Torr |
| Порог срабатывания | 705–765 Torr |
| Давление возврата | 618–710 Torr |
| Внешняя герметичность | < 1×10⁻¹⁰ Па·м³/с |
| Материал корпуса | 316L VIM-VAR |
| Материал мембраны | Hastelloy C-22 |
| Минимальный ресурс | 1 000 000 циклов |
| Рабочая температура | 0–45 °C |
| Проверочное давление | 775 Torr |
| Допуск уставки | ±30,48 Torr |
Области применения
- вакуумная автоматика
- защитные блокировки
- контроль технологических газов
- полупроводниковое оборудование
Источник данных: CBVAC Pressure Switch 2025.pdf, стр. 4. Значения перенесены с сохранением единиц и условий, указанных изготовителем.
